1.一种集电结浮空p柱结构的igbt器件,其特征在于:其元胞结构包括发射极金属(1)、发射极金属(1)下方的沟槽栅结构、发射极金属(1)下方的n+发射区(4)、n+发射区(4)下方的p基区(5)、p基区(5)下方的n-漂移区(6);n-漂移区(6)下方依次为n型缓冲层(7)、集电极p+区(8)、集电极金属(9);
2.根据权利要求1所述的一种集电结浮空p柱结构的igbt器件,其特征在于:
3.根据权利要求1所述的一种集电结浮空p柱结构的igbt器件,其特征在于:集电结浮空p柱(10)的背面被集电极隔离槽隔离处于浮空状态;n型缓冲层(7)与集电极p+区(8)的两侧被集电极隔离槽所保护;所述的集电结浮空p柱(10)自上至下的深度大于n型缓冲层(7)的自上至下的深度,且集电结浮空p柱(10)和n型缓冲层(7)在左右方向上没有接触。
4.根据权利要求1所述的一种集电结浮空p柱结构的igbt器件,其特征在于:在器件由开通转为关闭状态时,n-漂移区(6)中的耗尽区扩展到集电结浮空p柱(10)。
5.根据权利要求1所述的一种集电结浮空p柱结构的igbt器件,其特征在于:在器件正向阻断时,n型缓冲层(7)与n-漂移区(6)交界处出现由浮空p柱掺杂浓度和深度决定的电场峰。
6.根据权利要求1所述的一种集电结浮空p柱结构的igbt器件,其特征在于:集电极隔离槽的外围介质层(11)是二氧化硅、氮化硅、或者氧化铪介质材料;
7.根据权利要求1所述的一种集电结浮空p柱结构的igbt器件,其特征在于:集电结浮空p柱(10)的掺杂方式为均匀掺杂或者非均匀掺杂,掺杂离子为p型杂质,掺杂浓度的范围为2e14到2e16,掺杂深度大于漂移区厚度的10%。
8.根据权利要求1所述的一种集电结浮空p柱结构的igbt器件,其特征在于:背面与正面结构没有存在对齐的关系,集电结浮空p柱的位置正上方是p基区(5),或者是沟槽栅电极(2)。
9.根据权利要求1所述的一种集电结浮空p柱结构的igbt器件,其特征在于:所述沟槽栅电极(2)使用的多晶硅电极材料,重掺杂n型杂质,浓度为1e19;并且/或者沟槽栅介质层(3)使用二氧化硅、氮化硅、或二氧化铪。
10.根据权利要求1所述的一种集电结浮空p柱结构的igbt器件,其特征在于:器件半导体材料采用si、sic、gaas或者gan,且各部分采用相同的材料或采用不同材料组合。