一种高缺陷n型非晶硅锗层的可调波段硫硒化锑光电探测器及其制备方法

文档序号:37112941发布日期:2024-02-22 21:12阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种应用高缺陷n型非晶硅锗层的可调波段硫硒化锑光电探测器,其特征在于,从上而下依次设置透明导电玻璃层、n型非晶硅锗层、p型硫硒化锑层、p+型层和金属电极层;

2.根据权利要求1所述的应用高缺陷n型非晶硅锗层的可调波段硫硒化锑光电探测器,其特征在于,所述透明导电玻璃层采用fto透明导电玻璃、ito透明导电玻璃或azo透明导电玻璃中的一种。

3.根据权利要求1所述的应用高缺陷n型非晶硅锗层的可调波段硫硒化锑光电探测器,其特征在于,所述n型非晶硅锗层化学式为a-si1-xgex:h,x在0-1区间取值,当x为0是非晶硅,x为1是非晶硅锗。

4.根据权利要求1所述的应用高缺陷n型非晶硅锗层的可调波段硫硒化锑光电探测器,其特征在于,所述p型硫硒化锑层化学式为sb2(s1-xsex)3,x在0-1区间取值,当x为0是硫化锑,x为1是硒化锑。

5.根据权利要求1所述的应用高缺陷n型非晶硅锗层的可调波段硫硒化锑光电探测器,其特征在于,所述p+型层采用p3ht、nio或cui薄膜中的一种。

6.根据权利要求1所述的应用高缺陷n型非晶硅锗层的可调波段硫硒化锑光电探测器,其特征在于,所述金属电极层采用au、ag或al薄膜电极中的一种。

7.一种高缺陷n型非晶硅锗层的可调波段硫硒化锑光电探测器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

8.根据权利要求7所述的高缺陷n型非晶硅锗层的可调波段硫硒化锑光电探测器的制备方法,其特征在于,所述步骤s4中,当所述p+型层采用p3ht时,选用旋转涂抹法,将所述步骤s3中得到的a-si1-xgex:h/sb2(s1-xsex)3硫硒化锑异质结结构放在匀胶机中,均匀地涂覆p3ht。

9.根据权利要求7所述的高缺陷n型非晶硅锗层的可调波段硫硒化锑光电探测器的制备方法,其特征在于,所述步骤s4中,当所述p+型层采用nio时,选用磁控溅射法,将nio溅射至所述步骤s3中得到的a-si1-xgex:h/sb2(s1-xsex)3硫硒化锑异质结结构的表面。

10.根据权利要求7所述的高缺陷n型非晶硅锗层的可调波段硫硒化锑光电探测器的制备方法,其特征在于,所述步骤s4中,当所述p+型层采用cui时,选用高真空热蒸发技术,将cui蒸发沉积至所述步骤s3中得到的a-si1-xgex:h/sb2(s1-xsex)3硫硒化锑异质结结构的表面。


技术总结
本发明一种高缺陷n型非晶硅锗层的可调波段硫硒化锑光电探测器及其制备方法,属于光电材料、光电探测器制备领域;本发明通过构建合理的n型非晶硅锗层和p型硫硒化锑层异质结结构,应用高缺陷的n型非晶硅锗层和低缺陷的p型硫硒化锑层,并且调节锗含量和硒含量来改变光电探测器的带宽,以达到对特定范围的波长光进行复合消减的目的,制备出具有波段调谐功能的光电探测器。硫硒化锑光电探测器可以在零偏压下产生光电流,无需外加电源,具有自供电特性。而且制备方法简单、成本较低、性能较高,具有很高的发展与应用潜力。

技术研发人员:曹宇,陈佳琪,周静,栗强,姜明涛,韩智慧,任彩颂,刘彦良
受保护的技术使用者:东北电力大学
技术研发日:
技术公布日:2024/2/21
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1