技术特征:1.一种装载端口,其特征在于,
2.根据权利要求1所述的装载端口,其特征在于,
3.根据权利要求1所述的装载端口,其特征在于,
4.根据权利要求1所述的装载端口,其特征在于,
5.根据权利要求1所述的装载端口,其特征在于,
技术总结本发明提供能够在使FOUP朝向门移动时防止FOUP和门接触、并防止装载端口与FOUP或门之间的密封被解除的装载端口。因此,该装载端口包括:基部(21)、开口部(43)、门(51)、用于将基部(21)和容器(7)之间密封的第1密封构件(43)以及用于将基部(21)和门(51)之间密封的第2密封构件(44),在将容器(7)载置于用于载置容器(7)的载置台(24)之后,使门(51)从初始位置向与容器(7)相反的方向退避,在该初始位置处,门(51)与所述第2密封构件(44)抵接且门(51)的容器(7)侧的端面处于比门(51)与第2密封构件(44)的抵接面靠容器(7)侧的位置。
技术研发人员:三浦辰弥,小仓源五郎,重田贵司,小笠原幸雄,河合俊宏,谷山育志
受保护的技术使用者:昕芙旎雅有限公司
技术研发日:技术公布日:2024/3/12