一种固晶机的制作方法

文档序号:37438112发布日期:2024-03-25 19:38阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种固晶机,包括机架(1)、支架上下组件(2)、晶环旋转组件(3)、顶晶组件和固晶摆臂组件(4),支架上下组件(2)安装于所述机架(1)上,用于将支架移送至固晶位后再能够将支架移出固晶位;晶环旋转组件(3)安装于所述机架(1)上,用于支撑并驱动所述晶环转动;顶晶组件安装于所述机架(1)上并位于所述晶环旋转组件(3)的下方,用于将所述晶环上的晶片顶出至供晶位;固晶摆臂组件(4)安装于所述机架(1)上,用于将所述供晶位处的晶片运送至固晶位;其特征在于,还包括;

2.根据权利要求1所述的固晶机,其特征在于:所述固晶位位于支撑座(22)的上侧面的中部,所述固晶位的下方设置有顶板(27),所述顶板(27)的下侧面连接有安装于支撑座(22)上的顶紧气缸(28),所述顶紧气缸(28)带动顶板(27)升降用于夹紧支架或释放支架。

3.根据权利要求2所述的固晶机,其特征在于:所述第一输送带结构(23)包括多个第一转动辊(231)、设置于每个所述第一转动辊(231)上的两个并排的第一驱动轮(232)、两条第一输送带(233),两条所述第一输送带(233)通过并排第一驱动轮(232)实现并排设置,其中一个所述第一转动辊(231)上连接有设置于支撑座(22)上的第一驱动源;

4.根据权利要求3所述的固晶机,其特征在于:所述第一输送带(233)和第二输送带(243)上均设置有多个抬取器(7),第一输送带(233)和第二输送带(243)上的抬取器(7)能够同时陷入到上料盒(25)中并从支架的两侧将支架从上料盒(25)中抬取;

5.根据权利要求4所述的固晶机,其特征在于:所述抬取器(7)包括安装于第一输送带(233)或第二输送带(243)上的固定板(71)、安装于固定板(71)上的安装筒(72)、能够滑动设置于安装筒(72)中的滑动头(73)、安装于安装筒(72)端部的调节板(74)、设置于滑动头(73)和调节板(74)之间的弹簧(75);

6.根据权利要求4所述的固晶机,其特征在于:所述调节组件(9)包括滑动设置于上料盒(25)侧面的框体(91)、用于驱动框体(91)上下调节的第二驱动源、与框体(91)连接且滑动设置于长槽(8)中的遮挡条(92),所述框体(91)与所述长槽(8)对应位置开设有过渡槽体(93),所述遮挡条(92)的上端通过过渡槽体(93)向上料盒(25)内部倾斜且与上料盒(25)内侧壁衔接。

7.根据权利要求5所述的固晶机,其特征在于:所述支架的下侧面两端均设置有承接块(10),所述承接块(10)的下侧面均开设有供滑动头(73)的端部插入的承接槽(11)。

8.根据权利要求6所述的固晶机,其特征在于:所述长槽(8)的下端设置有引导板(12),用于将所述抬取器(7)的滑动头(73)引导至长槽(8)中。

9.根据权利要求1所述的固晶机,其特征在于:所述上料组件(61)包括安装于所述机架(1)上的升降单元(610)、连接于升降单元(610)顶端的横移单元(611)、连接于横移单元(611)上的气动夹爪(612)。

10.根据权利要求1所述的固晶机,其特征在于:所述晶环供料组件(5)包括安装于所述机架(1)上的转动盘、安装于所述转动盘上的多个晶环料盒、设置于转动盘底部的间歇驱动源;多个所述晶环料盒圆周均布于转动盘上。


技术总结
本发明公开了一种固晶机,包括机架,安装于机架上的支架上下组件、晶环旋转组件、顶晶组件、固晶摆臂组件、晶环供料组件、晶环上下料组件;支架上下组件中第一移栽平台能够带动整体支架上下组件在水平面上进行横向以及纵向调节,使得固晶位处的支架能够配合固晶摆臂组件进行固晶作业;而固晶作业时,支撑座、第一输送带结构、第二输送带结构、上料盒以及下料盒均与固晶位保持同步运动,第一输送带结构和第二输送带结构能够在固晶位处的支架使用后,同步的将上料盒中的支架输送到固晶位、使用后的支架输送到下料盒处,减少固晶位固晶作业停止的时间,大大提交固晶作业效率,提高固晶机的生产力。

技术研发人员:裴滢滢,蒋超,赵聪聪,江玉
受保护的技术使用者:伯恩半导体(河南)有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/3/24
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