固晶夹具的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开一固晶夹具，适用于固定半导体以供相匹配的固晶机固晶，在固晶或排布芯片时可调节载板图案的X、Y轴方向与固晶机系统X、Y轴方向一致，提高了在载板上固晶或排片的位置精度；同时夹具对载板设计有缓冲作用，可减小固晶或排片时载板的左右移动，保证固晶或排片过程的稳定。
【专利说明】
固晶夹具
技术领域
[0001]本实用新型涉及封装用夹具领域，特别涉及一种在固晶或排布芯片时可调节载板固定方向，从而提高载板上固晶或排片的位置精度，并且还可以具有缓冲作用，以保证固晶或排片过程稳定性，且通用性广泛的固晶夹具及其使用方法。
【背景技术】
[0002]在半导体的封装过程中，固晶是其中最主要的环节之一。对于像是已采用晶片直接封装(COB ,Chip on Board)法将裸晶片直接接着于电路板或基板的半导体器件，在欲接续进行固晶时，常是由作业人员先逐一将这些COB基板置于固晶机上并以夹具固定后进行。固晶完成后，再由作业人员逐一将这些⑶B基板由作业平台上取下，以换上下一批进行固晶。在这个过程中，用于固定COB基板的夹具是否利于快速、精准地取放COB基板，以及是否具备高通用性以适应各种尺寸和形式的COB基板便成为能显着影响生产效能，甚至影响产品良率的关键之一。也因此，现有的固晶夹具往往由提高通用性和生产效率的两方面为出发进行设计。
[0003]其中，习知技术像是专利CN203085645U公布的一种固晶机夹具，包括拖板和盖板，拖板上设有一个用于放置多个圆形COB基板的空腔，盖板上设有与空腔尺寸相匹配的椭圆开口组，相邻的椭圆开口之间设有压条来固定基板。其优点在于可以同时容置多个圆形的COB基板，并透过压条固定基板，从而提高基板被固定时的稳定性。然而，此种作法除了仅适用于符合该圆形空腔的COB基板，以至于通用性不佳外，其采用压条固定的作法也仅具有事后固定的效果，无助于基板置入时的排布，换言之，倘若基板歪斜，该歪斜的基板仍将被压条压住固定。
[0004]此外，习知技术像是专利CN201466014U所公开的一种用于固晶带引脚线路板的夹具，包括一矩形的夹具框和设置在该夹具框上的多个夹具条，夹具条之间相互平行间隔设置并在一侧镶嵌有永久磁块，在永久磁块的一侧设置一可磁吸的的夹片，用于夹紧安插在线路板上待固晶晶元的引脚。或像是专利CN202308024U和CN203150533U所揭露的，藉由设置多条平行并列的压条或压框来固定待固晶的基板的夹具，其压条或压框为活动式，因此具备良好的通用性。但可惜的是，其固定方式仍采用由上往下压的作法，因此对于歪斜的基板并无矫正作用，也不易确保基板被精确固定于特定位置。
[0005]为此习知技术像是专利CN203288571U公开了一种LED封装设备固晶机的通用⑶B夹具结构，其包括夹具底板、左挡板和右挡板，左挡板定位固定在夹具底板上，右挡板通过设置在挡板上的两排螺丝孔可调，因此可以适用于对不同型号COB支架的固定，使用灵活方便，挡板为锯齿状挡板，固定较为稳固。而类似的习知技术像是专利CN202549908U采用相同原理，主要通过导柱上的弹簧控制穿过导柱的左右两边的活动挡板以及中间的可调挡板来固定PCB板。然而，这些夹具只限于赋予固定载板在功能上有一定的通用性，并提高使用效率，但在固晶的精度方面却仍有待提高，特别在诸如WCSP白光芯片制造工艺中，无法满足在载板上排布芯片的精度要求，也就是实现芯片的X、Y轴方向与载板图案的X、Y轴方向平行。倘若固晶夹具固晶精度不高，主要将导致无法实现载板图案(或电路图)的Χ、γ轴与固晶机系统的x、Y轴完全平行，使得固晶后芯片的x、Y轴方向无法保证与载板图案的x、Y轴方向完全一致。在这样的情况下，特别是对于像是WCSP白光LED芯片制造的排片工艺将造成问题，因为此类工艺为方便后续的切割工艺的进行，需保证WCSP的尺寸精度，所以排布芯片时不仅需要保证芯片在载板上的位置精度，而且要确定芯片的纵轴、横轴方向与载板图案纵轴、横轴方向一致，以现有的固晶夹具而言，均无法很好的满足这精度要求。
【发明内容】
[0006]本实用新型的一个目的在于提供一固晶夹具，所述固晶夹具能精密地承载及固定不同尺寸的载板。
[0007]本实用新型的另一目的在于提供一固晶夹具，其能够通过弹性结构对载板提供缓冲作用。
[0008]本实用新型的另一目的在于提供一固晶夹具，所述固晶夹具能利用可调整的两个微调装置、及一个或多个弹性缓冲装置，精密地承载及固定不同样式的载板。
[0009]本实用新型的另一目的在于提供一固晶夹具，所述固晶夹具能藉由调整其微调装置，精密地确保被固定的载板的纵向及横向方向与所述固晶夹具一致，从而确保被固定的载板的纵向及横向方向与固晶系统一致。
[0010]本实用新型的另一目的在于提供一固晶夹具，所述固晶夹具能藉由调整其微调装置，精密地确保被固定的载板的纵向及横向方向对应所述固晶夹具或所述固晶系统作业时设定的方向。
[0011]本实用新型的另一目的在于提供一固晶夹具，所述固晶夹具能藉由可调整的弹性缓冲装置，减小排片时所述固晶夹具的左右移动，使得在排布载板的过程中稳定性较好。
[0012]本实用新型的另一目的在于提供一固晶夹具，所述固晶夹具能藉由弹性缓冲装置所提供的缓冲作用，使被固定的载板在所述固晶夹具移动的过程中稳定性较好。
[0013]本实用新型的另一目的在于提供一固晶夹具，所述固晶夹具能藉由弹性缓冲装置所提供的缓冲作用，减小固晶时所述固晶夹具的左右移动，确保被固定的载板在固晶过程中的稳定性。
[0014]本实用新型的另一目的在于提供一固晶夹具，所述固晶夹具能弹性缓冲装置精密地承载及固定不同种类的载板，通用性广泛。
[0015]本实用新型的另一目的在于提供一固晶夹具，所述固晶夹具能利用不同方向或数量的微调装置和弹性缓冲装置，适用于不同形式或尺寸的载板，通用性广泛。
[0016]本实用新型的另一目的在于提供一固晶夹具，所述固晶夹具提供一凹槽凹槽，方便人员取放载板于所述固晶夹具，提高作业效率。
[0017]为达到本实用新型的上述目的，本实用新型提供一固晶夹具，其包括:
[0018]—基座，其具有一容纳槽，以用于安置一载板；
[0019]至少一微调装置，其包括一微调元件以及一调节固定器，所述微调元件通过所述调节固定器组装于所述基座，并且用来调节所述载板的位置。
[0020]在一个实施例中，所述至少一微调装置包括两个微调装置，以调节所述载板的Χ、Υ方向。[0021 ]在一个实施例中，两个所述微调装置位于所述基座纵向方向的同一侧。
[0022]在一个实施例中，两个所述微调装置位于所述基座纵向方向的相反两侧，并且分别处于对角位置。
[0023]在一个实施例中，所述基座横向方向的两侧还分别形成有用于方便取放所述载板的第一和第二凹槽。
[0024]在一个实施例中，所述基座纵向方向对应两个所述微调元件地分别设置有第三和第四凹槽。
[0025]在一个实施例中，所述容纳槽呈方形或圆形。值得一提的，这里的形状只作为举例，在实际应用中，还可以根据所述载板的尺寸进行调整。
[0026]在一个实施例中，各个所述调节元件实施为千分尺。
[0027]在一个实施例中，各个调节固定器包括一辅助固定元件，以及至少一锁紧元件，所述锁紧元件穿过所述辅助固定元件以用于锁紧所述调节元件。
[0028]在一个实施例中，各个所述辅助固定元件实施为固定金属块，各个所述锁紧元件实施为锁紧螺栓。
[0029]在一个实施例中，其还包括一个或多个弹性缓冲装置，其包括一个或多个抵接元件，以及一个或多个弹性缓冲单元，其中各个所述弹性缓冲单元包括一弹性元件和一调整元件，所述抵接元件可滑动地设置于所述容置槽内以抵接于所述载板，其中弹性元件一端连接于所述抵接元件，另一端连接于所述调整元件，所述调节元件连接于所述基座并且位置可调节。
[0030]在一个实施例中，所述固晶夹具包括多个所述弹性缓冲装置，并且所述弹性缓冲装置位于所述基座纵向方向的同一侧。
[0031 ]在一个实施例中，所述固晶夹具包括两个所述弹性缓冲装置，并且两个所述弹性缓冲装置位于所述基座纵向方向的相反两侧，并且分别处于对角位置。
[0032]在一个实施例中，各个所述弹性元件是弹簧，各个所述调整元件是可调螺栓。
[0033]在一个实施例中，所述载板是待固晶的芯片的基板或光源器件的基板根据本实用新型的一个方面，其还提供一固晶夹具的使用方法，包括下列步骤:
[0034](SO)将第一微调装置、第二微调装置、及第一弹性缓冲装置都调到最松；
[0035](SI)将一待固晶的载板，置入容置槽；
[0036](S2)确认载板的纵轴、横轴方向匹配基座的纵轴、横轴方向；
[0037](S3)依据载板外缘分别调整第一微调装置、第二微调装置、及第一弹性缓冲装置；
[0038](S4)将固晶夹具置入固晶机以进彳丁固晶；
[0039](S5)将固晶夹具由固晶机取出；
[0040](S6)将载板自固晶夹具取出；
[0041](S7)将另一待固晶的载板置入固晶夹具；以及
[0042](S8)重复所述步骤(S4)至(S7)，直到待固晶的载板全数固晶完毕。
[0043]根据本实用新型的一个实施例，所述固晶夹具的使用方法，其中所述步骤(S3)进一步包括下列步骤:
[0044](S3.1)暂时固定载板位置；
[0045](S3.2)伸出第一微调元件及第二微调元件，皆至轻抵于载板外缘；
[0046](S3.3)以第一固定元件及第二固定元件分别固定第一微调元件及第二微调元件的伸缩；
[0047](S3.4)调整第一调整元件、第二调整元件、第三调整元件、第四调整元件、及第五调整元件，直到第一抵接元件以适当力量抵住载板；以及
[0048](S3.5)放开对载板的暂时固定。
【附图说明】
[0049]图1是根据本实用新型的第一个优选实施例的固晶夹具的俯视示意图。
[0050]图2是根据本实用新型的第一个优选实施例的固晶夹具的剖视示意图。
[0051]图3是根据本实用新型的第一个优选实施例的固晶夹具的俯视示意图，其中显示待固晶载板被精确地对齐固定。
[0052]图4是根据本实用新型的第二个优选实施例的固晶夹具的俯视示意图。
[0053]图5是根据本实用新型的第三个优选实施例的固晶夹具的俯视示意图。
【具体实施方式】
[0054]以下描述用于揭露本实用新型以使本领域技术人员能够实现本实用新型。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本实用新型的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本实用新型的精神和范围的其他技术方案。
[0055]如图1到图2所示，根据本实用新型的第一个优选实施例的固晶夹具10，其包括一基座11、至少一微调装置、及一第一弹性缓冲装置14。在这个实施例，其包括一第一微调装置12和一第二微调装置13。其中所述基座11具有一第一凹槽1101、一第二凹槽1102、一第三凹槽1103、一第四凹槽1104、一第五凹槽1105、及一容置槽111。其中所述基座是一适于匹配固晶设备以容置待固晶的载板20从而将该载板20送入固晶设备进行固晶的台座，其于不同实施方式中也可以被实施为一承板、托盘、匣子、夹子或其他适于固定载板而后送入固晶机的辅助框架体，其顶面凹陷形成一方型的所述容置槽111，以用于容置待固晶的载板。所述第一凹槽1101及所述第二凹槽1102则分别位于所述容置槽111于所述基座11的两侧边缘处，用于供作业人员将手指深入以便取放待固晶的载板于所述容置槽111。所述第三凹槽1103及所述第四凹槽1104分别对应所述第一微调装置12及所述第二微调装置13延伸入所述容置槽111的位置，以用于分别为所述第一微调装置12及所述第二微调装置13提供伸缩于所述容置槽111的空间。所述第五凹槽1105为位于所述基座11相对于装设所述第一微调装置12及所述第二微调装置13端内侧，毗邻所述容置槽111 一侧，并较所述容置槽111深的一凹槽，用于提供所述第一弹性缓冲装置14弹性移动的空间。其中所述第一弹性缓冲装置14于所述第五凹槽1105朝所述容置槽111方向推到，直到抵住所述容置槽111的边缘时则为其弹性外推的极限。相对地，所述第一弹性缓冲装置14可被于所述第五凹槽1105内朝所述容置槽111的反方向弹性压缩，直到抵住所述第五凹槽1105相对于所述容置槽111的对侧，也就是所述基座11形成凹陷处的内壁时，即为其压缩的极限。该外推及压缩极限之间的差异便形成一个对于待固晶的载板长度差异的容许范围，使长度差异在该范围内的待固晶的载板都可在不须调整所述第一微调装置12及所述第二微调装置13的情况下被直接固定于所述容置槽111中。此外，所述第一弹性缓冲装置14基于其弹性，也提供一持续性的抵接力量，从而达到如弹性底座的辅助固定效果。
[0056]所述第一微调装置12及第二微调装置13于本实施例中皆被实施为依附于所述基座11的千分尺微调装置，其形式与尺寸均相同。所述第一弹性缓冲装置14则被实施为一装设于所述基座一侧，并由侧向向内的弹簧底座。
[0057]所述第一微调装置12包括一第一微调元件121及一第一调节固定器122，其中所述第一微调元件121以所述第一调节固定器122伸缩式固定于所述基座11的一侧。所述第一调节固定器122包括一第一辅助固定元件1221及一第一锁紧元件1222，固定于所述基座11的一侧。所述第一辅助固定元件1221用于形成一套筒结构，或覆盖于原本位于所述基座11上的一凹陷构造，而与其共同形成一套筒结构，从而使所述第一微调元件121可插入该套筒结构，以伸缩式地位于所述基座11侧边的特定位置，并仅能朝特定方向伸缩。所述第一微调元件121为千分尺的调整伸缩结构，一精密度需求不同，在其他情况下也可以被实施为一螺栓，其能够藉由旋转而沿着所述第一辅助固定元件1221形成的套筒结构精确伸缩，从而精密地确保其深入所述基座11内的所述容置槽111中的部份的长度。所述第一锁紧元件1222则被实施为装设于所述第一辅助固定元件1221上，垂直于所述第一微调元件121伸缩方向的一螺栓，其用于藉由锁紧以抵住所述第一微调元件121防止所述第一微调元件121伸缩，并也用于藉由松开所述第一微调元件121允许所述第一微调元件121于所述套筒结构内伸缩。
[0058]对应地，所述第二微调装置13包括一第二微调元件131及一第二调节固定器132，其中所述第二微调元件131以所述第二调节固定器132伸缩式固定于所述基座11的一侧，其与所述第一微调装置12同侧并相邻。所述第二调节固定器132包括一第二辅助固定元件1321及一第二固定元件1322，固定于所述基座11的一侧。其中所述第二微调元件131与所述第一微调元件121构造相同，所述第二辅助固定元件1321及所述第二固定元件1322分别与所述第一辅助固定元件1221及所述第一锁紧元件1222构造相同，以设置出与所述第一调节固定器122相同的所述第二调节固定器132。熟习此技术领域的技术人员应当理解，所述第一微调装置12及所述第二微调装置13及其部件的实施方式及数量皆不应该被视为对本实用新型的内容和范围的限制，在实际应用中，还可以将所述第一微调装置12及所述第二微调装置13实施为形式或尺寸不同的调节固定器，例如将所述第一微调元件121改为无段伸缩式的推拉杆，或将所述第二固定元件1322实施为弹簧卡榫。此外，所述第一辅助固定元件1221或所述第二辅助固定元件1321用于形成套筒结构的方式不以透过所述基座11或所述基座11上的构造为必须，例如所述第一辅助固定元件1221也可被实施为一套筒或具有孔洞的架子，本身自成一套筒结构供所述第一微调元件121限制地于其中伸缩。
[0059]所述第一弹性缓冲装置14则包括可活动的刚性的至少一抵接元件，和至少一弹性缓冲单元。所述抵接元件可以抵接于载板20，并且在所述容置槽111内滑动，所述弹性缓冲单元连接于所述抵接元件以间接地对所述载板20提供缓冲作用。在这个实施例中，所述至少一抵接元件包括一第一抵接元件141，如图中所示。在图1至图3所示的例子中，所述至少一弹性缓冲单元包括五个所述弹性缓冲单元，即一第一弹性缓冲单元142、一第二弹性缓冲单元143、一第三弹性缓冲单元144、一第四弹性缓冲单元145、及一第五弹性缓冲单元146。其中所述第一弹性缓冲单元142包括一第一弹性元件1421及一第一调整元件1422。相似地，所述第二弹性缓冲单元143包括一第二弹性元件1431及一第二调整元件1432。所述第三弹性缓冲单元144包括一第三弹性元件1441及一第三调整元件1442。所述第四弹性缓冲单元145包括一第四弹性元件1451及一第四调整元件1452。所述第五弹性缓冲单元146包括一第五弹性元件1461及一第五调整元件1462。所述第一抵接元件141被实施为一个刚性活动板，其长度吻合所述容置槽111。所述第一弹性缓冲单元142及其部件与所述第二弹性缓冲单元143、所述第三弹性缓冲单元144、所述第四弹性缓冲单元145、所述第五弹性缓冲单元146及其部件相同。所述第一弹性元件1421被实施为一弹簧，一端固定于所述第一抵接元件141，另一端固定于所述第一调整元件1422。所述第一调整元件1422被实施为一螺栓，可旋转以移动其固定于所述基座11用以界定所述第五凹槽1105的侧壁内的深度，从而调整固定于所述第一调整元件1422的所述第一弹性元件1421的长度，以变化所述第一弹性元件1421对所述第一抵接元件141的弹力。所述第二弹性元件1431及一第二调整元件1432、所述第三弹性元件1441及第三调整元件1442、所述第四弹性元件1451及第四调整元件1452、及所述第五弹性元件1461及第五调整元件1462各自独立并以相同方式被实施，从而分别对所述第一抵接元件141提供不同外推或内缩弹力，以因应不同尺寸或形制的待固晶的载板20。所述第一弹性缓冲装置14及像是图5所示的第二弹性缓冲装置15B除了可以方便固晶机作业人员取放载板20外，基于其弹性伸缩且可调整的特性，更给了所述固晶夹具10高通用性，使其能够适用于多种尺寸样式的载板20。值得一提的是，上述调整元件调整弹性元件弹力的方式并不限于调整其延伸长度，在实际应用中还可以局部压缩或撑开弹性元件、改变弹性元件的角度或位置、旋转铰动弹性元件等方式，达到调整弹性元件弹力的目的。在这个实施例中示意的所述弹性缓冲单元的数量只作为举例而并不限制本发明。
[0060]熟习此技术领域的技术人员应当理解，所述第一抵接元件141的实施方式及数量皆不应该被视为对本实用新型的内容和范围的限制，在实际应用中，还可以将所述第一抵接元件141分段，或改为如橡胶或树脂制成的非刚性活动板以增加摩擦力和弹性。
[0061 ]熟习此技术领域的技术人员也应当理解，所述第一抵接元件141与第一弹性缓冲单元142、一第二弹性缓冲单元143、一第三弹性缓冲单元144、一第四弹性缓冲单元145、及一第五弹性缓冲单元146的对应关系及其他实施方式及数量皆不应该被视为对本实用新型的内容和范围的限制，在实际应用中，还可以改变弹性缓冲单元的数量或其相对于所述第一抵接元件141的关系，例如将所述第一抵接元件141变化为同时兼具活动板及弹簧特性的簧片，两端各连接于一调整元件等。
[0062]如图4所示，根据本实用新型的第二个优选实施例的固晶夹具10，其中所述容置槽IllA被实施为圆形，以匹配圆形的载板20。此外，所述第三凹槽1103A及所述第四凹槽1104A被实施为包括部份被覆盖的通道形式的凹槽，以显示所述第三凹槽1103A及所述第四凹槽1104A不同的实施方式。在其他实施方式中，所述第三凹槽1103A及所述第四凹槽1104A也可以被实施为像是顶端完全开放的凹沟。
[0063]值得一提的是，在上述两个实施例中，所述微调装置12和13与所述弹性缓冲装置14位于所述基座11的相反侧，如图1和图4中所示的例子中，所述微调装置12和13位于所述基座11的左侧，所述弹性缓冲装置14被布置于所述基座11的右侧。
[0064]如图5所示，根据本实用新型的第三个优选实施例的固晶夹具10，还包括一第二弹性缓冲装置15B及一第六凹槽1106B，所述第二弹性缓冲装置15B位于所述第六凹槽1106B。所述第二弹性缓冲装置15B包括一第二抵接元件151B、一第六弹性缓冲单元152B、一第七弹性缓冲单元153B、及一第八弹性缓冲单元154B。其中所述第六弹性缓冲单元152B包括一第六弹性元件1521B及一第六调整元件1522B。所述第七弹性缓冲单元153B包括一第七弹性元件1531B及一第七调整元件1532B。所述第八弹性缓冲单元154B包括一第八弹性元件1541B及一第八调整元件1542B。所述第二弹性缓冲装置15B及其部件与所述第一弹性缓冲装置14B及其部件相同。并且在本实施例中，所述第一弹性缓冲装置14B仅包括所述第一抵接元件141B、所述第一弹性缓冲单元142B、所述第二弹性缓冲单元143B、及所述第三弹性缓冲单元144B，除为本实施例的实施所必要外，也显示所述弹性缓冲单元数量根据不同的实施方式，不限于特定实施例的数量。在本实施例中所述第一弹性缓冲装置14B及所述第二弹性缓冲装置15B的所述抵接元件141B和151B长度较短，仅对应所述容置槽11IB对应侧的部份长度，所述第五凹槽1105B及所述第六凹槽1106B也相应缩短至匹配长度并彼此位于对角。此夕卜，所述第一微调装置12B及所述第二微调装置13B位于所述基座IlB的相反侧并且位于对角位置，相应地，所述第一弹性缓冲装置14B及所述第一弹性缓冲装置15B也位于对角位置，使所述容置槽IllB在上下两端分别都具有弹性及硬性的伸缩调整装置，从而可以匹配更多不同形状的载板20。同时，依据类似变化实施作法，本实用新型所提供的固晶夹具也可被实施为更多具备不同方向的弹性缓冲装置及微调装置的固晶夹具，从而匹配现在或未来所需的形状尺寸不同的载板。
[0065]也就是说，在图5所示的例子中，其包括两个所述微调装置12B和13B，并且分别位于所述基座IlB的左右侧，而非同一侧，并且为了方便提供协同调节作用，两者位于对角的位置。所述第一弹性缓冲装置14B及所述第一弹性缓冲装置15B分别位于所述基座IlB的左右侧，并且处于对角的位置。并且各个所述弹性缓冲装置包括一抵接元件和三个弹性缓冲单元，其中各个弹性缓冲单元包括一弹性元件和相连接的一调整元件，例如在这个实施例中，各个所述弹性元件可以实施为弹簧，其一端连接于所述抵接元件，另一端连接于对应的所述调整元件，各个所述调整元件可以实施为可调螺栓。
[0066]也可以说，另外，因为所述基座IlB的纵向方向的两侧分别设置有一所述微调装置和一所述弹性缓冲装置，并且所述弹性缓冲装置的所述抵接元件延伸的长度可以不超过所述微调装置的位置。这样，在这个实施例中，两个所述抵接元件141B和151B的长度不超过所述基座IlB的所述容置槽IllB的纵向宽度。而在第一个和第二个实施例中，所述抵接元件141和141B的长度大致是所述基座的所述容置槽的纵向宽度。另外，两个方便取放所述载板20的凹槽1101B和1102B位于其横向方向的两侧。
[0067]本实用新型的使用方法包括下列步骤:
[0068](SO)将第一微调装置12、第二微调装置13、及第一弹性缓冲装置14都调到最松；
[0069](SI)将一待固晶的载板20，置入所述容置槽111;
[0070](S2)确认载板20的纵轴、横轴方向匹配基座11的纵轴、横轴方向；
[0071](S3)依据载板20外缘分别调整第一微调装置12、第二微调装置13、及第一弹性缓冲装置14;
[0072](S4)将固晶夹具10置入固晶机以进彳丁固晶；
[0073](S5)将固晶夹具10由固晶机取出；
[0074](S6)将载板20自固晶夹具10取出；
[0075](S7)将另一待固晶的载板20置入固晶夹具10;
[0076](S8)重复所述步骤(S4)至(S7)，直到待固晶的载板20全数固晶完毕。
[0077]其中，所述步骤(SO)是为先行确保能被调整以匹配所述固晶夹具10尺寸形状的载板20能被置入所述固晶夹具10，因此先将第一微调装置12、第二微调装置13、及第一弹性缓冲装置14都调到最松，使所述容置槽111可容纳的载板外缘尺寸达到最大。所述步骤(SI)则为先将一待固晶的载板20，如各种光源的发光二极体(LED)的一⑶B基板、WCSP制造工艺的排片、载板裸晶、装有载板的载板等，置入所述容置槽111。此时在所述固晶夹具10尚未被调整至精密地匹配该载板的尺寸形状等特征时，需先执行所述步骤(S2)以确认该载板的纵轴、横轴方向匹配所述基座11的纵轴、横轴方向，包括与所述基座11的纵轴、横轴方向一致或彼此呈特定角度等，从而确保透过本实用新型提供的固晶夹具10置入相匹配的固晶机时，其待固晶的载板20的纵轴、横轴方向也将与固晶机系统的纵轴、横轴方向匹配或一致。此时，即可执行所述步骤(S3)，依据位于所述容置槽111内调整好方向及位置的载板20外缘，分别调整所述第一微调装置12、所述第二微调装置13、及所述第一弹性缓冲装置14。此步骤可进一步包括如下步骤:
[0078](S3.1)暂时固定该载板20位置；
[0079](S3.2)伸出第一微调元件121及第二微调元件131，皆至轻抵于该载板20外缘；
[0080](S3.3)以第一锁紧元件1222及第二固定元件1322分别固定第一微调元件121及第二微调元件131的伸缩；
[0081 ] (S3.4)调整第一调整元件1422、第二调整元件1432、第三调整元件1442、第四调整元件1452、及第五调整元件1462，直到第一抵接元件141以适当力量抵住该载板20;
[0082](S3.5)放开对该载板20的暂时固定。
[0083]在上述步骤中，所述步骤(S3.1)主要是必须先暂时固定该载板20，以便确保所述步骤(S2)所调整好的位置，这个位置也包括旋转角度。暂时固定的方法可以是由作业人员用手先压住该载板20，或以其他机具、治具等先暂时固定该载板20。所述步骤(S3.2)则是分别藉由旋转等方式伸出所述第一微调元件121及所述第二微调元件131，以调整其突入所述容置槽111的长度，直到所述第一微调元件121及所述第二微调元件131都轻抵于该载板20的一端，此时再以所述步骤(S3.3)分别锁紧或调整所述第一锁紧元件1222及所述第二固定元件1322以固定第一微调元件121及第二微调元件131的伸缩，以免第一微调元件121及第二微调元件131在后续过程中移动变化而影响所述固晶夹具10对该载板20的精密固定设置。随后，所述步骤(S3.4)则是进一步调整所述第一调整元件1422、所述第二调整元件1432、所述第三调整元件1442、所述第四调整元件1452、及所述第五调整元件1462，以调整所述第一弹性元件1421、所述第二弹性元件1431、所述第三弹性元件1441、所述第四弹性元件1451、及所述第五弹性元件1461的弹性，从而确保所述第一抵接元件141以适当力量抵住该载板20的另一端，以达到完整固定该载板20于所述容置槽111的效果。此时再进行所述步骤(S3.5)以放开对该载板20的暂时固定，例如工作人员放开压住该载板20的手，从而便于进行所述固晶夹具10稍后的操作及应用工作，此时所述固晶夹具10将呈现如图3所示。
[0084]完成所述步骤(S3)后，所述固晶夹具10已同时具备了快速精确固定与该载板20相同形状、相同体积、甚至长度相同或略有不同的载板的功能。因此可以接续进行所述步骤
(S4)，将该载板20以所述固晶夹具10送入固晶机进行固晶。完成固晶后，进行所述步骤(S5)将固晶夹具10由固晶机取出，然后进行所述步骤(S6)将载板20自固晶夹具10取出，此时作业人员只要将两手指分别深入所述第一凹槽1101及所述第二凹槽1102，捏住该载板20两侧后，微往所述第一弹性缓冲装置14端压，然后先抬起该载板20的相对端，也就是其抵住所述第一微调装置12及所述第二微调装置13端，即可取下该载板20。然后空置的所述固晶夹具10便可再用以固定另一待固晶的载板20，此时进行所述步骤(S7)将另一待固晶的载板20置入固晶夹具10。其作法例如先以待固晶的载板20的一端轻压所述第一弹性缓冲装置14，再将另一端放下，使该载板20贴于所述容置槽111，再放开手指。此时该载板20将会被所述第一弹性缓冲装置14推抵住所述第一微调装置12及所述第二微调装置，从而被固定于所述固晶夹具10上，以供置入固晶机中进行固晶作业。如此接续进行所述步骤(S8)，以重复所述步骤(S4)至(S7)，便可持续对待固晶的载板20进行固晶作业。
[0085]若欲将所述固晶夹具10用于不同形状尺寸的载板20，则需再以所述步骤^^至
(S3)，重新依据该待固晶的载板20的形状尺寸再次分别调整所述第一微调装置12、所述第二微调装置13、及所述第一弹性缓冲装置14后，再依据所述步骤(S4)至(S8)快速取放载板20以进行固晶作业。
[0086]本领域的技术人员应理解，上述描述及附图中所示的本实用新型的实施例只作为举例而并不限制本实用新型。本实用新型的目的已经完整并有效地实现。本实用新型的功能及结构原理已在实施例中展示和说明，在没有背离所述原理下，本实用新型的实施方式可以有任何变形或修改。
【主权项】
1.一固晶夹具，其特征在于，包括: 一基座，其具有一容纳槽，以用于安置一载板； 至少一微调装置，其包括一微调元件以及一调节固定器，所述微调元件通过所述调节固定器组装于所述基座，并且用来调节所述载板的位置。2.如权利要求1所述的固晶夹具，其中所述至少一微调装置包括两个微调装置，以调节所述载板的X、Y方向。3.如权利要求2所述的固晶夹具，其中两个所述微调装置位于所述基座纵向方向的同一侧。4.如权利要求2所述的固晶夹具，其中两个所述微调装置位于所述基座纵向方向的相反两侧，并且分别处于对角位置。5.如权利要求3所述的固晶夹具，其中所述基座横向方向的两侧还分别形成有用于方便取放所述载板的第一和第二凹槽。6.如权利要求4所述的固晶夹具，其中所述基座横向方向的两侧还分别形成有用于方便取放所述载板的第一和第二凹槽。7.如权利要求5所述的固晶夹具，其中所述基座纵向方向对应两个所述微调元件地分别设置有第三和第四凹槽。8.如权利要求6所述的固晶夹具，其中所述基座纵向方向对应两个所述微调元件地分别设置有第三和第四凹槽。9.如权利要求1至8中任一所述的固晶夹具，其中所述容纳槽呈方形或圆形。10.如权利要求1至8中任一所述的固晶夹具，其中各个所述微调元件实施为千分尺。11.如权利要求1至8中任一所述的固晶夹具，其中各个调节固定器包括一辅助固定元件，以及至少一锁紧元件，所述锁紧元件穿过所述辅助固定元件以用于锁紧所述微调元件。12.如权利要求11所述的固晶夹具，其中各个所述辅助固定元件实施为固定金属块，各个所述锁紧元件实施为锁紧螺栓。13.如权利要求1至8中任一所述的固晶夹具，还包括一个或多个弹性缓冲装置，其包括一个或多个抵接元件，以及一个或多个弹性缓冲单元，其中各个所述弹性缓冲单元包括一弹性元件和一调整元件，所述抵接元件可滑动地设置于所述容纳槽内以抵接于所述载板，其中弹性元件一端连接于所述抵接元件，另一端连接于所述调整元件，所述微调元件连接于所述基座并且位置可调节。14.如权利要求10所述的固晶夹具，还包括至少一弹性缓冲装置，其包括至少一抵接元件，以及至少一弹性缓冲单元，其中各个所述弹性缓冲单元包括一弹性元件和一调整元件，所述抵接元件可滑动地设置于所述容纳槽内以抵接于所述载板，其中弹性元件一端连接于所述抵接元件，另一端连接于所述调整元件，所述微调元件连接于所述基座并且位置可调-K-T O15.如权利要求13所述的固晶夹具，其中所述固晶夹具包括多个所述弹性缓冲装置，并且所述弹性缓冲装置位于所述基座纵向方向的同一侧。16.如权利要求13所述的固晶夹具，其中所述固晶夹具包括两个所述弹性缓冲装置，并且两个所述弹性缓冲装置位于所述基座纵向方向的相反两侧，并且分别处于对角位置。17.如权利要求14所述的固晶夹具，其中各个所述弹性元件是弹簧，各个所述调整元件是可调螺栓。18.如权利要求1至8中任一所述的固晶夹具，其中所述载板是待固晶的芯片的基板或光源器件的基板。
【文档编号】H01L21/687GK205595319SQ201620203003
【公开日】2016年9月21日
【申请日】2016年3月16日
【发明人】罗亮亮, 梁润园, 黄洁莹, 方涛, 范供齐, 李芸
【申请人】常州市武进区半导体照明应用技术研究院