一种转移机械臂的制作方法

本技术涉及晶圆，特别涉及一种转移机械臂。

背景技术：

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，在对晶圆进行转移时往往会用到专用的机械臂进行。

2、为实现晶圆在转移时不易产生误差、污染以及效率不足的问题，现有专利公开号为cn218195209u一种晶圆清洗用转移机械臂，此装置通过机械手臂调节到合适的位置后，通过电机带动第一齿轮转动，通过柔性齿条从而带动第二齿轮以及第三齿轮转动，从而使第三齿轮和第一齿轮带动夹持件反向旋转，从而使晶圆得以被夹持，再通过机械手臂进行转移，从而避免出现人为操作所造成的一些影响。

3、而此装置在对晶圆进行夹持转移时，通过电机的驱动，只能使夹持件对一片晶圆进行夹持转移，若是强行夹持两片晶圆或电机驱动过渡容易造成晶圆的破损，从而使该移动机械臂在对晶圆进行转移时只能一片一片的进行，这样容易导致转移所耗时间较长，容易应县后续的加工进度。

技术实现思路

1、本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种转移机械臂。

2、本实用新型所采用的技术方案如下：

3、一种转移机械臂，包括机械转移臂、通过电力设备带动其他结构进行转动的旋转机构，还包括能够一次装夹多个晶圆且能够对晶圆有一定保护的装夹机构；所述旋转机构安装在所述机械转移臂一侧，所述装夹机构安装在所述旋转机构输出端；

4、所述装夹机构包括装夹架，所述装夹架固定在所述旋转机构的输出端，所述装夹架中间固定有两个固定轴，所述固定轴中间固定有多个主夹板，所述固定轴一侧设置有螺杆，且所述螺杆与所述装夹架转动连接，所述螺杆输入端联轴器连接有第二电机，所述螺杆下方设置有限位轴，所述限位轴与所述螺杆中间设置有多个副夹板，所述螺杆外围固定有多个限位圈。

5、优选地：所述限位圈尺寸比所述主夹板尺寸宽。

6、优选地：所述副夹板与所述主夹板螺纹连接，所述副夹板与所述限位轴滑动配合。

7、优选地：所述装夹机构还包括多个夹紧垫，所述夹紧垫固定在所述主夹板与所述副夹板对应的端面上，且所述装夹架后端内壁也固定有夹紧垫。

8、优选地：所述夹紧垫与所述装夹架、所述主夹板以及所述副夹板的固定端为金属材质，另一端为橡胶材质。

9、优选地：所述旋转机构包括安装架，所述安装架安装在所述机械转移臂一侧，所述安装架内部安装有第一电机，所述第一电机输出端联轴器连接有转轴。

10、有益效果在于：当装置需要对晶圆进行转移时，通过机械转移臂的运作以及旋转机构的转动，将设备调整到合适的位置，启动第二电机，通过螺杆与副夹板的螺纹连接以及限位轴与副夹板的滑动配合，螺杆转动后能够让多个副夹板向对应的主夹板移动，从而对多片晶圆进行夹持处理，通过这样使装置能够一次性夹持多片晶圆进行转移，在对晶圆进行夹持的过程中，通过限位圈的尺寸比主夹板稍宽一些，使限位圈能够对副夹板进行一定过的限位，再配合橡胶的特性，避免副夹板过渡的夹紧对晶圆造成破损。

技术特征：

1.一种转移机械臂，包括机械转移臂(1)、通过电力设备带动其他结构进行转动的旋转机构(3)，其特征在于：还包括能够一次装夹多个晶圆且能够对晶圆有一定保护的装夹机构(4)；所述旋转机构(3)安装在所述机械转移臂(1)一侧，所述装夹机构(4)安装在所述旋转机构(3)输出端；

2.根据权利要求1所述的一种转移机械臂，其特征在于：所述限位圈(49)尺寸比所述主夹板(43)尺寸宽。

3.根据权利要求1所述的一种转移机械臂，其特征在于：所述副夹板(47)与所述主夹板(43)螺纹连接，所述副夹板(47)与所述限位轴(46)滑动配合。

4.根据权利要求1所述的一种转移机械臂，其特征在于：所述装夹机构(4)还包括多个夹紧垫(48)，所述夹紧垫(48)固定在所述主夹板(43)与所述副夹板(47)对应的端面上，且所述装夹架(41)后端内壁也固定有夹紧垫(48)。

5.根据权利要求4所述的一种转移机械臂，其特征在于：所述夹紧垫(48)与所述装夹架(41)、所述主夹板(43)以及所述副夹板(47)的固定端为金属材质，另一端为橡胶材质。

6.根据权利要求1所述的一种转移机械臂，其特征在于：所述旋转机构(3)包括安装架(31)，所述安装架(31)安装在所述机械转移臂(1)一侧，所述安装架(31)内部安装有第一电机(32)，所述第一电机(32)输出端联轴器连接有转轴(33)。

技术总结
本技术公开了一种转移机械臂，包括机械转移臂、通过电力设备带动其他结构进行转动的旋转机构，还包括能够一次装夹多个晶圆且能够对晶圆有一定保护的装夹机构；通过上述技术方案，当装置对晶圆转移时，通过机械转移臂的运作以及旋转机构的转动，将设备调整到合适的位置，启动第二电机，通过螺杆与副夹板的螺纹连接以及限位轴与副夹板的滑动配合，螺杆转动后能够让多个副夹板向对应的主夹板移动，从而对多片晶圆进行夹持处理，通过这样使装置能够一次性夹持多片晶圆进行转移，在对晶圆进行夹持的过程中，通过限位圈的尺寸比主夹板稍宽一些，使限位圈能够对副夹板进行一定过的限位，再配合橡胶的特性，避免副夹板过渡的夹紧对晶圆造成破损。

技术研发人员：陈松涛,何在田,田耕
受保护的技术使用者：郑州轨道交通信息技术研究院
技术研发日：20230518
技术公布日：2024/1/15