本技术涉及硅片清洗领域。
背景技术：
1、在晶硅电池制作过程中，湿法清洗工序主要进行电池正背面的抛光或清洗，在清洗过程中，再经hf酸洗槽之前，因为电池表面存在磷硅玻璃层，起到很好的保护作用，有效避免表面药液残留及污染。经hf酸洗槽过程后，因表面磷硅玻璃被去除，容易发生药液残留及污染，再经热氧或臭氧环境的影响，从而造成el黑斑。
2、传统的硅片清洗采用水槽进行摆动清洗、鼓泡清洗、浸泡清洗等，但是仍然存在清洗不佳导致药液残留问题。
技术实现思路
1、本实用新型所要解决的技术问题是：如何提供一种更加的硅片清洗装置。
2、本实用新型所采用的技术方案是：一种改善el黑斑的硅片清洗装置，包括多个敞口的水洗槽，硅片6依次通过每个水洗槽进行清洗，每个水洗槽的上部都安装有传送滚轴5、挡水滚轴7、喷淋装置8，最后一个水洗槽4上部还安装有风刀9，每个水洗槽中都安装有一个水泵10，多个水洗槽的相邻两个水洗槽中，后一个水洗槽的水泵10通过管道连接前一个水洗槽的喷淋装置8，每个喷淋装置8都通过阀门连接清洁水源，传送滚轴5上套有弹性套51，每个传送滚轴5都连接外界动力源，每个挡水滚轴7都不连接外界动力源。
3、每个水洗槽都对应两个喷淋装置8，该两个喷淋装置8关于硅片6成对称关系。
4、每个水洗槽对应的两个喷淋装置8在水平上处于水洗槽的长度的1/3处。
5、传送滚轴5和挡水滚轴7都为成对的滚轴，每个水洗槽的上部都安装有2-5对传送滚轴5和一对挡水滚轴7，相邻两队传送滚轴5之间的间距小于硅片长度的1/2，挡水滚轴7处于最后两对传送滚轴5之间。
6、每对传送滚轴5都彼此平行，每对传送滚轴5与水平面成0.5°-2°的夹角，每队挡水滚轴7与水平面的夹角和每对传送滚轴5与水平面的夹角相等。
7、每个喷淋装置8的喷淋水出口与水平面硅片来向成10°-20°的夹角。
8、外界动力源为电机或者连接电机的齿轮组。
9、传送滚轴5距离每个水洗槽的距离大于0小于等于5cm，挡水滚轴7距离每个水洗槽的距离大于0小于等于5cm。
10、每个水洗槽对应两个喷淋装置8，当硅片6移动到每个水洗槽对应两个喷淋装置8之间时，每个喷淋装置8的喷口距离硅片6的距离为2-3cm。
11、喷淋装置8为一根平行于挡水滚轴7的直管，直管上等间隔开有多个小孔作为喷口。
12、硅片在经过水洗槽依次被清洗，并且在最后一个清洗槽清洗后被风刀吹干。后面一个清洗槽清洗过程中产生的积水供前一个清洗槽喷淋，形成层次化的清洗方案，再加上采用喷淋方式，相对于现有的水槽清洗更为节省用水。
13、硅片的移动通过传送滚轮来实现，传送滚轮外包裹有弹性套，弹性套为棉套、柔性纤维套，弹性套在传送过程中挤压硅片，破坏了酸液或碱液在硅片表面形成的膜层，易于被水溶解清洗。
14、由于传送滚轮与挡水滚轮与水平面有倾角，进而硅片与水平面有倾角，该倾角虽然很小但是能够使硅片表面的积水快速的流失，进而降低硅片表面的液体溶解酸碱后的浓度，进而使硅片清洗效果更佳。挡水滚轮对喷淋过程在硅片表面的水进行阻挡，降低水附着在硅片表面的量，进而硅片在进入下一个清洗槽时，硅片表面的酸碱量更为降低，在喷淋清洗时，形成的积水中酸碱含量更为低，提高了清洗效果和水的利用率。
15、喷淋装置8的喷淋水出口与水平面硅片来向成10°-20°的夹角，能够使硅片表面积水更快的在硅片表面流走。
1.一种改善el黑斑的硅片清洗装置，包括多个敞口的水洗槽，硅片（6）依次通过每个水洗槽进行清洗，其特征在于：每个水洗槽的上部都安装有传送滚轴（5）、挡水滚轴（7）、喷淋装置（8），最后一个水洗槽（4）上部还安装有风刀（9），每个水洗槽中都安装有一个水泵（10），多个水洗槽的相邻两个水洗槽中，后一个水洗槽的水泵（10）通过管道连接前一个水洗槽的喷淋装置（8），每个喷淋装置（8）都通过阀门连接清洁水源，传送滚轴（5）上套有弹性套（51），每个传送滚轴（5）都连接外界动力源，每个挡水滚轴（7）都不连接外界动力源。
2.根据权利要求1所述的一种改善el黑斑的硅片清洗装置，其特征在于：每个水洗槽都对应两个喷淋装置（8），该两个喷淋装置（8）关于硅片（6）成对称关系。
3.根据权利要求2所述的一种改善el黑斑的硅片清洗装置，其特征在于：每个水洗槽对应的两个喷淋装置（8）在水平上处于水洗槽的长度的1/3处。
4.根据权利要求1所述的一种改善el黑斑的硅片清洗装置，其特征在于：传送滚轴（5）和挡水滚轴（7）都为成对的滚轴，每个水洗槽的上部都安装有2-5对传送滚轴（5）和一对挡水滚轴（7），相邻两队传送滚轴（5）之间的间距小于硅片长度的1/2，挡水滚轴（7）处于最后两对传送滚轴（5）之间。
5.根据权利要求4所述的一种改善el黑斑的硅片清洗装置，其特征在于：每对传送滚轴（5）都彼此平行，每对传送滚轴（5）与水平面成0.5°-2°的夹角，每队挡水滚轴（7）与水平面的夹角和每对传送滚轴（5）与水平面的夹角相等。
6.根据权利要求1所述的一种改善el黑斑的硅片清洗装置，其特征在于：每个喷淋装置（8）的喷淋水出口与水平面硅片来向成10°-20°的夹角。
7.根据权利要求1所述的一种改善el黑斑的硅片清洗装置，其特征在于：外界动力源为电机或者连接电机的齿轮组。
8.根据权利要求1所述的一种改善el黑斑的硅片清洗装置，其特征在于：传送滚轴（5）距离每个水洗槽的距离大于0小于等于5cm，挡水滚轴（7）距离每个水洗槽的距离大于0小于等于5cm。
9.根据权利要求1所述的一种改善el黑斑的硅片清洗装置，其特征在于：每个水洗槽对应两个喷淋装置（8），当硅片（6）移动到每个水洗槽对应两个喷淋装置（8）之间时，每个喷淋装置（8）的喷口距离硅片（6）的距离为2-3cm。
10.根据权利要求1所述的一种改善el黑斑的硅片清洗装置，其特征在于：喷淋装置（8）为一根平行于挡水滚轴（7）的直管，直管上等间隔开有多个小孔作为喷口。