一种镀膜机载具的接地装置的制作方法

本技术涉及镀膜设备，尤其涉及一种镀膜机载具的接地装置。

背景技术：

1、很多镀膜设备需要载具接地，载具接地能够提升成品良率，但同时会影响到靶材的利用率。目前现有的接地装置能够实现载具接地或者载具不接地两种状态，但在改变状态时一般需要进行停机开腔处理，这导致了设备工作过程中不能随时改变载具接地状态，给实际生产过程带来诸多不便。如果不改变接地状态使载具一直接地，则会导致靶材利用率下降，一直不接地则会产生打火现象，导致产品不良。

2、因此，有必要研究一种镀膜机载具的接地装置来应对现有技术的不足，以解决或减轻上述一个或多个问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型提供了一种镀膜机载具的接地装置，能够实现载具接地、加偏压、间歇性接地，且改变载具接地状态时无需停机以及开腔破真空。

2、本实用新型提供一种镀膜机载具的接地装置，包括真空腔体、设于其内的载具、若干磁流体、若干主动传动轮、若干从动传动轮、若干接地轮、传动电机和接地电机；

3、所述真空腔体的主动侧壁上和从动侧壁上均设有一排所述磁流体；主动侧壁的磁流体内端均设有所述主动传动轮，从动侧壁的任一磁流体内端设置有所述接地轮或所述从动传动轮；

4、所述载具的两侧接触性设置在所述主动传动轮和所述从动传动轮的上方；

5、所述主动传动轮与所述传动电机传动连接，在传动电机带动下转动；

6、所述接地轮与所述接地电机传动连接，在接地电机带动下转动，实现与所述载具底面的接触和分离；

7、所述接地轮与地端或外加电压端电连接。

8、如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述接地轮包括轮体和若干导电拨片；

9、所述导电拨片均匀设于所述轮体的外周，且所述导电拨片的一端与所述轮体固接，另一端呈自由态；

10、所述接地轮转动时，带动其上的所述导电拨片转动，当某一导电拨片转至最顶端时与所述载具底面接触连接，转至非顶端时与所述载具底面分离。

11、如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述导电拨片具有弧度。

12、如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所有接地轮上的所有导电拨片均同向设置。

13、如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述接地轮的转动方向与所述载具的传动方向相反。

14、如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述导电拨片的数量为一个、两个、三个或四个。

15、如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，同向设置具体为：导电拨片按弧度均呈顺时针态设置或均呈逆时针态设置。

16、如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述主动传动轮通过螺丝固定安装在对应的磁流体的轴上，磁流体通过设于其外端部的同步轮和同步带与所述传动电机连接。

17、如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述接地轮通过螺丝固定安装在对应的磁流体的轴上，磁流体通过设于其外端部的同步轮和同步带与所述接地电机连接。

18、如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述接地轮和所述从动传动轮相间设置在不同的磁流体的内端。

19、与现有技术相比，上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：本实用新型的方案可以任意改变载具接地状态，随时切换接地、间歇性接地，且能够在不开腔破空的前提条件下改变载具接地状态，避免产能损失；

20、上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：本实用新型的方案使用外加电压可实现对载具加偏压；

21、上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：本实用新型的方案可以通过调整电机转速实时调整接地间隙。

22、当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有技术效果。

技术特征：

1.一种镀膜机载具的接地装置，包括真空腔体和设于其内的载具，其特征在于，所述接地装置还包括若干磁流体、若干主动传动轮、若干从动传动轮、若干接地轮、传动电机和接地电机；

2.根据权利要求1所述的镀膜机载具的接地装置，其特征在于，所述接地轮包括轮体和若干导电拨片；

3.根据权利要求1所述的镀膜机载具的接地装置，其特征在于，所述导电拨片具有弧度。

4.根据权利要求3所述的镀膜机载具的接地装置，其特征在于，所有接地轮上的所有导电拨片均同向设置。

5.根据权利要求3所述的镀膜机载具的接地装置，其特征在于，所述接地轮的转动方向与所述载具的传动方向相反。

6.根据权利要求2所述的镀膜机载具的接地装置，其特征在于，所述导电拨片的数量为一个、两个、三个或四个。

7.根据权利要求4所述的镀膜机载具的接地装置，其特征在于，同向设置具体为：导电拨片按弧度均呈顺时针态设置或均呈逆时针态设置。

8.根据权利要求1所述的镀膜机载具的接地装置，其特征在于，所述主动传动轮通过螺丝固定安装在对应的磁流体的轴上，磁流体通过设于其外端部的同步轮和同步带与所述传动电机连接。

9.根据权利要求1所述的镀膜机载具的接地装置，其特征在于，所述接地轮通过螺丝固定安装在对应的磁流体的轴上，磁流体通过设于其外端部的同步轮和同步带与所述接地电机连接。

10.根据权利要求1所述的镀膜机载具的接地装置，其特征在于，所述接地轮和所述从动传动轮相间设置在不同的磁流体的内端。

技术总结
本技术涉及一种镀膜机载具的接地装置，属于镀膜设备技术领域，能够实现载具接地、加偏压、间歇性接地，且改变载具接地状态时无需停机以及开腔破真空；该装置在真空腔体的主动侧壁上和从动侧壁上分别设一排磁流体；主动侧壁的磁流体内端均设有主动传动轮，从动侧壁的磁流体内端间隔性设置有接地轮和从动传动轮；载具的两侧接触性设置在所述主动传动轮和所述从动传动轮的上方；所述主动传动轮与传动电机传动连接，在传动电机带动下转动；所述接地轮与接地电机传动连接，在接地电机带动下转动，实现与载具底面的接触和分离。

技术研发人员：王星辰,苟杰,张伟健,周楷,赵小东
受保护的技术使用者：苏州迈为科技股份有限公司
技术研发日：20230621
技术公布日：2024/1/15