短光脉冲产生装置、太赫兹波产生装置、照相机、成像装置及测量装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及短光脉冲产生装置、太赫兹波产生装置、照相机、成像装置、以及测量 装置。
【背景技术】
[0002] 近年，具有100GHz以上30THZ以下的频率的电磁波亦即太赫兹波受到注目。太赫 兹波例如能够使用于成像、分光测量等各种测量、无损检查等。
[0003] 产生该太赫兹波的太赫兹波产生装置例如具有产生具有亚皮秒（数百飞秒）左右 的脉冲宽度的光脉冲的短光脉冲产生装置、和被照射在短光脉冲产生装置产生的光脉冲从 而产生太赫兹波的光导天线。一般来说，作为产生亚皮秒左右的脉冲宽度的光脉冲的短光 脉冲产生装置，使用飞秒光纤激光器、钛蓝宝石激器、以及半导体激光器等。
[0004]例如专利文献1记载了直接调制半导体激光使光脉冲的频率线性调频之后，在由 光纤构成的光脉冲压缩部（群速度色散部）压缩脉冲宽度的光脉冲产生装置。
[0005] 专利文献1 :日本特开平11 一 40889号公报
[0006] 然而，在专利文献1的光脉冲产生装置中，直接调制半导体激光使光脉冲的频率 线性调频，所以线性调频量较小，在群速度色散部中，不能够充分地压缩脉冲宽度。
【发明内容】
[0007] 本发明的几个方式所涉及的目的之一在于提供能够产生脉冲宽度较小的光脉冲 的短光脉冲产生装置。另外，本发明的几个方式所涉及的目的之一在于提供包含上述短光 脉冲产生装置的太赫兹波产生装置、照相机、成像装置、以及测量装置。
[0008] 本发明所涉及的短光脉冲产生装置包含：
[0009] 光脉冲生成部，其生成光脉冲；
[0010] 频率线性调频部，其使上述光脉冲的频率线性调频；以及
[0011] 群速度色散部，其使在上述频率线性调频部进行了线性调频的上述光脉冲产生与 波长对应的群速度差，
[0012] 上述群速度色散部包含：
[0013] 群速度色散介质，其供在上述频率线性调频部进行了线性调频的上述光脉冲射 入；以及
[0014] 第一反射镜以及第二反射镜，它们以将上述群速度色散介质夹着的方式设置，
[0015] 射入至上述群速度色散介质的上述光脉冲被上述第一反射镜和上述第二反射镜 多次反射并在上述群速度色散介质中行进。
[0016] 在这样的短光脉冲产生装置中，在频率线性调频部中，能够使光脉冲线性调频。因 此，例如与不具有频率线性调频部的情况相比，能够增大光脉冲的线性调频量，能够在群速 度色散部中充分地压缩脉冲宽度。因此，这样的短光脉冲产生装置能够产生脉冲宽度较小 的光脉冲。
[0017] 并且，在这样的短光脉冲产生装置中，射入至群速度色散介质的光脉冲被第一反 射镜以及第二反射镜多次反射而在群速度色散介质中行进，因此能够使群速度色散部小型 化。另外，例如即使在群速度色散介质的每个单位长度的群速度色散值小的情况下，通过增 加光脉冲在第一反射镜以及第二反射镜的反射次数，也能够增大群速度色散部的群速度色 散值。
[0018] 在本发明所涉及的短光脉冲产生装置中，
[0019] 也可以在上述群速度色散介质的供上述光脉冲射入的面以及上述群速度色散介 质的射出上述光脉冲的面设有防反射膜。
[0020] 在这样的短光脉冲产生装置中，能够降低光脉冲在群速度色散介质的供光脉冲射 入的面以及群速度色散介质的射出光脉冲的面的反射率。
[0021] 在本发明所涉及的短光脉冲产生装置中，
[0022] 也可以包括能够改变上述光脉冲相对于上述第一反射镜的入射角度的可变机构。
[0023] 在这样的短光脉冲产生装置中，能够改变光脉冲在第一以及第二反射镜的反射次 数。其结果，在这样的短光脉冲产生装置中，能够改变群速度色散部的群速度色散值。由此， 能够改变在短光脉冲产生装置产生的光脉冲的脉冲宽度。
[0024] 在本发明所涉及的短光脉冲产生装置中，
[0025] 也可以包括将射入至上述群速度色散介质的上述光脉冲转换为平行光的准直透 镜。
[0026] 在这样的短光脉冲产生装置中，能够抑制射入至群速度色散介质的光脉冲发散。
[0027] 在本发明所涉及的短光脉冲产生装置中，
[0028] 也可以构成为，上述群速度色散介质是玻璃基板。
[0029] 在这样的短光脉冲产生装置中，能够实现低成本化。并且，玻璃基板并不极度地吸 收在光脉冲生成部生成的光脉冲。因此，在这样的短光脉冲产生装置中，能够抑制在群速度 色散介质中光脉冲的强度降低这一情况。
[0030] 本发明所涉及的太赫兹波产生装置包括：
[0031] 本发明所涉及的短光脉冲产生装置；以及
[0032] 光导天线，其被照射由上述短光脉冲产生装置产生的短光脉冲而产生太赫兹波。
[0033] 在这样的太赫兹波产生装置中，能够包含能够产生脉冲宽度小的光脉冲的短光脉 冲产生装置。
[0034] 本发明所涉及的照相机包括：
[0035] 本发明所涉及的短光脉冲产生装置；
[0036] 光导天线，其被照射由上述短光脉冲产生装置产生的短光脉冲而产生太赫兹波；
[0037] 太赫兹波检测部，其检测从上述光导天线射出并透过对象物的上述太赫兹波或者 被对象物反射的上述太赫兹波；以及
[0038] 存储部，其存储上述太赫兹波检测部的检测结果。
[0039] 在这样的照相机中，能够包括能够产生脉冲宽度较小的光脉冲的短光脉冲产生装 置。
[0040] 本发明所涉及的成像装置包括：
[0041] 本发明所涉及的短光脉冲产生装置；
[0042] 光导天线，其被照射由上述短光脉冲产生装置产生的短光脉冲而产生太赫兹波；
[0043] 太赫兹波检测部，其检测从上述光导天线射出并透过对象物的上述太赫兹波或者 被对象物反射的上述太赫兹波；以及
[0044] 图像形成部，其基于上述太赫兹波检测部的检测结果，生成上述对象物的图像。
[0045] 这样的成像装置能够包括能够产生脉冲宽度小的光脉冲的短光脉冲产生装置。
[0046] 本发明所涉及的测量装置包括：
[0047] 本发明所涉及的短光脉冲产生装置；
[0048] 光导天线，其被照射由上述短光脉冲产生装置产生的短光脉冲而产生太赫兹波；
[0049] 太赫兹波检测部，其检测从上述光导天线射出并透过对象物的上述太赫兹波或者 被对象物反射的上述太赫兹波；以及
[0050] 测量部，其基于上述太赫兹波检测部的检测结果，测量上述对象物。
[0051] 这样的测量装置能够包含能够产生脉冲宽度小的光脉冲的短光脉冲产生装置。
【附图说明】
[0052] 图1是本实施方式所涉及的短光脉冲产生装置的功能框图。
[0053] 图2是示意地表示本实施方式所涉及的短光脉冲产生装置的图。
[0054] 图3是示意地表示本实施方式所涉及的短光脉冲产生装置的光脉冲生成部的发 光元件以及频率线性调频部的光波导的立体图。
[0055] 图4是示意地表示本实施方式所涉及的短光脉冲产生装置的光脉冲生成部的发 光元件以及频率线性调频部的光波导的剖视图。
[0056] 图5是表示在光脉冲生成部生成的光脉冲的一个例子的曲线图。
[0057]图6是表示频率线性调频部的线性调频特性的一个例子的曲线图。
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