真空密封部
[0098]18 EDX 检测器
[0099]19凸缘部
[0100]20 支柱
[0101]35个人电脑
[0102]36上位控制部
[0103]37下位控制部
[0104]43，44 通信线
[0105]47薄膜支承部件
[0106]50操作用窗口
[0107]51图像显示部
[0108]52图像观察开始按钮
[0109]53图像观察停止按钮
[0110]54焦点调整按钮
[0111]55明亮度调整按钮
[0112]56对比度调整按钮
[0113]57真空排气按钮
[0114]58大气释放按钮
[0115]81 开口部
[0116]101气体控制阀
[0117]103气体气缸
[0118]112气体放出开始按钮
[0119]113气体放出停止按钮
[0120]114气体放出条件设定按钮
[0121]117气体放出时间设定框
[0122]118气体放出条件设定窗口
[0123]119气体放出执行检查框
[0124]120 OK 按钮
[0125]124真空密封机构
【主权项】
1.一种带电粒子线装置，其包括将从带电粒子源放出的一次带电粒子线向试料上扫描的带电粒子光学系统；收纳该带电粒子光学系统的带电粒子光学镜筒；检测由所述扫描得到的反射电子或者二次电子的检测器；至少一个以上的排气泵，其特征在于， 该带电粒子线装置具备: 使所述一次带电粒子线透射或者通过的薄膜以及保持该薄膜的薄膜支承部件； 收纳所述试料，且利用设于侧面的开口部至少在所述试料的观察中处于内部向大气开放的状态的第2箱体；以及 以支承所述带电粒子光学镜筒的方式与所述带电粒子光学镜筒相接合、且内部被真空排气的第I箱体； 所述薄膜支承部件安装在所述第I箱体的与所述带电粒子光学镜筒的端部对置的位置， 所述检测器对通过相对于收纳在所述第2箱体内的试料经由所述薄膜扫描所述一次带电粒子线而得到的二次电子或者反射电子中的、通过所述薄膜而到达该薄膜的上方的二次电子或者反射电子进行检测。
2.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于， 所述第2箱体的内部、即收纳有所述试料的第一空间包括透射或者通过所述薄膜之后的所述一次带电粒子线的轨道， 所述第I箱体的内部、即第二空间包括透射或者通过所述薄膜之前的所述一次带电粒子线的轨道。
3.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于， 所述试料从设于所述第2箱体的侧面的开口部向所述第2箱体的内部导入。
4.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于， 所述带电粒子线装置具备向所述第2箱体内供给气体的气体喷嘴，通过该气体喷嘴向透射或者通过了所述薄膜的所述一次带电粒子线的通过路径供给质量比大气轻的气体。
5.根据权利要求4所述的带电粒子线装置，其特征在于， 来自所述气体喷嘴的放出气体包括氢气、氦气、甲烷气体、水蒸气之中的任一种。
6.根据权利要求4所述的带电粒子线装置，其特征在于， 所述气体喷嘴安装在所述薄膜支承部件上。
7.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于， 所述薄膜支承部件在固定有所述薄膜的状态下在该带电粒子装置上装卸。
8.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于， 所述带电粒子线装置具备对所述薄膜与所述试料的距离进行测量的测量机构。
9.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于， 在所述第2箱体内具备:载置所述试料的试料台；使该试料台向Z方向移动的Z台。
10.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于， 所述薄膜或薄膜支承部件具备对所述试料与所述薄膜的距离进行限制的限制部件。
11.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于， 在所述第I箱体内，具备对通过所述一次带电粒子线的照射而从所述试料放出的X线进行检测的第2检测器。
12.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于， 所述薄膜的厚度为20 μ m以下。
13.根据权利要求1所述的带电粒子线装置，其特征在于， 在所述第2箱体内具备载置所述试料的试料台， 所述试料台能够与所述薄膜独立地移动。
14.一种显微方法，将从带电粒子光学镜筒的端部射出的一次带电粒子线向试料上扫描，将由该扫描得到的反射电子或者二次电子图像化，从而观察所述试料，其特征在于， 通过在收纳所述试料的第2箱体的侧面设置的开口部，至少在所述试料的观察中使所述第2箱体的内部向大气开放，将以支承所述带电粒子光学镜筒的方式与所述带电粒子光学镜筒接合的第I箱体的内部的一次带电粒子线的第I通过路径、即在所述第I箱体的与所述带电粒子光学镜筒的端部对置的位置与所述带电粒子光学镜筒的端部分离配置的供所述一次带电粒子线透射或者通过的薄膜与所述端部之间所存在的一次带电粒子线的第I通过路径维持为真空状态， 通过对相对于收纳在所述第2箱体内的试料隔着所述薄膜扫描所述一次带电粒子线而得到的二次电子或反射电子中的、透射或者通过所述薄膜而返回所述带电粒子光学镜筒侧的二次电子或反射电子进行检测，由此进行所述试料的观察。
15.根据权利要求14所述的显微方法，其特征在于， 所述试料从设于所述第2箱体的侧面的开口部向所述第2箱体的内部导入。
16.根据权利要求14所述的显微方法，其特征在于， 通过在所述第2箱体内移动载置所述试料的试料台，所述试料能够与所述薄膜独立地移动。
17.根据权利要求14所述的显微方法，其特征在于， 向存在于所述薄膜与所述试料之间的一次带电粒子线的第2通过路径供给质量比大气轻的气体。
18.根据权利要求17所述的显微方法，其特征在于， 所述质量比大气轻的气体包括氢气、氦气、甲烷气体、水蒸气之中的任一种。
19.根据权利要求17所述的显微方法，其特征在于， 所述气体从固定在保持所述薄膜的薄膜支承部件上的气体喷嘴进行供给。
20.根据权利要求14所述的显微方法，其特征在于， 所述薄膜固定于在带电粒子线装置的外部保持所述薄膜的薄膜支承部件，在固定于所述薄膜支承部件的状态下相对于该带电粒子线装置进行装卸。
21.根据权利要求14所述的显微方法，其特征在于， 通过对所述薄膜与所述试料的距离进行测量并且使所述试料接近所述薄膜，由此调整所述薄膜与所述试料的距离。
22.根据权利要求14所述的显微方法，其特征在于， 将存在于所述薄膜与所述试料之间的一次带电粒子线的第2通过路径的长度调整为规定的长度，进行所述试料的观察。
23.根据权利要求14所述的显微方法，其特征在于， 限制所述试料与所述薄膜的距离，使其不会接近至一定值以上。
24.根据权利要求14所述的显微方法，其特征在于， 利用在所述第I箱体内具备的第2检测器，对通过所述一次带电粒子线的照射而从所述试料放出的X线进行检测。
25.根据权利要求14所述的显微方法，其特征在于， 所述薄膜的厚度为20 μ m以下。
【专利摘要】提供一种带电粒子线装置、带电粒子显微镜，即便是大型的试料也可以在大气环境或者气体环境下进行观察。在采用分隔真空环境与大气环境(或气体环境)的薄膜的构成的带电粒子线装置中，具备：收纳带电粒子光学系统的带电粒子光学镜筒；将从该带电粒子光学镜筒射出的一次带电粒子线到达所述薄膜的路径维持为真空环境的箱体；相对于装置设置面支承上述带电粒子光学镜筒与第1箱体的机构，作为该支承机构，采用具有用于搬入大型试料的开放口的箱体、或者支柱等箱体以外的形状的机构。
【IPC分类】H01J37-28, H01J37-18
【公开号】CN104851769
【申请号】CN201510171197
【发明人】大南祐介, 伊东祐博, 胜山正己
【申请人】株式会社日立高新技术
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2011年11月2日
【公告号】CN103329240A, CN103329240B, DE112011104347B4, DE112011104347T5, US20130313430, WO2012104942A1