固态摄像装置及照相机的制作方法_3

文档序号:8529381阅读:来源:国知局
由来自接触件CT_的少数载流子所造成的噪声。因此,根据该规格,在区域R3和R3’与一些像素的光电转换部H)之间,可以既不形成晶体管Tkes和T SF,也不形成区域R5。示例包括相对不易受到噪声影响的像素(在诸如拜耳排列的颜色兼容的像素阵列中具有较小的噪声影响的颜色的像素)和到区域R3的距离相对地大于其他像素到区域R3的距离的像素。另外,例如,在具有小于其他像素的开口的用于焦点检测的像素中,从各光电转换部到各接触件的距离可能较大。
[0052]因此,除了获得与前述第一实施例相同的效果,该实施例还在提高布局效率方面具有优势。
[0053]如图4A和图4B那样,图5A和图5B示出根据该实施例的像素阵列结构中的一部分区域的变型例。图5A示出布局配置,图5B示出沿切割线Y-Y’取得的断面结构。在前述的图4A和图4B中,示出了区域R3’和R5’被形成为彼此接触的结构。然而,如图5A和图5B所示,可以在区域R3’和R5’之间形成元件分离部PIS()。
[0054](4.其他)
[0055]上文例示了两个优选实施例。然而,本发明不限于这些实施例。可以在不脱离本发明的范围内根据应用等改变一些部分。例如,已经通过将第一导电类型设置为P型以及将第二导电类型设置为N型描述了上文的各实施例。然而,这也同样适用于各半导体区域的导电类型的极性相反的情况。
[0056]在上文描述的各实施例中,已经通过例示以照相机等为代表的摄像系统中包括的固态摄像装置来描述了本发明。摄像系统的概念不仅包括以摄影为主要目的的装置,还包括辅助地具有摄影功能的装置(例如,个人计算机和便携式终端)。摄像系统能够包括上文描述的各实施例中例示的固态摄像装置、以及处理从固态摄像装置输出的信号的处理器。处理器能够包括,例如,A/D转换器、处理来自A/D转换器的数字数据的处理器。
[0057]虽然参照示例性实施例对本发明进行了描述,但是应当理解,本发明并不限于所公开的示例性实施例。应当对下列权利要求的范围给予最宽的解释,以使其涵盖所有这些变型例以及等同的结构及功能。
【主权项】
1.一种固态摄像装置,包括: 设置于第一导电类型的第一半导体区域中的多个光电转换部; 设置于所述第一半导体区域中的、并被构造为向所述第一半导体区域供给第一电势的所述第一导电类型的第一部分;以及 被构造为接收不同于所述第一电势的第二电势的第二导电类型的第二半导体区域,其中,所述第一部分被设置于所述多个光电转换部中的、彼此邻接的第一光电转换部和第二光电转换部之间,以及 所述第二半导体区域被设置于所述第一部分和所述第一光电转换部之间,以及被设置于所述第一部分和所述第二光电转换部之间。
2.根据权利要求1所述的固态摄像装置,还包括电连接到所述第一部分的第一电极;以及 电连接到所述第二半导体区域并被构造为向所述第二半导体区域供给所述第二电势的第二电极, 其中,在针对包括所述第一半导体区域的基板的上表面在平面视图中观看的情况下,所述第二电极被设置于所述第一电极和所述第一光电转换部之间以及所述第一电极和所述第二光电转换部之间。
3.根据权利要求1所述的固态摄像装置,还包括各自包括所述多个光电转换部的至少一个的多个像素, 其中,所述多个像素的每个包括至少一个MOS晶体管,以及 所述第二半导体区域是所述至少一个MOS晶体管的漏极。
4.根据权利要求3所述的固态摄像装置,其中,所述至少一个MOS晶体管包括:被构造为放大基于所述光电转换部中生成的电荷的信号的放大晶体管和被构造为重置像素的重置晶体管中的至少一个。
5.根据权利要求1所述的固态摄像装置,还包括:被构造为从所述多个光电转换部读出信号的单元, 其中,在所述单元中包括的至少一个MOS晶体管的源极和漏极具有所述第二导电类型,以及 所述第二半导体区域的杂质浓度低于所述源极和漏极的杂质浓度。
6.根据权利要求1所述的固态摄像装置,其中所述第二半导体区域围绕所述第一部分。
7.根据权利要求6所述的固态摄像装置,其中,所述第一半导体区域通过所述第二半导体区域下的区域从所述第一部分延伸至所述光电转换部。
8.根据权利要求1所述的固态摄像装置,还包括元件分离部,所述元件分离部包括设置于所述第一分部和所述第二半导体区域之间的绝缘材料。
9.根据权利要求8所述的固态摄像装置,其中,所述第一半导体区域通过所述元件分离部下的区域从所述第一部分延伸至所述光电转换部。
10.根据权利要求1所述的固态摄像装置,其中,所述第二半导体区域延伸至比所述第一光电转换部和所述第二光电转换部更深的位置。
11.根据权利要求1所述的固态摄像装置,其中,所述多个光电转换部的每一个包括被构造为与所述第一半导体区域形成PN结的第二导电类型的第三半导体区域。
12.根据权利要求1所述的固态摄像装置,其中所述第二电势是电源电势。
13.根据权利要求1所述的固态摄像装置,其中所述第一电势是地电势。
14.一种固态摄像装置,包括: 设置于第一导电类型的第一半导体区域中的多个光电转换部; 设置于所述第一半导体区域中的、并被构造为向所述第一半导体区域供给第一电势的所述第一导电类型的第一部分;以及 被构造为接收不同于所述第一电势的第二电势的第二导电类型的第二半导体区域, 其中,所述第一部分被设置于所述多个光电转换部中所包括的两个光电转换部之间,以及 在针对包括所述第一半导体区域的基板的上表面在平面视图中观看的情况下,所述第二半导体区域围绕所述第一部分。
15.一种固态摄像装置,包括: 设置于第一导电类型的第一半导体区域中以形成阵列的多个光电转换部; 设置于所述第一半导体区域中的、并被构造为向所述第一半导体区域供给第一电势的所述第一导电类型的第一部分;以及 被构造为接收不同于所述第一电势的第二电势的第二导电类型的第二半导体区域, 其中,所述第一部分被设置于所述多个光电转换部中所包括的两个光电转换部之间, 所述多个光电转换部包括第一光电转换部和第二光电转换部, 从所述第一光电转换部到所述第一部分的距离以及从所述第二光电转换部到所述第一部分的距离小于由所述多个光电转换部形成的阵列的空间周期,以及 所述第二半导体区域被设置于所述第一光电转换部与所述第一部分之间,以及被设置于所述第二光电转换部和所述第一部分之间。
16.—种照相机,包括: 根据权利要求1到15中任一项所述的固态摄像装置,以及 被构造为处理从所述固态摄像装置输出的信号的处理器。
【专利摘要】本发明公开了一种固态摄像装置及照相机。所述固态摄像装置包括:设置于第一导电类型的第一半导体区域中的多个光电转换部;设置于所述第一半导体区域的、并被构造为向所述第一半导体区域供给第一电势的所述第一导电类型的第一部分;以及被构造为接收第二电势的第二导电类型的第二半导体区域,其中,所述第一部分被设置于彼此邻接的第一和第二光电转换部之间,以及所述第二半导体区域被设置于所述第一部分和所述第一光电转换部之间,以及被设置于所述第一部分和所述第二光电转换部之间。
【IPC分类】H01L27-146
【公开号】CN104851896
【申请号】CN201510066260
【发明人】约翰逊道子
【申请人】佳能株式会社
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2015年2月9日
【公告号】US20150237271
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