不可放行时(例如针对RFID安装不牢固或漏电)，分别发Mail通知WAT工程师再次进行处理，可放行时，发Mail通知MFG和WAT工程师机台可以使用。
[0034]如图1所示，作为一可选的实施方式，自动放行WAT PM探针卡的系统还可包括重置模块，在所述处理模块发出放行的指令(即发Mail通知MFG和WAT工程师)前，将所述探针卡的扎针次数记录重置，例如记录扎针次数并将ICIL中的扎针次数修改为零。
[0035]如图1所示，作为一可选的实施方式，自动放行WAT PM探针卡的系统还可包括切换模块，在所述重置模块将所述探针卡的扎针次数记录重置后、所述处理模块发出放行的指令前，将所述探针卡的机台状态进行切换，例如将该PM探针卡的状态由PM(定期维护状态)自动切换为In use (使用中状态)。
[0036]下面对本发明的一种自动放行WAT PM探针卡的方法进行详细说明。请参阅图2，图2是本发明一种自动放行WAT PM探针卡的方法流程图。如图2所示，本发明的一种自动放行WAT PM探针卡的方法，包括:
[0037]如框01所示，利用一存储模块，将获取的针对WAT PM探针卡各项验收检查项目的数据检查结果实时存入数据库。
[0038]请结合参阅图1。本发明的一种自动放行WAT PM探针卡的方法，可利用上述本发明的一种自动放行WAT PM探针卡的系统来实施，例如，可利用一自动放行WAT PM探针卡的系统的存储模块，将获取的针对WAT PM探针卡各项验收检查项目(即RFID的牢固性、基座的完好、leakage、针尖直径、prober angle等)的数据检查结果实时存入数据库。
[0039]如框02所示，利用一判断模块，根据针对PM探针卡各项验收检查项目预先设定的规格值，对所述数据库中的各项数据检查结果进行逐一的符合性判断，并输出判断结果。
[0040]然后，可利用上述系统的判断模块，根据系统中针对PM探针卡各项验收检查项目预先设定的规格(spec)值(例如PM卡漏电〈0.5pA)，对所述数据库中的各项数据检查结果进行逐一的符合性判断，并输出判断结果。如图1所示，例如符合时为“pass”，并进行下一个检查结果的符合性判断；不符合时为“fail”，并显示“Wait EE” (即等待工程师处理，如果是RFID安装不牢固，则需要重新进行安装；如果是漏电，则需要重新PM)。
[0041]如框03所示，利用一处理模块，根据所述判断结果，发出是否放行的指令。
[0042]最后，可利用上述系统的处理模块，根据所述判断模块作出的判断结果，发出是否放行的指令。作为一可选的实施方式，可通过所述处理模块的邮件发送单元，以内部邮件(Mail)的方式发出是否放行的指令；例如，在不可放行时，发Mail通知WAT工程师再次进行处理，可放行时，发Mail通知MFG和WAT工程师机台可以使用。
[0043]作为一可选的实施方式，还可利用自动放行WAT PM探针卡的系统的重置模块，在所述处理模块发出放行的指令(即发Mail通知MFG和WAT工程师)前，将所述探针卡的扎针次数记录重置，例如记录扎针次数并将ICIL中的扎针次数修改为零。
[0044]作为一可选的实施方式，还可利用自动放行WAT PM探针卡的系统的切换模块，在所述重置模块将所述探针卡的扎针次数记录重置后、所述处理模块发出放行的指令前，将所述探针卡的机台状态进行切换，例如将该PM探针卡的状态由PM (定期维护状态)自动切换为In use (使用中状态)。
[0045]作为一可选的实施方式，在全部的检查数据结果符合规格值时，可通过所述处理模块的邮件发送单元以内部邮件的方式发出放行的指令，之前，将所述探针卡的扎针次数记录清零、将所述探针卡的机台状态自动切换为In use。并且，针对每一个不符合规格值的检查数据结果，可通过所述处理模块的邮件发送单元以内部邮件的方式逐一发出不予放行的指令；例如，针对RFID安装不牢固及漏电，需要分别发送Mail通知WAT工程师，以便WAT工程师再次进行针对性的重新安装或重新PM处理。
[0046]综上所述，本发明通过建立自动放行WAT PM探针卡的系统，可实时地抓取PM探针卡的数据检查结果存入数据库，并可根据系统内各个验收检查项目的设定值判断是否放行，待各项检查均符合规格值后，系统可自动对该PM探针卡的状态进行切换，并可通过内部邮件发出放行的指令。本发明可有效地提高工作效率，减少PM探针卡release的时间(release时间可节省40%以上)，同时也减少了工程师的工作量和工作时间，从长远来讲提高了探针卡可使用时间的比率。
[0047]以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。
【主权项】
1.一种自动放行WAT PM探针卡的系统，其特征在于，包括: 存储模块，将获取的针对WAT PM探针卡各项验收检查项目的数据检查结果实时存入数据库； 判断模块，根据系统中针对PM探针卡各项验收检查项目预先设定的规格值，对所述数据库中的各项数据检查结果进行逐一的符合性判断，并输出判断结果； 处理模块，根据所述判断结果，发出是否放行的指令。2.根据权利要求1所述的自动放行WATPM探针卡的系统，其特征在于，所述处理模块包括邮件发送单元，并通过该邮件发送单元以内部邮件的方式发出是否放行的指令。3.根据权利要求1或2所述的自动放行WATPM探针卡的系统，其特征在于，还包括重置模块，在所述处理模块发出放行的指令前，将所述探针卡的扎针次数记录重置。4.根据权利要求3所述的自动放行WATPM探针卡的系统，其特征在于，还包括切换模块，在所述重置模块将所述探针卡的扎针次数记录重置后、所述处理模块发出放行的指令前，将所述探针卡的机台状态进行切换。5.一种自动放行WAT PM探针卡的方法，其特征在于，包括: 利用一存储模块，将获取的针对WAT PM探针卡各项验收检查项目的数据检查结果实时存入数据库； 利用一判断模块，根据针对PM探针卡各项验收检查项目预先设定的规格值，对所述数据库中的各项数据检查结果进行逐一的符合性判断，并输出判断结果； 利用一处理模块，根据所述判断结果，发出是否放行的指令。6.根据权利要求5所述的自动放行WATPM探针卡的方法，其特征在于，通过所述处理模块的邮件发送单元，以内部邮件的方式发出是否放行的指令。7.根据权利要求5或6所述的自动放行WATPM探针卡的方法，其特征在于，利用一重置模块，在所述处理模块发出放行的指令前，将所述探针卡的扎针次数记录重置。8.根据权利要求7所述的自动放行WATPM探针卡的方法，其特征在于，利用一切换模块，在所述重置模块将所述探针卡的扎针次数记录重置后、所述处理模块发出放行的指令前，将所述探针卡的机台状态进行切换。9.根据权利要求6所述的自动放行WATPM探针卡的方法，其特征在于，在全部的检查数据结果符合规格值时，通过所述处理模块的邮件发送单元以内部邮件的方式发出放行的指令。10.根据权利要求6所述的自动放行WATPM探针卡的方法，其特征在于，针对每一个不符合规格值的检查数据结果，通过所述处理模块的邮件发送单元以内部邮件的方式逐一发出不予放行的指令。
【专利摘要】本发明公开了一种自动放行WAT？PM探针卡的系统及方法，通过建立自动放行WAT？PM探针卡的系统，可实时地抓取PM探针卡的数据检查结果存入数据库，并可根据系统内各个验收检查项目的设定值判断是否放行，待各项检查均符合规格值后，系统可自动对该PM探针卡的状态进行切换，并可通过内部邮件发出放行的指令；可有效地提高工作效率，减少PM探针卡放行的时间，同时也减少了工程师的工作量和工作时间，从长远来讲提高了探针卡可使用时间的比率。
【IPC分类】H01L21/66
【公开号】CN105097597
【申请号】CN201510460280
【发明人】赵朝珍, 周波
【申请人】上海华力微电子有限公司
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2015年7月30日