专利名称：防止半自动探针台探针烧针的装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种半自动探针台探针的防护装置，尤其涉及一种防止半自动探针台 探针烧针的装置。
背景技术：
在晶圆级别可靠性测试中，需要测量介质的击穿电压，在介质被击穿的一瞬间，通 过探针的电流急剧变大，产生大量焦耳热，导致探针因温度过高而烧针。
如图1中所示，介质3未被击穿时，其结构类似于电容，其电阻无穷大。此时源能 量单元I通过探针2的电流很小，小于微安级别(10~-6安培)。如图2中所示，在击穿瞬间， 击穿后的介质4的电阻变小，在10欧姆左右。假设源能量单元I施加的电压为10V，则击穿 的瞬间通过探针2的电流为IA。
击穿瞬间的电流相对于击穿前的电流变化了 100万倍。而焦耳热等于电压、电流、 时间的乘积，产生的焦耳热相对于击穿前增加了 100万倍，从而导致探针2因瞬间产生的过 高温度而烧针现象，导致探针2的损坏。
因此，本领域的技术人员致力于开发一种能防止半自动探针台探针烧针的装置。发明内容
鉴于上述的现有技术中的问题，本发明所要解决的技术问题是现有的技术中探针 的烧针现象。
本发明提供的一种防止半自动探针台探针烧针的装置，包括源测量单元和探针， 所述源测量单元和探针相互之间形成回路，还包括设于所述源测量单元和探针之间的电阻 元件，所述电阻元件串联于所述源测量单元和探针的回路中。
在本发明的一个较佳实施方式中，还包括测试机座，所述测试机座的两端分别与 所述源测量单元和探针相连，所述电阻元件设于所述测试机座中，所述电阻元件的两端分 别与所述测试机座的两端相连。
在本发明的另一较佳实施方式中，还包括与所述探针相连的介质，所述探针用于 测试所述介质的击穿电压。
在本发明的另一较佳实施方式中，所述源测量单元在测试时提供的电压为O.1-200V。
在本发明的另一较佳实施方式中，所述电阻元件的电阻为O. 1-10K欧姆。
在本发明的另一较佳实施方式中，所述电阻元件的电阻为IK欧姆。
本发明的防止半自动探针台探针烧针的装置，结构简单、制作方便、使用和安装均 较为简便。可以在测试介质的击穿电压时，防止探针因瞬间产生的过高温度而发生烧针现 象，保障了探针的安全使用。
图1是现有技术的测试介质击穿电压时的结构示意图；图2是现有技术的测试介质被击穿时的结构示意图；图3是本发明的实施例的介质未被击穿时的结构示意图；图4是本发明的实施例的介质被击穿时的结构示意图。
具体实施方式
以下将结合附图对本发明做具体阐释。
如图3中所示的本发明的实施例的一种防止半自动探针台探针烧针的装置，包括 源测量单元I和探针2。源测量单元I和探针2相互之间形成回路。此外，还包括设于源 测量单元I和探针2之间的电阻元件5。电阻元件5串联于源测量单元I和探针2的回路 中。
本发明在源测量单元I和探针2的回路中串联电阻元件5，在介质被击穿时，由于 电阻元件5的存在，可以有效的降低整个回路中的电流，从而起到防止流经探针的瞬间产 生的过高电流产生的过高温度。
在本发明的实施例中，还包括测试机座，测试机座的两端分别与源测量单元和探 针相连，电阻元件设于测试机座中，电阻元件的两端分别与测试机座的两端相连。
此外,如图3中所示,在本发明的实施例中,还包括与探针2相连的介质3,探针2 用于测试介质3的击穿电压。优选此时源测量单元I在测试时提供的电压为O. 1-200V，并 优先为IOV ;优选电阻元件5的电阻为O. 1-10K欧姆，并优选为IK欧姆。
此时，在加入电阻元件5 (Ik欧姆)后，如图3中所示，介质3未被击穿时，由于介 质3的电阻为无穷大，加上一个Ik欧姆的电阻元件5对整个电路几乎没有影响，所以此时 通过探针2的电流仍然很小，在微安级别。如图4中所示，在击穿瞬间，整个电路的电阻等 于电阻元件5加击穿后的介质4的电阻，约为Ik欧姆，则通过探针2的电流约为10毫安 (10~-2)，相比未加电阻元件5时，击穿瞬间电流的变化被降低了一百倍，产生的焦耳热也 降低了一百倍，起到了保护探针的作用。
以上对本发明的具体实施例进行了详细描述，但其只是作为范例，本发明并不限 制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对本发明进行的等同修改和 替代也都在本发明的范畴之中。因此，在不脱离本发明的精神和范围下所作的均等变换和 修改，都应涵盖在本发明的范围内。
权利要求
1.一种防止半自动探针台探针烧针的装置，包括源测量单元和探针，所述源测量单元和探针相互之间形成回路，其特征在于，还包括设于所述源测量单元和探针之间的电阻元件，所述电阻元件串联于所述源测量单元和探针的回路中。
2.如权利要求1所述的防止半自动探针台探针烧针的装置，其特征在于，还包括测试机座，所述测试机座的两端分别与所述源测量单元和探针相连，所述电阻元件设于所述测试机座中，所述电阻元件的两端分别与所述测试机座的两端相连。
3.如权利要求2所述的防止半自动探针台探针烧针的装置，其特征在于，还包括与所述探针相连的介质，所述探针用于测试所述介质的击穿电压。
4.如权利要求3所述的防止半自动探针台探针烧针的装置，其特征在于，所述源测量单元在测试时提供的电压为O. 1-200V。
5.如权利要求4所述的防止半自动探针台探针烧针的装置，其特征在于，所述电阻元件的电阻为O. 1-10K欧姆。
6.如权利要求5所述的防止半自动探针台探针烧针的装置，其特征在于，所述电阻元件的电阻为IK欧姆。
全文摘要
本发明提供的一种防止半自动探针台探针烧针的装置，包括源测量单元和探针，所述源测量单元和探针相互之间形成回路，还包括设于所述源测量单元和探针之间的电阻元件，所述电阻元件串联于所述源测量单元和探针的回路中。本发明的防止半自动探针台探针烧针的装置，结构简单、制作方便、使用和安装均较为简便。可以在测试介质的击穿电压时，防止探针因瞬间产生的过高温度而发生烧针现象，保障了探针的安全使用。
文档编号G01R1/067GK103018500SQ20121049762
公开日2013年4月3日 申请日期2012年11月29日 优先权日2012年11月29日
发明者李瀚超, 尹彬锋, 赵敏 申请人:上海华力微电子有限公司