专利名称：一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法
技术领域：
本发明涉及半导体集成电路及其制造领域，尤其涉及一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法。
背景技术：
传统的Cascade探针台由于没有限制显微镜下降高度的有效措施，不能防止误操作时显微镜撞到针座，若显微镜下降过度，就会发生显微镜的物镜撞到针座的横梁，从而造成横梁部分变形或被压断。 图I是本发明背景技术中传统Cascade探针台的结构示意图；如图I所示，在Cascade探针台使用中为了能够清楚的看到探针13及样品，必须通过调整显微镜镜筒14的高度完成对焦，若使用者操作不当或其他状况会造成显微镜镜筒14下降高度太多撞到针座横梁12，造成针座横梁12部分变形或被压断。
发明内容
本发明公开了一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，其中，在Cascade探针台靠近探针的横梁上设置传感器，以在显微镜镜筒过度靠近时发出警告。上述的预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，其中，一警告装置与所述传感器通讯连接。上述的预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，其中，所述警告装置通过发出声音或信号灯进行警告。上述的预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，其中，所述传感器为距离传感器。综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明提出一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，横梁上设置距离传感器，当显微镜镜筒过度靠近时通过警告装置发送警告信号，以提醒显微镜操作者停止显微镜靠近探针的动作，以避免因显微镜下降过度，造成显微镜的物镜撞到针座的横梁，从而造成横梁部分变形或被压断。
图I是本发明背景技术中传统Cascade探针台的结构示意 图2是本发明一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法的结构示意图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明的具体实施方式
作进一步的说明
图2是本发明一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法的结构示意图。如图2所示，探针23通过横梁22设置在底座21上，本发明一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，在横梁22靠近探针23的位置设置传感器25，并设置一警告装置(图中未表示)与传感器25通讯连接，当显微镜镜筒24过度靠近探针23时，在显微镜镜筒24未接触横梁22前，传感器25会发送信号直警告装置，该警告装置通过发出声音或信号灯等方式对显微镜的操作者进行警告，以提示其停止显微镜镜筒24靠近横梁22的动作，从而能很好的避免由于显微镜操作者误操作或其他原因造成显微镜镜筒24挤压横梁23造成其部分变形甚至折断的发生；其中，传感器25为距离传感器。上述传感器25发出警告信息的距离可以根据实际工艺需求自行调整。综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明提出一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，横梁上设置距离传感器，当显微镜镜筒过度靠近时通过警告装置发送警告 信号，以提醒显微镜操作者停止显微镜靠近探针的动作，以避免因显微镜下降过度，造成显微镜的物镜撞到针座的横梁，从而造成横梁部分变形或被压断。通过说明和附图，给出了具体实施方式
的特定结构的典型实施例，基于本发明精神，还可作其他的转换。尽管上述发明提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。
权利要求
1.一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法,其特征在于，在Cascade探针台靠近探针的横梁上设置传感器，以在显微镜镜筒过度靠近时发出警告。
2.根据权利要求I所述的预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，其特征在干，一警告装置与所述传感器通讯连接。
3.根据权利要求I或2所述的预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，其特征在于，所述警告装置通过发出声音或信号灯进行警告。
4.根据权利要求3所述的预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，其特征在于，所述传感器为距离传感器。
全文摘要
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法。本发明提出一种预防Cascade探针台显微镜撞针的方法，横梁上设置距离传感器，当显微镜镜筒过度靠近时通过警告装置发送警告信号，以提醒显微镜操作者停止显微镜靠近探针的动作，以避免因显微镜下降过度，造成显微镜的物镜撞到针座的横梁，从而造成横梁部分变形或被压断。
文档编号G08B21/00GK102637340SQ20121006651
公开日2012年8月15日 申请日期2012年3月14日 优先权日2012年3月14日
发明者尹彬锋, 李瀚超, 赵敏 申请人:上海华力微电子有限公司