质谱分析装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及在大气压气氛下或者接近大气压的气体压力气氛下通过基质辅助激光解吸离子化法(MALD1:Matrix Assisted Laser Desorpt1n 1nizat1n)、激光解吸离子化法(LDI)等，将试样离子化，将所产生的离子输送到高真空气氛中而进行质谱分析的质谱分析装置。
【背景技术】
[0002]在医学(新生物标志物的探索、疾病的机理阐明)、药学(对药物动态/安全性实验的应用)、工程学(对材料开发/劣化解析的应用(有机EL、液晶、太阳能电池))、农学(异物检测(食品安全检查)、品种改良)等领域中，将试样离子化，对所产生的离子进行质谱分析。在分析药物、肽等试样的情况下，使用了例如具备大气压MALDI离子源、四极离子阱和飞行时间型质量分离器(TOFMS)的MALDI质谱分析装置(例如参照专利文献I)。在这样的大气压MALDI质谱分析装置中，通过四极离子阱捕捉由大气压MALDI离子源产生了的离子，根据需要，按多阶段使其裂开，由TOFMS进行质谱分析。
[0003]图6是大气压MALDI质谱分析装置的整体构成图。此外，将与地面水平的一个方向设为X方向，将与地面水平并且与X方向垂直的方向设为Y方向，将与X方向和Y方向垂直的方向设为Z方向。
大气压MALDI质谱分析装置201包括用于在大气压气氛(例如15Pa)下将试样S离子化的离子化室210、以及在高真空气氛(例如10 3Pa?10 4Pa)中检测从离子化室210导入了的离子的质谱分析部20。
[0004]在质谱分析部20中，设置了与离子化室210邻接的第I中间真空室21、与第I中间真空室21邻接的第2中间真空室22、以及与第2中间真空室22邻接的分析室23。然后，在离子化室210的框体内部，形成大气压气氛(例如15Pa),在第I中间真空室21的内部，通过回转栗25，进行真空排气成低真空状态(例如12Pa),在第2中间真空室22的内部，通过涡轮分子栗25，进行真空排气成中真空状态(例如，10 1Pa?10 2Pa)，在分析室23的内部，通过涡轮分子栗25，进行真空排气成高真空状态(例如，10 3Pa?10 4Pa)。S卩，大气压MALDI质谱分析装置201形成从离子化室210向分析室23而阶段性地提高真空度的多级差动排气系统的构成。
[0005]离子化室210具备长方体形状(例如宽度60cm X纵深60cm X高度80cm)的腔室11 (框体)、试样台50、光学显微镜30以及激光光源41。由此，在腔室11的内部形成空间。
在腔室11的内部的下表面，设置试样台50。试样台50具备用于载置试样S的块状的试样台、以及在X方向、Y方向与Z方向上驱动试样台的驱动机构。
[0006]在腔室11的内部的左部，配置有光学显微镜30。光学显微镜30具备在腔室11的内部的上部设置了的反射照明用光源部31和图像取得装置33、以及在腔室11的内部的下部配置了的透射照明用光源部32。
根据这样的光学显微镜30，从反射照明用光源部31射出了的光从-Z方向照射到通过试样台50，被配置于规定的观察位置P1的试样S的设定区域。然后，在试样S的设定区域向Z方向反射了的光被引导到图像取得装置33。另外，从透射照明用光源部32射出了的光通过试样台50，从Z方向照射到被配置于规定的观察位置P1的试样S的设定区域。然后，在试样S的设定区域向Z方向透射了的光被引导到图像取得装置33。其结果，图像取得装置33根据所检测到的光，将试样S的设定区域的放大图像显示于监视器等中。由此，操作者在观察试样S的设定区域的放大图像的同时，进行试样S上的分析位置(特定位置)的确定等。然后，根据进行分析位置(特定位置)的确定等而得到的信息，计算机等通过试样台50将试样S从观察位置P1移动到离子化位置P 2。此外，反射照明用光源部31与透射照明用光源部32根据基板、试样S的透射性等而分别使用。
[0007]另外，在腔室11的内部的右上部，设置射出脉冲状的激光L的激光光源41，并执行基质辅助激光解吸离子化法。
然后，在腔室11的右侧侧壁，固定有内置了温度调节机构的加热器组件，在加热器组件中，形成了圆管形状的导入管12，腔室11的内部与第I中间真空室21的内部经由导入管12而连通。此外，导入管12为L字形状，被配置成导入口朝向下方(一 Z方向)，出口在第I中间真空室21的内部朝向右方(X方向)。
[0008]在这样的离子化室210中，从激光光源41射出了的激光L从上方照射到通过试样台50被配置于规定的离子化位置P2的试样S的分析位置。如果激光L照射到试样S的分析位置，则试样S的分析位置的目标物质被急速地加热、气化而离子化。此时，在腔室11的内部存在的空气由于腔室11的内部与第I中间真空室21的内部的压差，通过导入管12而流入到第I中间真空室21的内部，随着该空气流，在腔室11的内部生成了的离子也被引入到导入管12，并被排出到第I中间真空室21的内部。
[0009]在第I中间真空室21的内部，设置了第I离子透镜。由第I离子透镜产生的电场有助于经由导入管12引入离子，并且使离子聚束。
在第2中间真空室22的内部，设置了由I个圆环状的环电极、以及以夹着该环电极的方式相对配置了的一对端盖电极构成的三维四极型的离子阱。然后，被导入到第2中间真空室22的内部的离子通过三维四极型的离子阱，被输送到分析室23的内部。
[0010]在分析室23的内部，设置了飞行管与离子检测器24。然后，具有规定的质量(严格地说是质荷比m/z)的离子在规定的时间内穿过飞行管的空间。穿过了飞行管的离子到达离子检测器24，在离子检测器24中，输出与到达了的离子量相应的离子强度信号来作为检测信号。
现有技术文献专利文献
[0011]专利文献1:日本特开2009 - 054441号公报
【发明内容】
发明要解决的技术问题
[0012]然而，在上述那样的大气压MALDI质谱分析装置201中，存在在腔室11的内部生成了的离子随着空气流被引入到导入管12，但一部分的离子及在离子化时产生的微粒子不被引入到导入管12而扩散到腔室11内从而污染腔室11的内部整体这样的问题点。特别是在试样S使用了从人、动物等提取到的组织切片等生物体样本的情况下，根据生物学的安全性的观点，在使离子、微粒子(气溶胶)扩散方面存在问题。
因此，本发明的目的在于，提供一种防止未被引入到导入管的离子、微粒子扩散到腔室的内部的质谱分析装置。
解决技术问题的技术手段
[0013]为了解决上述课题而完成的本发明的质谱分析装置具备:离子化室，其用于通过激光的照射来将试样上的分析位置离子化；以及分析室，其具有检测离子的质量分析器，所述质谱分析装置上形成有用于将离子从所述离子化室的框体内部引导到所述分析室的内部的导入管或者导入孔，其中，所述质谱分析装置具备:排气管，其形成于所述离子化室的框体内部；以及风扇，其将空气引入到所述排气管中，所述质谱分析装置通过驱动所述风扇，将包括未被导入到所述导入管或者导入孔的离子以及/或者由所述试样产生的微粒子的空气吸引到所述排气管中。
[0014]此处，“微粒子”是指通过激光的照射而从试样中放出的目标物质的分子、目标物质以外的分子、混杂有目标物质的分子与目标物质以外的分子的物质等的集合体。
另外，“导入管或者导入孔”用于将离子从离子化室的框体内部引导到分析室的内部，在离子化室与分析室之间配设了用于阶段性地提高真空度的中间真空室的情况下，成为将离子化室的框体内部与中间真空室的内部连通的导入管或者导入孔。
发明效果
[0015]如上所述，根据本发明的质谱分析装置，未被引入到导入管、导入孔的离子、微粒子(气溶胶)被吸引到排气管，所以能够防止向离子化室的框体内部的扩散，能够限定污