厚度为0.1?1.6微米、材料为AlyGa1 yAs，其中x>y，x具体可为0.7?l，y具体可为0.6?0.7。第一牺牲层31和第二牺牲层32的总厚度为0.5?8微米，且第一牺牲层31和第二牺牲层32的厚度比为3?5:1。
[0066]上述在第一牺牲层31上制作的条形凹槽311的宽度为0.5?2毫米，当孔312为圆孔时其内径也为0.5?2毫米。相邻两个条形凹槽311之间距离为5?20毫米，孔312所在的相邻两条平行直线之间的距离为5?20毫米。条形凹槽311的纵截面为上方开口的方形或梯形或弧形或U形或其他不规则形状，孔312为圆柱形、长方体形、圆锥形、棱锥形、圆台形或棱台形，也可以是其他不规则形状。
[0067]另外，衬底I上具有两个切边11，上述设于第一牺牲层31上的条形凹槽311优选垂直于该两个切边11，上述设于第一牺牲层31上的孔312所在直线也优选垂直于该两个切边11。
[0068]具体地，如图6所示，太阳能电池层4依次包括第一欧姆接触层41、第一窗口层42、发射区43、基区44、背场45、第二窗口层46和第二欧姆接触层47。第一欧姆接触层41的材料为GaAs、厚度为50-300纳米，第一窗口层42的材料为GalnP、厚度为10-100纳米，发射区43的材料为GaAs、基区44的材料为GaAs、背场45的材料为GaInP，发射区43、基区44和背场45的总厚度为2-5微米，第二窗口层46的材料为GalnP、厚度为10-100纳米，第二欧姆接触层47的材料为GaAs、厚度为50-300纳米。太阳能电池层4与牺牲层3之间还包括第二缓冲层5，缓冲层2与第二缓冲层5的材料均为GaAs且厚度均为100-900纳米。该太阳能电池外延片的第二欧姆接触层47的上表面还设置有电极6，该电极6是由30?150纳米的钛和50?500纳米的金构成的金属复合膜。
[0069]显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。
【主权项】
1.一种太阳能电池外延片，包括依次设置的衬底⑴、缓冲层⑵、牺牲层⑶和太阳能电池层(4)，其特征在于，所述牺牲层(3)至少包括第一牺牲层(31)和第二牺牲层(32)，所述第一牺牲层(31)紧贴所述缓冲层(2)设置，所述第二牺牲层(32)紧贴所述第一牺牲层(31)设置，所述第一牺牲层(31)的被腐蚀速度大于所述第二牺牲层(32)的被腐蚀速度；在所述第一牺牲层(31)上分布有多个相互平行的条形凹槽(311)，所述第二牺牲层(32)上具有多个与所述条形凹槽(311)紧密配合的条形凸起(321);和/或， 在所述第一牺牲层(31)上分布有多个孔(312)，所述孔(312)位于相互平行的多条直线上，位于同一直线上的相邻两个所述孔(312)之间的距离小于0.5毫米，所述第二牺牲层(32)上具有多个与所述孔(312)紧密配合的凸起(322)。2.如权利要求1所述的太阳能电池外延片，其特征在于，所述第一牺牲层(31)的材料为AlxGa1 xAs，所述第二牺牲层(32)的材料为AlyGa1 yAs，且x>y。3.如权利要求2所述的太阳能电池外延片，其特征在于，所述第一牺牲层(31)的AlxGa1 M材料中X为0.7?1，所述第二牺牲层(32)的AlyGa1 yAs材料中y为0.6?0.7。4.如权利要求1-3中任一项所述的太阳能电池外延片，其特征在于: 所述衬底(I)的对侧具有两个相互平行的切边(11); 所述条形凹槽(311)垂直于所述衬底(I)的两个切边(11); 所述孔(312)所在的直线垂直于所述衬底(I)的两个切边(11)。5.如权利要求1-4中任一项所述的太阳能电池外延片，其特征在于，所述条形凹槽(311)的宽度为0.5?2毫米，所述孔(312)为圆孔，其内径为0.5?2毫米，相邻两个所述条形凹槽(311)之间距离为5?20毫米，所述孔(312)所在的相邻两条平行直线之间的距离为5?20毫米。6.如权利要求1-5中任一项所述的太阳能电池外延片，其特征在于，所述第一牺牲层(31)和所述第二牺牲层(32)的总厚度为0.5?8微米，且所述第一牺牲层(31)和所述第二牺牲层(32)的厚度比为3?5:1。7.如权利要求1-6中任一项所述的太阳能电池外延片，其特征在于，所述条形凹槽(311)纵截面为上方开口的方形或梯形或弧形或U形，所述孔(312)为圆柱形、长方体形、圆锥形、棱锥形、圆台形或棱台形。8.—种太阳能电池外延片的制作方法，其特征在于，包括以下步骤: 在所述衬底(I)上外延生长所述缓冲层(2); 在所述缓冲层(2)上外延生长所述第一牺牲层(31); 在所述第一牺牲层(31)上制作出多个相互平行的所述条形凹槽(311)和/或位于相互平行的多条直线上的多个所述孔(312)，位于同一条直线上的相邻两个所述孔(312)之间的距离小于0.5毫米； 在所述第一牺牲层(31)上外延生长所述第二牺牲层(32)，所述第二牺牲层(32)紧贴所述第一牺牲层(31)，且所述第二牺牲层(32)上形成与所述条形凹槽(311)紧密配合的所述条形凸起(321)和/或与所述孔(312)紧密配合的凸起(322)，所述第一牺牲层(31)被腐蚀速度大于所述第二牺牲层(32)的被腐蚀速度； 在所述第二牺牲层(32)上外延生长所述太阳能电池层(4)制作出太阳能电池外延片。9.如权利要求8所述的太阳能电池外延片的制作方法，其特征在于，在所述第一牺牲层(31)上制作出多个相互平行的所述条形凹槽(311)和/或位于相互平行的多条直线上的多个所述孔(312)利用的是干法刻蚀工艺、或利用的是光刻和湿法腐蚀工艺，外延生长所述缓冲层(2)、所述第一牺牲层(31)、所述第二牺牲层(32)和所述太阳能电池层(4)采用的是金属有机化合物化学气相外延技术。10.如权利要求8所述的太阳能电池外延片的制作方法，其特征在于，所述第一牺牲层(31)的厚度为0.4?6.4微米，所述第二牺牲层(32)的厚度为0.1?1.6微米，所述第一牺牲层(31)和所述第二牺牲层(32)的总厚度为0.5?8微米，且所述第一牺牲层(31)和所述第二牺牲层(32)的厚度比为3?5:1。
【专利摘要】一种太阳能电池外延片及其制作方法，该太阳能电池外延片包括：依次设置的衬底、缓冲层、牺牲层和太阳能电池层，其中，牺牲层包括第一牺牲层和第二牺牲层，第一牺牲层紧贴缓冲层设置，第二牺牲层紧贴第一牺牲层设置，第一牺牲层的被腐蚀速度大于第二牺牲层的被腐蚀速度，在第一牺牲层上分布有多个相互平行的条形凹槽，第二牺牲层上具有多个与条形凹槽紧密配合的条形凸起。解决了腐蚀液以不可预测的方向和不同的速度腐蚀牺牲层的技术问题。可以减少剥离工艺的时间，还可以减少剥离过程中衬底和太阳能电池层的损坏，从而提高太阳能电池产品的品质和产线的良品率。
【IPC分类】H01L31/18, H01L31/0304
【公开号】CN105140318
【申请号】CN201510375149
【发明人】黄添懋, 杨晓杰, 刘凤全, 叶继春
【申请人】苏州强明光电有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年6月30日