br>[0020]所述的步骤b)包括:
bl)将步骤a3)得到的钨饼在氢气气氛中进行高温烧结，1800~2000°C保持30~90分钟，控制烧结后钨饼的孔隙度20%~26%之间，优选22 %?24%。
[0021]所述的步骤c)包括:
Cl)将步骤bl)得到的钨饼在氢气气氛中进行阴极盐浸渍，1650~1850°C保持1~5分钟。
[0022]所述的步骤d)包括:
dl)制备阴极筒，阴极筒的底厚h设计为0.8~5mm,优选l~2mm ;d2)对步骤Cl)得到的钨饼进行机械加工，使其直径与阴极筒的小孔直径相配合，并保持钨饼的高度比阴极筒底厚h小0.l~lmm，优选0.2-0.5mm ;
所述的步骤e)包括:
el)将步骤d2)得到的钨饼2按实际所需的电子注的数量，与阴极筒I进行配合安装和钎焊；为利于钎焊及后续加工，需准备一些尺寸比阴极筒直径大的陶瓷片，将阴极筒I放在陶瓷片上，开口端朝上，之后将钨饼2安装进入阴极筒的一个个小孔d中，此时钨饼2的上端面距离阴极筒底的上端面约0.2-0.5mm，将粉末状的钨钴焊料3填充在这个位置。
[0023]所述的步骤f)包括:
fl)将步骤el)得到的钨饼2与阴极筒I在氢气气氛中进行钎焊，1400~1600°C保持10-60 秒。
[0024]所述的步骤g)包括:
gl)将Π)步骤得到的钨饼2与阴极筒I根据设计尺寸进行机械加工。
[0025]所述的步骤h)包括:
hi)使用氮气做为介质，对步骤gl)得到的钨饼2与阴极筒I的阴极表面进行离子刻蚀清洗，使阴极发射表面露出新鲜的开孔，并在其表面上覆膜。
[0026]以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解，本设计不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本设计的原理，在不脱离本设计精神和范围的前提下，本设计还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本设计范围内。本设计要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【主权项】
1.一种用于超大功率微波管的多注阴极及其制备方法，其特征在于:包括以下步骤: a)制备钨饼； b)烧结钨饼； c)阴极盐浸渍； d)妈饼浸溃后的机械加工； e)将步骤d)得到的钨饼与特制的阴极筒装配及焊料填充； f)在氢气气氛中同时将步骤e)得到的钨饼与阴极筒进行钎焊； g)钎焊后的机械加工； h)刻蚀清洗与覆膜。2.如权利要求1所述的一种用于超大功率微波管的多注阴极及其制备方法，其特征在于:所述的步骤a)包括: al)取任意形状的、颗粒度5~10 μm的钨粉和铼粉在氢气中净化退火，800?950°C保温 20 ?30min ； a2)将步骤al)得到的钨粉和铼粉按照10 %?50 %:90?50 %的比例混合均匀，优选比例50%:50%，制备出钨铼合金粉料； a3)根据实际应用尺寸，在压模上用钨铼合金粉料压制成适当尺寸的圆柱形的钨饼，孔隙度控制在30%~40%之间，优选32 %?35 %。3.如权利要求1所述的一种用于超大功率微波管的多注阴极及其制备方法，其特征在于:所述的步骤b)包括: bl)将步骤a3)得到的钨饼在氢气气氛中进行高温烧结，1800~2000°C保持30~90分钟，控制烧结后钨饼的孔隙度20%~26%之间，优选22 %?24%。4.如权利要求1所述的一种用于超大功率微波管的多注阴极及其制备方法，其特征在于:所述的步骤c)包括: Cl)将步骤bl)得到的钨饼在氢气气氛中进行阴极盐浸渍，1650~1850°C保持1~5分钟。5.如权利要求1所述的一种用于超大功率微波管的多注阴极及其制备方法，其特征在于:所述的步骤d)包括: dl)制备阴极筒，阴极筒的底厚设计为0.8~5mm,优选l~2mm ; d2)对步骤Cl)得到的钨饼进行机械加工，使其直径与阴极筒的小孔直径相配合，并保持钨饼的高度比阴极筒底厚小0.l~lmm，优选0.2-0.5mm。6.如权利要求1所述的一种用于超大功率微波管的多注阴极及其制备方法，其特征在于:所述的步骤e)包括: el)将步骤d2)得到的钨饼按实际所需的电子注的数量，与阴极筒进行配合安装和钎焊；为利于钎焊及后续加工，需准备一些尺寸比阴极筒直径大的陶瓷片，将阴极筒放在陶瓷片上，开口端朝上，之后将钨饼安装进入阴极筒的一个个小孔中，此时钨饼的上端面距离阴极筒底的上端面约0.2-0.5_，将粉末状的钨钴焊料填充在这个位置。7.如权利要求1所述的一种用于超大功率微波管的多注阴极及其制备方法，其特征在于:所述的步骤f)包括: Π)将步骤el)得到的钨饼与阴极筒在氢气气氛中进行钎焊，1400~1600°C保持10~60秒。8.如权利要求1所述的一种用于超大功率微波管的多注阴极及其制备方法，其特征在于:所述的步骤g)包括: gl)将Π)步骤得到的钨饼与阴极筒根据设计尺寸进行机械加工。9.如权利要求1所述的一种用于超大功率微波管的多注阴极及其制备方法，其特征在于:所述的步骤h)包括: hi)使用氮气做为介质，对步骤gl)得到的钨饼与阴极筒的阴极表面进行离子刻蚀清洗，使阴极发射表面露出新鲜的开孔，并在其表面上覆膜。
【专利摘要】一种用于超大功率微波管的多注阴极及其制备方法，包括以下步骤：制备钨饼；烧结钨饼；阴极盐浸渍；钨饼浸渍后的机械加工；钨饼与阴极筒装配及焊料填充；钎焊；钎焊后的机械加工；刻蚀清洗与覆膜。本方法采用多个钨饼与特制的阴极筒进行一次性钎焊，避免了传统多注阴极因采用压制的方法来制备阴极体，而对压力机的超大压力需求，并避免了大尺寸阴极用直接压制的方法而导致的孔隙结构不均匀的缺陷，该方法能满足超大功率的微波管使用需求，可制备直径达几十毫米甚至更大的阴极，电子注可达几十甚至上百个；可支取数十安培以上的阴极电流。其制备方法重复性、一致性、稳定性和可靠性高，为大功率微波器件的发展提供强有力的保障。
【IPC分类】H01J23/04, H01J9/02
【公开号】CN105185675
【申请号】CN201510448836
【发明人】邓清东, 宋田英, 贺兆昌, 张丽
【申请人】安徽华东光电技术研究所
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2015年7月28日