有机发光显示面板和制造其的方法
【专利说明】有机发光显示面板和制造其的方法
[0001]相关串请的交叉引用
[0002]本申请要求保护2014年7月22日提交的韩国专利申请N0.10-2014-0092682的优先权权益，其通过引用而并入于此，如在此全面阐述。
技术领域
[0003]本发明的实施方式涉及有机发光显示面板和制造其的方法，并且具体地，涉及包括低温多晶硅(LTPS)薄膜晶体管(TFT)的有机发光显示面板和制造其的方法。
【背景技术】
[0004]随着时间朝着信息化社会的发展，具有诸如薄度、亮度以及低消耗功率的期望特征的平板显示(FPD)装置在重要性方面日益增加。FH)装置的示例包括液晶显示(LCD)装置、等离子显示面板(rop)、有机发光显示装置等。近来，电泳显示(EPD)装置被广泛用作一类Fro装置。
[0005]在FPD装置中，包括薄膜晶体管(TFT)的有机发光显示装置使用自发光装置并且具有低功耗、快速响应时间、高发射效率、高亮度，以及宽视角。因此，有机发光显示装置作为下一代FPD装置受到更多关注。
[0006]特别地，LTPS TFT可以在低温下制造。与非晶硅(a_Si)TFT相比，LTPS TFT具有电子或空穴的高移动性，而且因为其可以实现包括N沟道和P沟道的互补金属氧化物半导体(CMOS)晶体管，所以可以将LTPS TFT应用至大型基板。
[0007]图1是用于描述现有技术LTPS TFT的有源层的截面图。
[0008]如图1所示，包括现有技术LTPS TFT的有机发光显示面板包括:形成在基板10上的缓冲部11、形成在该缓冲部11上的有源层13、形成在有源层13上的栅绝缘层14、形成在栅绝缘层14上的栅极(未示出)、形成在栅极(未示出)上的间层电介质部(未示出)、形成在间层电介质部(未示出)上的第一电极和第二电极(未示出)、以及连接至第一电极或第二电极的有机发光二极管(0LED，未示出)。
[0009]LTPS TFT的有源层13通过利用掩模的光刻工序形成在基板10上。在这种情况下，分别在形成在基板10上的有源层13的两面上形成倾斜平面13a和13b。
[0010]当驱动现有技术LTPS TFT时，从有源层13的倾斜平面13a和13b中的每一个产生强电场。随着强电场的生成，在倾斜平面13a和13b中的每一个中出现自由载流子，从而可以形成甚至在低电压下流动高电流的驼峰通道。
[0011]作为栅极与源极之间的差电压的栅极-源极电压(Vgs)通过驼峰通道沿负(_)方向移位。随着该栅极-源极电压(Vgs)沿负(_)方向移位，TFT的截止电流增加。
[0012]而且，有机发光显示面板的功耗增加，为此，加速了晶体管的劣化。
[0013]而且，劣化了有机发光显示面板的可靠性。
【发明内容】
[0014]因此，本发明致力于提供一种基本上消除了因现有技术的局限性和缺点而造成的一个或更多个问题的有机发光显示面板和制造其的方法。
[0015]本发明的一个方面是致力于提供一种用于缩减TFT的截止电流并且减少显示面板的功耗的有机发光显示面板。
[0016]根据本发明一方面，提供了一种显示面板，该显示面板包括:基板；有源层，其在所述基板上；以及钝化层，其在所述有源层上，其中，所述有源层包括:沟道部，沿第一方向在所述沟道部的相对侧上的第一电极连接部和第二电极连接部，以及沿交叉所述第一方向的第二方向在所述沟道部的相对侧上的第一锥形部和第二锥形部，并且其中，所述第一锥形部和所述第二锥形部中的每一个的载流子浓度不同于所述沟道部、所述第一电极连接部以及所述第二电极连接部的载流子浓度。
[0017]根据本发明另一方面，提供了一种制造显示面板的方法，该方法包括以下步骤:在基板上形成有源层；以及掺杂所述有源层，以形成沟道部、沿第一方向在所述沟道部的相对侧上的第一电极连接部和第二电极连接部、以及沿交叉所述第一方向的第二方向在所述沟道部的相对侧上的第一锥形部和第二锥形部，使得所述第一锥形部和所述第二锥形部中的每一个的载流子浓度不同于所述沟道部、所述第一电极连接部以及所述第二电极连接部的载流子浓度。
[0018]本发明的附加优点和特征在下面的描述中将部分地加以阐述，并且本领域普通技术人员通过下面的阅读将部分地变清楚，或者可以根据本发明的具体实践而获知。本发明的目的和其它优点可以通过在书面说明及其权利要求书以及附图中具体指出的结构认识到并获得。
[0019]要明白的是，本发明的前述一般描述和下面的详细描述都通过示例并且是解释性的，并且旨在提供对如要求保护的本发明的进一步阐释。
【附图说明】
[0020]附图被包括进来以提供对本发明的进一步理解，并且被并入并构成本申请的一部分，其例示了本发明的实施方式，并与本描述一起用于说明本发明的原理。在图中:
[0021]图1是用于描述现有技术LTPS TFT的有源层的截面图；
[0022]图2是示意性地例示将根据本发明的实施方式的有机发光显示面板所应用至的显示装置的构造的示例图；
[0023]图3是示意性地例示应用至根据本发明的实施方式的有机发光显示面板的LTPSTFT的结构的平面图；
[0024]图4A是例示沿图3的线a-a’截取的截面表面的截面图，例示了应用至根据本发明的实施方式的有机发光显示面板的LTPS TFT ;
[0025]图4B是例示沿图3的线b-b’截取的截面表面的截面图，例示了应用至根据本发明的实施方式的有机发光显示面板的LTPS TFT ;
[0026]图5A至5G是用于描述制造根据本发明的实施方式的有机发光显示面板的方法的示例图；以及
[0027]图6A至6G是用于描述制造应用至根据本发明的实施方式的有机发光显示面板的LTPS TFT的有源层的方法的示例图。
【具体实施方式】
[0028]下面，对本发明的实施例实施方式进行详细说明。其实施例在附图中进行了例示。在可能的情况下，贯穿附图使用相同附图标记来指相同或相似部件。
[0029]本说明书中描述的术语应当被理解如下。
[0030]如在此使用的，单数形式“一”以及“该/所述”同样旨在包括多数形式，除非上下文另外进行了明确指示。术语“第一”和“第二”被用于区分一个部件与另一部件，而且这些部件不应受限于这些术语。还应明白，当在此使用时，术语“包括”、“包含”、“具有”和/或“带有”指定存在规定特征、整数、步骤、操作、部件、和/或组件，而非排除存在或增加一个或更多个其它特征、整数、步骤、操作、部件、组件、和/或其组合。术语“至少一个”应被理解为包括多个关联列出项目中的一个或更多个的任一和全部组合。例如，“第一项、第二项、以及第三项中的至少一个”的含义指从第一项、第二项、以及第三项中的两个或更多个和第一项、第二项，以及第三项中提议的所有项目的组合。术语“在(处于)...之上”应被解释为包括一个部件形成在另一部件顶部上的实例，而且包括其间设置有第三部件的实例。
[0031]下面，参照附图，对根据本发明实施方式的有机发光显示面板和制造其的方法进行详细描述。
[0032]图2是示意性地例示将根据本发明的实施方式的有机发光显示面板所应用至的显示装置的构造的示例图。
[0033]如图2所示，根据本发明的实施方式的有机发光显示面板所应用至的显示装置包括:面板100，其中，将像素⑵110设置在多条选通线GL1至GLg和多条数据线DL1至DLd的每一个相交区域中；选通驱动器200，该选通驱动器20向设置在面板110中的选通线GL1至GLg提供扫描脉冲；数据驱动器300，该数据驱动器300分别向设置在面板110中的数据线DL1至DLd提供数据电压；以及定时控制器400，该定时控制器400控制选通驱动器200和数据驱动器300的操作。