晶圆传送盒的底座检查装置及方法
【技术领域】
[0001]本发明关于一种晶圆传送盒(Front Opening Unified Pod, FOUP)的底座检查装置及方法，尤其是指一种可检查晶圆传送盒底座的多个螺纹件的锁合状况进行检查的装置及方法。
【背景技术】
[0002]在半导体制程中，通常会将晶圆放入晶圆传送盒(F0UP)中，以进行搬运或保管。晶圆传送盒具有腔室与底座，其中腔室用来隔离晶圆与晶圆架周围的环境接触，以避免晶圆受到污染，并通过底座固设于晶圆载入机(Load Port Unit, LPU)的载台上。底座通常设有多个螺纹孔，使底座与腔室之间可利用多个螺纹件相互固定。
[0003]在现有技术中，要利用螺纹件将底座固定于腔室底部时，仍是采用人工作业。由于和这些螺纹孔相螺纹连接的螺纹件长度及种类不一定都相同，因此作业人员须利用不同的扳手，才能将不同种类的螺纹件锁入对应的螺纹孔内。若是作业人员误用扳手，有可能使螺纹件无法被锁紧。在晶圆传送盒被搬运过程，未被锁紧的螺纹件有可能松动，而造成搬运设备故障。
[0004]另外，作业人员只能以目视或是手动确认各螺纹件是否已确实被锁紧。然而，由于螺纹孔的数量不少，因此对于作业人员而言，要一一确认每一螺纹件是否已被锁紧的程序相当繁琐，也较为不便。
【发明内容】
[0005]为了降低螺纹件因没有锁紧而松动的机率，本发明提供一种晶圆传送盒底座检查装置及方法，可对晶圆传送盒底座进行检查。
[0006]本发明实施例提供一种晶圆传送盒底座检查装置，用以检查晶圆传送盒底座的多个螺纹件的紧固情形。晶圆传送盒底座检查装置包括影像获取单元、锁固组件及处理单元，其中处理单元与影像获取单元及锁固组件电连接。影像获取单元可移动地设置于底座下方，以获取至少一开孔的开孔影像。影像获取单元通过处理单元的控制以获取所述开孔的影像，并判断每一个所述开孔内是否有一螺纹件。锁固组件与影像获取单元相邻且可移动地设置于所述底座下方。当每一个开孔内有所述螺纹件时，锁固组件通过处理单元的控制，以检查每一个螺纹件是否锁紧。
[0007]本发明另一实施例提供一种晶圆传送盒底座的检查方法，其中晶圆传送盒的底座的多个底面位置分别设有多个开孔。晶圆传送盒底座检查方法包括提供上述的晶圆传送盒底座检查装置；将晶圆传送盒定位于晶圆传送盒底座检查装置上；对晶圆传送盒的底座获取至少一开孔的开孔影像，以判断每一个开孔内是否有一螺纹件；以及当每一个开孔内有螺纹件时，检查每一个所述螺纹件是否锁紧。
[0008]综上所述，本发明实施例提供的晶圆传送盒底座检查装置以及方法，可以对晶圆传送盒底座的多个螺纹件自动进行检查。晶圆传送盒底座检查装置中的影像获取单元，可逐一拍摄底座的多个开孔影像，以确认是否有缺螺纹件或是螺纹件松动等情况。当发现开孔有缺螺纹件或是螺纹件没有锁紧时，可直接利用锁固工具将螺纹件锁紧至合格标准。据此，可节省作业人员对晶圆传送盒底座的螺纹件检查的时间，并可减少人为检查失误的机率。
[0009]为了能更进一步了解本发明的技术，请参阅以下详细说明及附图。然而，所附附图与附件仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
【附图说明】
[0010]图1显示本发明一实施例的晶圆传送盒底座检查装置的立体分解示意图。
[0011 ]图2显晶圆传送盒底座的上视意图。
[0012]图3显示本发明实施例的锁固组件的放大图。
[0013]图4显示本发明实施例的晶圆传送盒底座检查装置的功能框图。
[0014]图5显示本发明实施例的影像获取单元对晶圆传送盒的底座进行检查的侧视示意图。
[0015]图6A显示本发明实施例的锁固组件对晶圆传送盒的底座的螺纹件进行检查的侧视意图。
[0016]图6B显示本发明实施例的锁固组件锁紧晶圆传送盒的底座的螺纹件的侧视示意图。
[0017]图7显示本发明实施例的晶圆传送盒检查方法的流程图。
[0018]符号说明:
[0019]1: 晶圆传送盒底座检查装置
[0020]2: 晶圆传送盒
[0021]20:底座
[0022]200:开孔
[0023]21: 螺纹件
[0024]10: 承载架
[0025]100:框形承载部
[0026]10a:承载面
[0027]101: 容纳空间
[0028]102:框口
[0029]103:遮板
[0030]11: 影像获取单元
[0031]12: 锁固组件
[0032]120:组装台座
[0033]121:锁固工具
[0034]121a:驱动马达
[0035]121b:工具杆
[0036]121c:扭力传感器
[0037]122:升降机构
[0038]13:处理单元
[0039]14:定位组件
[0040]140:第一夹具
[0041]141:第二夹具
[0042]A?K:底面位置
[0043]15:移动组件
[0044]150:X轴机械手臂
[0045]151:Y轴机械手臂
[0046]152:Z轴机械手臂
[0047]16:微尘收集盒
[0048]160:通孔
[0049]17:微尘导引元件
[0050]18:抽气元件
[0051]S100?S108:流程步骤
【具体实施方式】
[0052]下面结合附图与【具体实施方式】对本发明作进一步详细描述。在下文中，将通过【附图说明】本发明的实施例来详细描述本发明，而附图中的相同参考数字可用以表示类似的元件。有关本发明的前述的及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图的各实施例的详细说明中，将可清楚地呈现。
[0053]以下实施例中所提到的方向用语，例如上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等，仅是参考附加附图的方向。因此，使用的方向用语是用来说明，而并非用来限制本发明。并且，在下列各实施例中，采用相同的标号来表示相同或近似的元件。
[0054]请参照图1及图2。图1显示本发明一实施例的晶圆传送盒底座检查装置的立体分解不意图。图2显晶圆传送盒底座的上视意图。须先说明的是，本实施例的晶圆传送盒2包括用以放置多个晶圆的容置盒(未标号)与底座20。底座20的多个底面位置设有多个开孔200。开孔200例如包括螺纹孔或者是放置氮气阀的塞孔，其中螺纹孔可使底座20通过多个螺纹件21而固定于容置盒的底部。在本实施例中，是以螺纹孔为例来说明本发明的技术特征。本发明实施例的晶圆传送盒底座检查装置1可用于检查螺纹件21是否由螺纹孔中松动，或者用以检查塞孔内的氮气阀是否反置。
[0055]本发明实施例的晶圆传送盒底座检查装置1包括承载架10、影像获取