显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示装置和显示装置的制造方法。
【背景技术】
[0002]在有机EL(Electro Luminescence，电致发光)显示装置等显示装置中，有时控制包含有机发光二极管(Organic Light Emitting D1de，OLED)等自发光元件的像素来显示图像。以往，形成有机发光二极管的有机层中的空穴传输层(Hole Transport Layer，HTL)或者空穴注入层(Hole Inject1n Layer，HIL)对于多个像素设置成共用。
[0003]日本特开2012-155953号公报中记载了如下EL显示装置，具有包围正极电极的周围且与有机层电连接的金属布线，金属布线的电位比正极电极的电位低。
【发明内容】
[0004]因为空穴传输层或者空穴注入层对于多个像素设置成共用，所以即使意图使特定像素发光而使电流流动，也有时沿空穴传输层或者空穴注入层等而产生泄漏电流。有时泄漏电流到达相邻像素，招致相邻像素的非意图的发光。
[0005]于是，本发明的目的在于提供防止了像素的非意图的发光的显示装置。
[0006]本发明的显示装置的特征在于，具有:多个像素电极，其在绝缘表面上彼此分离地设置；多个第一层，其在所述多个像素电极上分别彼此分离地设置，包含多个第一载流子传输层或者多个第一载流子注入层；发光层，其设置于所述多个第一层上；以及第二层，其设置于所述发光层上，包含第二载流子传输层或者第二载流子注入层；以及对置电极，其设置于所述第二层上。
[0007]本发明的显示装置的特征在于，具有:多个像素电极，其在绝缘表面上彼此分离地设置；第一层，其遍及所述多个像素电极上地连续设置，包含第一载流子传输层或者第一载流子注入层；发光层，其设置于所述第一层上；第二层，其设置于所述发光层上，包含第二载流子传输层或者第二载流子注入层；以及对置电极，其设置于所述第二层上，所述第一层具有俯视观察时设置于所述多个像素电极的相邻的2个像素电极之间的中间部分，所述中间部分的载流子迀移率比所述第一层中设置于所述像素电极上的部分的载流子迀移率低。
[0008]本发明的显示装置的制造方法中，在绝缘表面上形成像素电极层，在所述像素电极层上形成作为第一载流子传输层或者第一载流子注入层中的至少一方的公共层，使所述像素电极层和所述公共层形成图案，形成彼此分离地设置的多个像素电极和在所述多个像素电极上分别彼此分离地设置、作为多个所述第一载流子传输层或者多个所述第一载流子注入层中的至少一方的多个第一层，在所述第一层上形成发光层，在所述发光层上形成作为第二载流子传输层或者第二载流子注入层中的至少一方的第二层，在所述第二层上形成对置电极层。
[0009]本发明的显示装置的制造方法在绝缘表面上形成像素电极层，使所述像素电极层形成图案，形成彼此分离地设置的多个像素电极，遍及所述多个像素电极上地形成作为第一载流子传输层或者第一载流子注入层中的至少一方的第一层，对覆盖所述第一层中的所述多个像素电极的部分或者覆盖所述第一层中的所述绝缘表面的部分照射粒子线或者光线，在所述第一层上形成发光层，在所述发光层上形成作为第二载流子传输层或者第二载流子注入层中的至少一方的第二层，在所述第二层上形成对置电极层。
【附图说明】
[0010]图1是本发明的实施方式的有机EL显示装置的立体图。
[0011]图2是本发明的实施方式的有机EL显示装置的布线图。
[0012]图3是第一实施方式的有机EL面板的像素的剖视图。
[0013]图4是第一变形例的有机EL面板的像素的剖视图。
[0014]图5是第二变形例的有机EL面板的像素的剖视图。
[0015]图6是第三变形例的有机EL面板的像素的剖视图。
[0016]图7是第二实施方式的有机EL面板的像素的剖视图。
[0017]图8是第三实施方式的有机EL面板的像素的剖视图。
[0018]图9是第四实施方式的有机EL面板的像素的剖视图。
[0019]图10是本实施方式的有机EL面板制作工序的流程图。
[0020]图11是示出下部构造形成工序的第一例的像素电极层和公共层的图。
[0021]图12是示出下部构造形成工序的第一例的像素电极和空穴传输层的图。
[0022]图13是示出下部构造形成工序的第二例的像素电极和公共层的图。
[0023]图14是示出下部构造形成工序的第二例的像素电极和空穴传输层的图。
[0024]图15是示出下部构造形成工序的第三例的粒子线的照射的图。
[0025]图16是示出下部构造形成工序的第四例的粒子线的照射的图。
【具体实施方式】
[0026]以下，对本发明的各实施方式，参照附图进行说明。此外，公开内容只不过是一例，对于本领域技术人员而言关于保持发明的主旨的适当变更而容易想到的技术当然也包含于本发明的范围。另外，附图为了使说明更加明确，有时与实际的情况相比，对于各部分的宽度、厚度、形状等示意性示出，只不过是一例，不限定本发明的解释。
[0027]另外，在本说明书与各图中，对于已经出现的图中与前述的内容同样的要素，有时附上相同的符号，并适当省略详细的说明。
[0028]图1是示出本发明的实施方式的有机EL显示装置1的立体图。有机EL显示装置1由以由上框2和下框3夹住的方式固定的有机EL面板10构成。
[0029]图2是本发明的实施方式的有机EL显示装置1的布线图。有机EL面板10，通过由影像信号驱动电路12和扫描信号驱动电路13控制呈矩阵状设置在显示区域11的各像素，而显示图像。此处，影像信号驱动电路12是生成并发送向各像素输送的影像信号的IC(Integrated Circuit:集成电路)。另外，扫描信号驱动电路13是生成并发送向设置在像素的TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)的扫描信号的1C。此外，在附图中，影像信号驱动电路12和扫描信号驱动电路13图示成形成为2处，但也可以组装于一个1C，还可以形成为分成3处以上。
[0030]传递来自扫描信号驱动电路13的信号的扫描线15电连接于在各像素区域形成的像素晶体管的栅极。扫描线15对于排列成1行的像素晶体管是共用的。像素晶体管是其源极或者漏极电连接于驱动晶体管的栅极的晶体管。驱动晶体管是源极电连接于有机发光二极管的阳极的晶体管。有机发光二极管的阴极固定于接地电位。另外，传递来自影像信号驱动电路12的信号的影像信号线14电连接于像素晶体管的源极或者漏极。影像信号线14对于排成1列的像素晶体管是共用的。在对扫描线15施加扫描信号时，像素晶体管成为导通状态。若在该状态下对影像信号线14施加影像信号，则会对驱动晶体管的栅极施加影像信号，驱动晶体管成为导通状态。在驱动晶体管的漏极电连接有电源线16。对电源线16施加用于使有机发光二极管发光的电源电压。若驱动晶体管成为导通状态，则与影像信号的大小相应的电流向有机发光二极管流动，有机发光二极管发光。
[0031][第一实施方式]
[0032]图3是本发明的第一实施方式的有机EL面板10的像素的剖视图。图3是示出图2的II1-1II剖面的图。在有机EL面板10的最下层配置有基板20。基板20由玻璃或者人工树脂等形成。
[0033]在基板20上形成由3丨队3丨02等形成的基底膜21。在基底膜21上，形成将驱动晶体管的漏极电极30和源极电极33电连接的沟道层32。沟道层32由多晶硅形成。此外，沟道层32也可以由非晶质硅等形成。在基底膜21和沟道层32上，由SiN、5102等形成第一绝缘膜22。在第一绝缘膜22上，由金属材料形成驱动晶体管的栅极电极31。在第一绝缘膜22和栅极电极31上，由SiN、Si02等形成第二绝缘膜23。在第二绝缘膜23和第一绝缘膜22中设置有达到沟道层32的通孔，由金属材料形成驱动晶体管的漏极电极30和源极电极33。在漏极电极30、源极电极33以及第二绝缘膜23上，由3丨队5丨02等形成层间绝缘膜24。在层间绝缘膜24上，由金属材料形成布线34。布线34是电源线16或者影像信号线14等。