一种热电阻及电极的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及热敏器件的制作方法，尤其涉及一种热电阻及电极的制作方法。
【背景技术】
[0002]半导体气敏元件分为烧结型、厚膜型和薄膜型。它们各自的结构，制作工艺不同，其性能特点也各异。烧结型气敏元件有直热式和旁热式2种类型。这2种类型的元件制作工艺都比较简单，灵敏度也高。但直热式元件由于Pt丝与气敏材料直接接触，长期使用易改变气敏材料的化学结构，导致元件稳定性下降。此外Pt丝用量大，成本高。旁热式元件的加热器(N1.cr丝)不直接接触气敏材料，相比直热式元件稳定性有所提高，而且Pt丝用量少，成本低。但旁热式元件气敏层电阻一致性较差，给批量生产增加了困难。因此烧结元件逐步在被厚、薄膜元件代替。厚、薄膜元件具有灵敏度高、重复性、稳定性好、功耗低、寿命长等优点，但薄膜元件制作对工艺设备要求很高，制造成本高，不易产业化推广。
【发明内容】
[0003]本发明所要解决的技术问题是提供一种方法简单、操作过程简单，成本低廉，性能稳定，易批量生产的加热热电阻及电极的制作方法。
[0004]本发明解决上述技术问题的技术方案如下:一种热电阻及电极的制作方法，包括如下步骤:
[0005]选取A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸；
[0006]用洗液清洗A1203衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底烘干备用；
[0007]利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A1203衬底上印刷Au电极，经干燥处理后烧结成型，再印刷Ru02加热器，经干燥处理后烧结成型；
[0008]同样以丝网印刷的方式，在烧结后的电极基片加热器表面印刷玻璃保护浆料，烘干后烧结成型；
[0009]利用激光调阻机对制作完成的电极进行电阻精调，制成不同规格的可用电极。
[0010]在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。
[0011 ]进一步，所述选取A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸步骤的具体实现如下:
[0012]选取质量分数为95%?99%的A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸。
[0013]进一步，所述用洗液清洗A1203衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底烘干备用步骤的具体实现如下:
[0014]用洗液清洗A1203衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗10?25min，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底在60?80°C条件下的恒温箱中烘干备用。
[0015]进一步，所述利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A1203衬底上印刷Au电极，经干燥处理后烧结成型，再印刷Ru02加热器，经干燥处理后烧结成型步骤的具体实现如下:
[0016]利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A1203衬底上印刷Au电极，经60?80°C条件下的恒温箱中干燥处理后；
[0017]在900?1100°C条件下，在马弗炉中进行烧结成型，再印刷Ru02加热器，相同条件下烧结成型。
[0018]本发明的有益效果是:
[0019]1.方法简单、操作过程简单，成本低廉；
[0020]2.性能稳定，易批量生产。
【附图说明】
[0021]图1为本发明一种热电阻及电极的制作方法流程示意图。
【具体实施方式】
[0022]以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。
[0023]如图1所示，一种热电阻及电极的制作方法，包括如下步骤:
[0024]选取A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸；
[0025]用洗液清洗A1203衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底烘干备用；
[0026]利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A1203衬底上印刷Au电极，经干燥处理后烧结成型，再印刷Ru02加热器，经干燥处理后烧结成型；
[0027]同样以丝网印刷的方式，在烧结后的电极基片加热器表面印刷玻璃保护浆料，烘干后烧结成型；
[0028]利用激光调阻机对制作完成的电极进行电阻精调，制成不同规格的可用电极。
[0029]实施例1:
[0030]选取质量分数为95%的A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸；用洗液清洗AI2O3衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗lOmin，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底在60°C条件下的恒温箱中烘干备用；利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A1203衬底上印刷Au电极，经60°C条件下的恒温箱中干燥处理后;在900°C条件下，在马弗炉中进行烧结成型，再印刷Ru02加热器，相同条件下烧结成型；同样以丝网印刷的方式，在烧结后的电极基片加热器表面印刷玻璃保护浆料，烘干后烧结成型;利用激光调阻机对制作完成的电极进行电阻精调，制成不同规格的可用电极。
[0031]实施例2:
[0032]选取质量分数为97%的A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸；用洗液清洗AI2O3衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗20min，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底在70°C条件下的恒温箱中烘干备用；利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A1203衬底上印刷Au电极，经70°C条件下的恒温箱中干燥处理后;在1000°C条件下，在马弗炉中进行烧结成型，再印刷Ru02加热器，相同条件下烧结成型；同样以丝网印刷的方式，在烧结后的电极基片加热器表面印刷玻璃保护浆料，烘干后烧结成型;利用激光调阻机对制作完成的电极进行电阻精调，制成不同规格的可用电极。
[0033]实施例3:
[0034]选取质量分数为99%的A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸；用洗液清洗AI2O3衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗25min，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底在80°C条件下的恒温箱中烘干备用；利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A1203衬底上印刷Au电极，经80°C条件下的恒温箱中干燥处理后;在1100°C条件下，在马弗炉中进行烧结成型，再印刷Ru02加热器，相同条件下烧结成型；同样以丝网印刷的方式，在烧结后的电极基片加热器表面印刷玻璃保护浆料，烘干后烧结成型;利用激光调阻机对制作完成的电极进行电阻精调，制成不同规格的可用电极。
[0035]以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种热电阻及电极的制作方法，其特征在于，包括如下步骤: 选取A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸； 用洗液清洗A1203衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底烘干备用； 利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A1203衬底上印刷Au电极，经干燥处理后烧结成型，再印刷Ru02加热器，经干燥处理后烧结成型； 同样以丝网印刷的方式，在烧结后的电极基片加热器表面印刷玻璃保护浆料，烘干后烧结成型； 利用激光调阻机对制作完成的电极进行电阻精调，制成不同规格的可用电极。2.根据权利要求1所述一种热电阻及电极的制作方法，其特征在于，所述选取A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸步骤的具体实现如下: 选取质量分数为95 %?99 %的A1203基片，用激光切割并加工成一定尺寸。3.根据权利要求1所述一种热电阻及电极的制作方法，其特征在于，所述用洗液清洗AI2O3衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底烘干备用步骤的具体实现如下: 用洗液清洗A1203衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗10?25min，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底在60?80°C条件下的恒温箱中烘干备用。4.根据权利要求1所述一种热电阻及电极的制作方法，其特征在于，所述利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A1203衬底上印刷Au电极，经干燥处理后烧结成型，再印刷Ru02加热器，经干燥处理后烧结成型步骤的具体实现如下: 利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的A1203衬底上印刷Au电极，经60?80°C条件下的恒温箱中干燥处理后； 在900?1100°C条件下，在马弗炉中进行烧结成型，再印刷Ru02加热器，相同条件下烧结成型。
【专利摘要】本发明涉及一种热电阻及电极的制作方法，包括如下步骤：选取Al2O3基片，用激光切割并加工成一定尺寸；用洗液清洗Al2O3衬底，然后在超声波清洗器中用去离子水清洗，再用乙醇清洗，将清洗好的衬底烘干备用；利用精密丝网印刷机，以一定目数的丝印网版在洗净烘干的Al2O3衬底上印刷Au电极，经干燥处理后烧结成型，再印刷RuO2加热器，经干燥处理后烧结成型；同样以丝网印刷的方式，在烧结后的电极基片加热器表面印刷玻璃保护浆料，烘干后烧结成型；利用激光调阻机对制作完成的电极进行电阻精调，制成不同规格的可用电极。本发明方法简单、操作过程简单，成本低廉，性能稳定，易批量生产。
【IPC分类】H01C7/04
【公开号】CN105489328
【申请号】CN201510991801
【发明人】黄宗波
【申请人】重庆乐乎科技有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年12月25日