一种直提式石英舟舟叉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及到电子行业退火炉、扩散炉、氧化炉等使用的石英舟取放舟叉，具体的说是一种直提式石英舟舟叉。
【背景技术】
[0002]石英舟做为硅片的载体，被广泛应用于太阳能、集成电路的高温设备中，通常的工艺温度多为700°C -1lOOtC之间。但大多数设备因为配套的自动装卸石英舟的机构价格高昂而没有配备。通常使用手工操作方式进行装卸石英舟，其方法是使用一个或一对不锈钢的舟叉，插入石英舟两侧的插管中对石英舟进行搬运。目前的石英舟舟叉的都是简单的直杆形状，前部是叉杆，后部有一个手柄。该操作对腕力的要求较高，特别是女性员工在搬运大尺寸较多硅片时，容易因为力量不足，造成摔片。同时因为在叉取石英舟时手柄距离石英舟很近，容易被出炉的高温石英舟温度烫伤。
[0003]舟叉的叉杆为了保证强度使用不锈钢材料制作，有些厂家为了避免舟叉杆与石英舟硬碰硬造成石英舟破损，在不锈钢材料外套四氟套管；对材料的洁净度要求很高的厂家，在叉杆上套石英套管。
【实用新型内容】
[0004]为解决现有的直杆式舟叉对腕力要求高导致的容易造成摔片问题，本实用新型提供了一种直提式石英舟舟叉，该舟叉改变了叉起石英舟时石英舟的受力方式，使操作人员能够轻松操作。
[0005]本实用新型为解决上述技术问题采用的技术方案为:一种直提式石英舟舟叉，包括操作手柄和插入石英舟两侧插管中的叉杆，所述操作手柄和叉杆之间设置有与两者垂直的提拉杆，且操作手柄和叉杆均位于提拉杆的同侧，以使操作手柄远离叉杆的同时，通过操作手柄提起叉杆及叉杆上的石英舟。
[0006]所述操作手柄和提拉杆之间设置有隔热块，隔热块用四氟材料制作。
[0007]所述叉杆为两根并通过连接杆连接形成双叉杆，且两根叉杆对称设置在连接杆同侧的两端，所述提拉杆一端与操作手柄垂直连接，另一端与连接杆垂直连接。
[0008]所述叉杆的外部套设有四氟套管，从而避免了叉杆与石英舟碰撞造成石英舟的破损。
[0009]所述叉杆的外部套设有石英套管，以防止叉杆上沾染的污染物污染石英舟。
[0010]本实用新型中，叉杆、操作手柄、提拉杆和连接杆均可以用不锈钢材料制作，以提高其强度的同时降低其重量。
[0011]有益效果:本实用新型通过在叉杆和操作手柄之间设置提拉杆，使得工人在操作时，将端起石英舟的操作改为提起石英舟，从而使操作更加便利，也更加省力和平稳，防止了操作工人由于腕力不够导致的摔片问题；同时，由于提拉杆的存在，使得叉杆和操作手柄之间的距离变得更长，从而远离了温度很高的石英舟，防止石英舟在转移过程中烫伤。
【附图说明】
[0012]图1为现有的单叉杆舟叉；
[0013]图2为现有的双叉杆舟叉；
[0014]图3为本实用新型的结构示意图；
[0015]图4为本实用新型中双叉杆的结构示意图；
[0016]附图标记:1、叉杆，2、操作手柄，3、隔热块，4、连接杆，5、提拉杆。
【具体实施方式】
[0017]如图3所示，一种直提式石英舟舟叉，包括操作手柄2和插入石英舟两侧插管中的叉杆1，所述操作手柄2和叉杆I之间设置有与两者垂直的提拉杆5，且操作手柄2和叉杆I均位于提拉杆5的同侧，以使操作手柄2远离叉杆I的同时，通过操作手柄2提起叉杆I及叉杆I上的石英舟。
[0018]以上为本实用新型的基本实施方式，可在以上基础上作进一步的改进和优化:
[0019]如，在所述操作手柄2和提拉杆5之间设置隔热块3，从而降低石英舟的热量通过叉杆I传递给操作手柄2 ;
[0020]又如，所述叉杆I为两根并通过连接杆4连接形成双叉杆，且两根叉杆I对称设置在连接杆4同侧的两端，从而形成现有的双叉杆舟叉，所述提拉杆5 —端与操作手柄2垂直连接，另一端与连接杆4垂直连接，操作手柄5与两根叉杆I位于同侧；
[0021]再如，为了避免舟叉杆与石英舟硬碰硬造成石英舟破损，在所述叉杆I的外部套设有四氟套管；
[0022]再如，若对材料的洁净度要求很高时，在所述叉杆I的外部套设有石英套管。
[0023]本实用新型中，叉杆1、操作手柄2、提拉杆5和连接杆4均可以用不锈钢材料制作，以提高其强度的同时降低其重量；所述隔热块3采用四氟材料制作。
【主权项】
1.一种直提式石英舟舟叉，包括操作手柄(2)和插入石英舟两侧插管中的叉杆(1)，其特征在于:所述操作手柄(2)和叉杆(I)之间设置有与两者垂直的提拉杆(5)，且操作手柄(2 )和叉杆(I)均位于提拉杆(5 )的同侧，以使操作手柄(2 )远离叉杆(I)的同时，通过操作手柄(2 )提起叉杆(I)及叉杆(I)上的石英舟。2.根据权利要求1所述的一种直提式石英舟舟叉，其特征在于:所述操作手柄(2)和提拉杆(5)之间设置有隔热块(3)。3.根据权利要求1所述的一种直提式石英舟舟叉，其特征在于:所述叉杆(I)为两根并通过连接杆(4)连接形成双叉杆，且两根叉杆(I)对称设置在连接杆(4)同侧的两端，所述提拉杆(5) —端与操作手柄(2)垂直连接，另一端与连接杆(4)垂直连接。4.根据权利要求1所述的一种直提式石英舟舟叉，其特征在于:所述叉杆(I)的外部套设有四氟套管。5.根据权利要求1所述的一种直提式石英舟舟叉，其特征在于:所述叉杆(I)的外部套设有石英套管。
【专利摘要】一种直提式石英舟舟叉，包括操作手柄和插入石英舟两侧插管中的叉杆，所述操作手柄和叉杆之间设置有与两者垂直的提拉杆，且操作手柄和叉杆均位于提拉杆的同侧，以使操作手柄远离叉杆的同时，通过操作手柄提起叉杆及叉杆上的石英舟。本实用新型通过在叉杆和操作手柄之间设置提拉杆，使得工人在操作时，将端起石英舟的操作改为提起石英舟，从而使操作更加便利，也更加省力和平稳，防止了操作工人由于腕力不够导致的摔片问题；同时，由于提拉杆的存在，使得叉杆和操作手柄之间的距离变得更长，从而远离了温度很高的石英舟，防止石英舟在转移过程中烫伤。
【IPC分类】H01L31/18
【公开号】CN204834660
【申请号】CN201520609245
【发明人】孟娟峰, 苗利刚, 史舸, 田献立, 焦二强, 李海涛, 王晓飞
【申请人】麦斯克电子材料有限公司
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2015年8月14日