专利名称：一种半导体生产中的晶舟移动器的制作方法
技术领域：
一种半导体生产中的晶舟移动器技术领域[0001]本实用新型涉及一种工具，特别涉及一种半导体生产中的晶舟移动器。
技术背景[0002]在半导体制造业中，从晶圆制成集成电路晶片时，通常包括对晶圆的一再处理 的几个步骤，其中包括晶圆的搬运，由于晶圆的易碎性质及其贵重的价格，必须在搬运 的过程中进行适当的保护，晶舟的目的即提供这种保护措施，在晶舟转移时需要采用晶 舟移动器实现转移，但现有的晶舟移动器包括与晶舟舟体形状对应的支撑面板1，支撑面 板1上端设有定位齿锁2，使用时定位齿锁2可从晶舟舟体上端的横梁内侧扣住晶舟横 梁、支撑面板1固定于把手4的端部41，使用时抓住把手4即可对晶舟进行搬运了，但现 有的晶舟移动器对晶舟的固定不够牢固。实用新型内容[0003]为了解决现有的晶舟移动器对晶舟的固定不够牢固的问题，本实用新型实施例 提供了一种半导体生产中的晶舟移动器，包括支撑面板1、定位齿锁2、锁扣件3和把手 4，支撑面板1与晶舟舟体51形状对应，支撑面板1上设有定位齿锁2，定位齿锁2用于 在支撑面板1与晶舟舟体51放置在一起相互吻合后，从晶舟舟体51上的横梁52内侧扣 住晶舟横梁52，支撑面板1固定于把手4的端部41，锁扣件3的凸梁33与把手4两侧面 凹槽44相配合，锁扣件3在把手4上滑动，当锁扣件3向固定支撑面板1的端部41滑动 时，其前部的扣盖31可扣在晶舟横梁52上。[0004]由本实用新型提供的具体实施方案可以看出，正是由于锁扣件3前部的扣盖31 可扣在晶舟横梁上，因此解决了对晶舟的固定不够牢固的问题。
[0005]图1为本实用新型提供的晶舟移动器俯视图；[0006]图2为本实用新型提供的晶舟移动器侧视图。
具体实施方式
[0007]为了解决现有的晶舟移动器对晶舟的固定不够牢固的问题，本实用新型的实施 例提供一种连接部件，其俯视图如图1所示，其侧视图如图2所示，晶舟移动器结构说 明晶舟移动器为“T字型”，由聚四氟乙烯材料加工而成，大量使用时可开模拉制。 晶舟移动器包括支撑面板1、定位齿锁2、扣件3把手4四部分。支撑面板1其与把手 4 一端部41固连，支撑面板1上部设有定位齿锁2，锁扣件3与把手4平行，且该锁扣件 3下端凸梁33与靠近把手4端部41的两从侧面凹槽44相结合，锁扣件3与把手4可平行 运动。[0008]本实施例中的晶舟移动器的支撑面板1呈弯状(可根据晶舟造型更改)，其上端3定位齿锁2 (可根据晶舟横梁造型更改)与所述支撑面板1之间为一体结构，另支撑面板1 两端和中间位置(可根据晶舟造型更改)，中部有两个螺丝孔，由不锈钢螺丝6与“一” 字形把手4相连接适配。使用时支撑面板1与晶舟舟体51放置在一起相互吻合后，定位 齿锁2可从位于晶舟舟体51上端的横梁52内侧扣住晶舟横梁52。[0009]把手4结构包括设在靠近把手4端部41的凹槽44，以及设在把手4的中部42到 把手4的另一端部43之间的防滑凸条45。把手4端部41可设有两个螺丝孔与支撑面板 1相连接。本实施例中的防滑条45采用防滑凸条的结构，当然也可以采用其它如凸点的 结构或凹条的结构。该防滑条45的位置也可以是分布在整个的把手把4上。[0010]锁扣件3结构包括设在靠近定位齿锁2部分的扣盖31，以及设在远离定位齿锁 2部分的推块32，设在锁扣件3下部的凸梁33与手把4的凹槽44相适配。[0011]齿锁2部分的推块32，设在锁扣件3下部的凸梁33与手把4的凹槽44相适配。[0012]在锁扣件3上设有用于推动锁扣件3在把手4上滑动的推块32，推块32设在锁 扣件3上端的后部。[0013]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实 用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要 求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求1.一种半导体生产中的晶舟移动器，其特征在于，包括支撑面板(1)、定位齿锁 (2),锁扣件C3)和把手0)，支撑面板(1)与晶舟舟体(51)形状对应，支撑面板(1)上 设有定位齿锁( ，定位齿锁( 用于在支撑面板(1)与晶舟舟体(51)放置在一起相互吻 合后，从晶舟舟体(51)上的横梁(52)内侧扣住晶舟横梁(52)，支撑面板(1)固定于把 手⑷的端部G1)，锁扣件⑶的凸梁(33)与把手(4)两侧面凹槽04)相配合，锁扣 件C3)在把手(4)上滑动，当锁扣件(3)向固定支撑面板(1)的端部Gl)滑动时，其前 部的扣盖(31)可扣在晶舟横梁(52)上。
2.如权利要求1所述的晶舟移动器，其特征在于，把手(4)为一字形杆状部件。
3.如权利要求2所述的晶舟移动器，其特征在于，把手(4)上设有防滑条05)。
4.如权利要求3所述的晶舟移动器，其特征在于，防滑条为防滑凸条05)。
5.如权利要求4所述的晶舟移动器，其特征在于，防滑凸条G5)设在把手的中 部(42)到把手(4)的另一端部(43)之间。
6.如权利要求1所述的晶舟移动器，其特征在于，把手(4)一端设有两个用于与支撑 面板(1)相连的螺丝孔。
7.如权利要求1所述的晶舟移动器，其特征在于，在锁扣件(3)上设有用于推动锁扣 件⑶在把手⑷上滑动的推块(32)。
8.如权利要求2或7所述的晶舟移动器，其特征在于，推块(32)设在锁扣件(3)上 端的后部。
专利摘要为了解决现有的晶舟移动器对晶舟的固定不够牢固的问题，本实用新型公开了一种半导体生产中的晶舟移动器，包括与晶舟舟体51形状对应的支撑面板1，支撑面板1上端设有定位齿锁2，使用时支撑面板1与晶舟舟体51放置在一起相互吻合后，定位齿锁2可从晶舟舟体51上端的横梁52内侧扣住晶舟横梁52、支撑面板1固定于把手4的端部41，锁扣件3下端凸梁33与把手4两侧面凹槽44相配合，锁扣件3在把手4上滑动，当锁扣件3向固定支撑面板1的端部41滑动时，其前部的扣盖31可扣在晶舟横梁52上，正是由于锁扣件3前部的扣盖31可扣在晶舟横梁52上，因此解决了对晶舟的固定不够牢固的问题。
文档编号H01L21/677GK201812804SQ200920277679
公开日2011年4月27日 申请日期2009年12月7日 优先权日2009年12月7日
发明者官春林 申请人:北大方正集团有限公司, 深圳方正微电子有限公司