一种低温防腐蚀槽的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于晶圆腐蚀开槽技术领域，特别涉及一种低温防腐蚀槽。
【背景技术】
[0002]目前，在生产GPP芯片的工艺过程中，对扩散后的晶圆必须在温度-10度以下的混合酸中进行腐蚀开槽，这种设备一般是把冷冻机的装有制冷剂铜管表面涂上防腐层(铁氟龙涂层)，或把铜管套上塑料管，放在混合酸中进行制冷，这种措施由于管道内制冷剂有压力，外层要长时间泡在强酸中，单靠涂层防护，生产过程中时常会碰到铜管，一旦碰坏防护层，就会很快腐蚀破带有压力的铜管，会发生喷酸伤人事故。此外，腐蚀开槽过程中需要保持稳定的温度，否则会导致
[0003]因此，现在亟需一种低温防腐蚀槽，既能够保证晶圆在腐蚀开槽时处于稳定的环境温度，又能够保证腐蚀开槽设备不会因为酸液的腐蚀而损坏，延长设备的使用寿命，避免发生喷酸伤人事故。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型提出一种低温防腐蚀槽，解决了现有技术中晶圆在腐蚀开槽时难以处于稳定的环境温度，腐蚀开槽设备极易会因为酸液的腐蚀而损坏的问题。
[0005]本实用新型的技术方案是这样实现的:提出了一种低温防腐蚀槽，包括盛放混合酸且耐低温的槽体，所述槽体外部固定设置有铜管，所述铜管端口连接有制冷机，所述槽体顶端设有密封盖。
[0006]作为一优选的实施方式，铜管与加强筋之间设置有减震垫，用于减轻铜管与加强筋之间由于震动造成的磨损。
[0007]作为一优选的实施方式，槽体内部与密封盖之间填充有乙二醇，用于对槽体内的混合酸进行低温保持。
[0008]作为一优选的实施方式，密封盖与槽体之间设有橡胶密封圈，用于进一步对槽体与密封盖进行密封，保证密封效果。
[0009]作为一优选的实施方式，槽体为塑料槽，既而腐蚀又比较牢固，而且成本相对低廉。
[0010]作为一优选的实施方式，槽体的厚度为2mm，满足槽体的刚性要求。
[0011]作为一优选的实施方式，槽体的内表面涂有防腐层，用于进一步防止混合酸液对槽体内表面的腐蚀。
[0012]作为一优选的实施方式，防腐层为铁氟龙涂层，防腐效果明显。
[0013]作为一优选的实施方式，槽体外部设有保护架，保证槽体的稳定。
[0014]作为一优选的实施方式，所述槽体内设有保温层，用于进一步保证槽体的温度。
[0015]采用了上述技术方案后，本实用新型的有益效果是:本实用新型既能够保证晶圆在腐蚀开槽时处于稳定的环境温度，避免由于保温效果不良造成的腐蚀反应不够充分或者其他问题，又能够保证腐蚀开槽设备不会因为酸液的腐蚀而损坏，延长设备的使用寿命，避免发生喷酸伤人事故，保证了安全生产。
【附图说明】
[0016]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本实用新型低温防腐蚀槽的结构示意图。
[0018]图中，1-制冷机；2_密封盖；3_槽体；4_加强筋；5_铜管；6_保护架。
【具体实施方式】
[0019]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0020]如图1所示，本实施例低温防腐蚀槽，包括盛放混合酸且耐低温的槽体3，槽体3外部固定设置有加强筋4，加强筋4上设有铜管5，铜管5端口连接有制冷机1，槽体3顶端设有密封盖2，铜管5与加强筋4之间设置有减震垫(图中未示出)，用于减轻铜管5与加强筋4之间由于震动造成的磨损，槽体3内部与密封盖2之间填充有乙二醇，用于对槽体3内的混合酸进行低温保持，密封盖2与槽体3之间设有橡胶密封圈(图中未示出)，用于进一步对槽体3与密封盖2进行密封，保证密封效果，槽体3为塑料槽，既而腐蚀又比较牢固，而且成本相对低廉，槽体3的厚度为2mm，满足槽体3的刚性要求，槽体3的内表面涂有防腐层，用于进一步防止混合酸液对槽体3内表面的腐蚀，防腐层为铁氟龙涂层，防腐效果明显。，槽体3外部设有保护架，保证槽体3的稳定，槽体3外设有保护架6，槽体3内部设有保温层，用于进一步保证槽体3的温度。
[0021]该低温防腐蚀槽的工作原理是:打开本实施例低温防腐蚀槽的密封盖2，将需要发生反应的晶圆放入低温防腐蚀槽的槽体2内的混合酸中，充入乙二醇，将密封盖2封紧，启动制冷机1，制冷机I通过铜管5对槽体3进行降温，保证槽体3内的反应发生环境处于所需要的温度范围内，保证晶圆开槽的安全稳定进行，避免由于保温效果不良造成的腐蚀反应不够充分或者其他问题，又能够保证腐蚀开槽设备不会因为酸液的腐蚀而损坏，延长设备的使用寿命，避免发生喷酸伤人事故，保证了安全生产。
[0022]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种低温防腐蚀槽，包括盛放混合酸且耐低温的槽体，其特征在于，所述槽体外部设有加强筋，在所述加强筋上固定设置有若干铜管，所述铜管端口连接有制冷机，所述槽体顶端设有密封盖，所述槽体的内表面涂有防腐层，所述铜管与所述加强筋之间设置有减震垫，所述槽体内部与密封盖之间填充有乙二醇，所述密封盖与槽体之间设有橡胶密封圈。2.根据权利要求1所述的低温防腐蚀槽，其特征在于，所述槽体为塑料槽。3.根据权利要求2所述的低温防腐蚀槽，其特征在于，所述槽体的厚度为2mm。4.根据权利要求1所述的低温防腐蚀槽，其特征在于，所述防腐层为铁氟龙涂层。5.根据权利要求1所述的低温防腐蚀槽，其特征在于，所述槽体外部设有保护架。6.根据权利要求1所述的低温防腐蚀槽，其特征在于，所述槽体内设有保温层。
【专利摘要】本实用新型提出了一种低温防腐蚀槽，包括盛放混合酸且耐低温的槽体，所述槽体外部固定设置有铜管，所述铜管端口连接有制冷机，所述槽体顶端设有密封盖，所述槽体外部设有保温层，所述槽体外部设有加强筋，所述铜管固定设置在所述加强筋上，所述铜管与所述加强筋之间设置有减震垫，所述槽体为塑料槽，所述槽体的厚度为2mm，所述密封盖与槽体之间设有橡胶密封圈，用以保证晶圆在腐蚀开槽时处于稳定的环境温度，使证腐蚀开槽设备不会因为酸液的腐蚀而损坏。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN204857674
【申请号】CN201520518384
【发明人】李兵, 朱新华
【申请人】高密星合电子有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年7月16日