一种硅片顶针的制作方法

文档序号:10081751阅读:369来源:国知局
一种硅片顶针的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及太阳能生产设备领域,具体涉及一种硅片顶针。
【背景技术】
[0002]近年来,光伏电池产业发展迅速。据2004年数据分析,各种太阳能电池中硅基太阳能电池占总广量的98 %,晶体娃太阳能电池占总广量的84.6 %,多晶娃太阳能电池占总量的56%。中国政府已经把新能源产业列为战略性新兴产业,未来10年投资将达3万亿,将为新能源产业创造难得的发展机遇。光伏发电是本世纪最有市场潜力、最具发展前景的新能源。光伏产业以其技术先进性、资源无限性和绿色环保性,成为全球产业革命的核心、发展低碳经济的方向、应对能源危机和实现可持续发展的重要途径。在太阳能光伏电池制备过程中蚀刻,硅片顶针常用于硅片的搬送和消除静电。因此,硅片顶针的设计,对太阳能光伏电池的发展有重要影响。
[0003]中国专利CN200710094069.5公开了一种硅片顶针,包括:接触部、升降部,接触部具有弹性组件;接触部通过弹性组件嵌设、套设或直接连接在所述升降部的顶部。该发明的弹性组件可以是由压缩金属弹簧组成,或者由可变形的导体弹片组成,也可以用重力方式实现等。但是该硅片顶针在使用过程中容易对硅片造成损伤,同时不能确保硅片被可靠托起,有时会出现硅片没有托起,造成硅片损坏,影响生产。
[0004]因此急需一种能将硅片可靠托起、不损伤硅片的硅片顶针。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型针对上述问题,提供一种能将硅片可靠托起、不损伤硅片的硅片顶针。
[0006]本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是:
[0007]—种硅片顶针,其中,包括:导向套,所述导向套呈圆柱形;顶出装置,所述顶出装置包括导杆、若干个连接体和若干个引脚,所述导杆可上下移动地设置在导向套内,所述连接体固定设置在导杆的上部,所述引脚固定设置在连接体的一端。
[0008]进一步地,所述引脚包括依次相连接的第一杆、第二杆和第三杆,所述第一杆与第二杆之间的夹角为A。
[0009]更进一步地,所述夹角A为165°?175°。
[0010]更进一步地,所述夹角A为170°。
[0011]更进一步地,所述引脚还包括依次相连接的第一支撑体和第二支撑体,所述第一支撑体连接在第三杆的末端,且向导杆中心延伸,所述第二支撑体连接在第一支撑体的末端,且向导杆中心延伸。
[0012]更进一步地,所述第三杆呈弧形,所述第二支撑体呈弧形。
[0013]更进一步地,所述第一支撑体和第二支撑体的表面上均设有若干个凸起。
[0014]更进一步地,所述连接体具有过渡壁和凹槽,所述过渡壁位于连接体的下部,所述凹槽位于连接体的上部。
[0015]本实用新型的优点是顶出装置的引脚能够确保硅片平稳的、可靠地被托起,避免发生跳片现象,能有效防止损坏硅片。
[0016]除了上面所描述的目的、特征和优点之外,本实用新型还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图,对本实用新型作进一步详细的说明。
【附图说明】
[0017]构成本说明书的一部分、用于进一步理解本实用新型的附图示出了本实用新型的优选实施例,并与说明书一起用来说明本实用新型的原理。在附图中:
[0018]图1是本实用新型的剖视图;
[0019]图2是本实用新型的顶出装置的结构示意图;
[0020]图3是本实用新型的顶出装置的局部结构示意图;
[0021]图4是本实用新型的顶出装置的另一局部结构示意图;以及
[0022]图5是本实用新型的顶出装置的又一局部结构示意图。
[0023]其中,图中标记为:
[0024]1为吸盘、11为容纳腔、2为硅片、3为顶出装置、31为导杆、32为连接体、321为过渡壁、322为凹槽、33为引脚、331为第一杆、332为第二杆、333为第三杆、334为第一支撑体、335为第二支撑体、336为凸起、4为导向套。
【具体实施方式】
[0025]以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明,但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
[0026]实施例一:
[0027]参考图1至图5,如图1所示的一种硅片2顶针,其中,包括导向套4和顶出装置3,导向套4安装在吸盘1下端的定位孔内,导向套4呈圆柱形,导向套4与定位孔过盈配合,以便安装牢靠,吸盘1内设有一容纳腔11,容纳腔11贯穿吸盘1的上面,且与定位孔相贯通,如图1和图2所示,顶出装置3包括导杆31、若干个连接体32和若干个引脚33,导杆31可上下移动地设置在导向套4内,导杆31的上部延伸至容纳腔11,连接体32固定设置在导杆31的上部,连接体32和引脚33均位于容纳腔11内,引脚33固定设置在连接体32的一端,硅片2位于容纳腔11的上开口,引脚33抵挡在硅片2的下部。
[0028]如图3和图4所示,引脚33包括依次相连接的第一杆331、第二杆332和第三杆333,第一杆331连接在连接体32的一端,第二杆332的一端连接在第一杆331的末端,第二杆332的另一端连接在第三杆333的首端,引脚33还包括依次相连接的第一支撑体334和第二支撑体335,第一支撑体334连接在第三杆333的末端,且向导杆31中心延伸,第二支撑体335连接在第一支撑体334的末端,且向导杆31中心延伸,第二杆332沿导杆31的轴向和径向向外延伸,第三杆333的首端高于导杆31的上部,第一杆331与第二杆332之间的夹角为A,引脚33可避免发生硅片2跳片现象,确保硅片2被顶出时平稳的、可靠地被托起,能有效防止损坏娃片2。
[0029]优选地,夹角A为165°,使得顶出时硅片2受力缓慢,确保平稳的、可靠地被托起硅片2。
[0030]优选地,第三杆333呈弧形,第二支撑体335呈弧形,弧形结构使得顶出硅片2时接触缓慢,避免冲击力,防止损坏硅片2。
[0031]第一支撑体334和第二支撑体335的表面上均设有若干个凸起336,以确保硅片2在被顶出时不滑落,并且可靠地抵挡在第一支撑体334和第二支撑体335的表面上。
[0032]如图5所示,优选地,连接体32具有过渡壁321和凹槽322,过渡壁321位于连接体32的下部,凹槽322位于连接体32的上部,过渡壁321和凹槽322的设置防止硅片2被托起时连接体32断裂。
[0033]实施例二:
[0034]参考图1至图5,如图1所示的一种硅片2顶针,其中,包括导向套4和顶出装置3,导向套4安装在吸盘1下端的定位孔内,导向套4呈圆柱形,导向套4与定位孔过盈配合,以便安装牢靠,吸盘1内设有一容纳腔11,容纳腔11贯穿吸盘1的上面,且与定位孔相
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