一种自动干法刻蚀机的制作方法
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种自动干法刻蚀机。
【背景技术】
[0002]干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术。当气体以等离子体形式存在时，它具备两个特点:一方面等离子体中的这些气体化学活性比常态下时要强很多，根据被刻蚀材料的不同，选择合适的气体，就可以更快地与材料进行反应，实现刻蚀去除的目的；另一方面，还可以利用电场对等离子体进行引导和加速，使其具备一定能量，当其轰击被刻蚀物的表面时，会将被刻蚀物材料的原子击出，从而达到利用物理上的能量转移来实现刻蚀的目的。因此，干法刻蚀是晶圆片表面物理和化学两种过程平衡的结果。
[0003]干法刻蚀又分为三种:物理性刻蚀、化学性刻蚀、物理化学性刻蚀。其中物理性刻蚀又称为溅射刻蚀。很明显，该溅射刻蚀靠能量的轰击打出原子的过程和溅射非常相像。这种极端的刻蚀方法方向性很强，可以做到各向异性刻蚀，但不能进行选择性刻蚀。
[0004]目前现有的干法刻蚀机结构复杂，操作不方便，使用的安全性能一般。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构简单，生产效率高，能够对工件进行刻蚀和清洁，运行安全可靠的自动干法刻蚀机。
[0006]为解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案:
[0007]—利自动干法刻蚀机，包括等离子发生器、分子栗、真空室和控制柜，所述离子发生器和分子栗设在真空室一侧，所述分子栗与真空室连通，等离子发生器能够发出等离子体对工件进行刻蚀和清洗，分子栗能够排出真空室内的空气和杂质，控制柜能够保持操控方便可靠，密封窗方便放入工件和观察工件加工状况，保持运行安全，储物柜能够储存工件，保持操作方便，所述离子发生器和分子栗分别与控制柜电性连接，所述控制柜上设置有显示屏和控制面板，所述显示屏和控制面板分别与控制柜电性连接，所述真空室前端设置有密闭窗，所述真空室下方设置有储物柜，所述储物柜上设置有储物门，所述储物门设有两扇，所述储物门上设置有把手。
[0008]作为优选，所述储物柜底部设置有脚轮和支撑脚，脚轮方便储物柜的移动。
[0009]作为优选，所述支撑脚与储物柜固定连接，支撑杆能够保持储物柜结构稳定。
[0010]作为优选，所述控制柜一侧设置有警示灯，能够发出警报，保持使用安全可靠。
[0011]作为优选，所述警示灯与控制柜电性连接，保持线路连接通畅。
[0012]本实用新型的有益效果为:设置的等离子发生器能够发出等离子体对工件进行刻蚀和清洗，分子栗能够排出真空室内的空气和杂质，控制柜能够保持操控方便可靠，密封窗方便放入工件和观察工件加工状况，保持运行安全，储物柜能够储存工件，保持操作方便。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型一种自动干法刻蚀机的结构示意图。
【具体实施方式】
[0014]如图1所示，一种自动干法刻蚀机，包括等离子发生器1、分子栗2、真空室3和控制柜4，所述离子发生器1和分子栗2设在真空室3 —侧，所述分子栗2与真空室3连通，所述离子发生器1和分子栗2分别与控制柜4电性连接，所述控制柜4上设置有显示屏5和控制面板6，所述显示屏5和控制面板6分别与控制柜4电性连接，所述真空室3前端设置有密闭窗7，所述真空室3下方设置有储物柜8，所述储物柜8上设置有储物门9，所述储物门9设有两扇，所述储物门9上设置有把手10。
[0015]所述储物柜8底部设置有脚轮11和支撑脚12，在使用时，脚轮11方便储物柜8的移动。
[0016]所述支撑脚12与储物柜8固定连接，在使用时，支撑杆12能够保持储物柜8结构稳定。
[0017]所述控制柜4 一侧设置有警示灯13，在使用时，能够发出警报，保持使用安全可
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[0018]所述警示灯13与控制柜4电性连接，在使用时，保持线路连接通畅。
[0019]在使用时，将工件通过密闭窗7放入到真空室3内，通过控制柜4启动等离子发生器1和分子栗2即可进行加工。
[0020]本实用新型的有益效果为:设置的等离子发生器能够发出等离子体对工件进行刻蚀和清洗，分子栗能够排出真空室内的空气和杂质，控制柜能够保持操控方便可靠，密封窗方便放入工件和观察工件加工状况，保持运行安全，储物柜能够储存工件，保持操作方便。
[0021]以上所述，仅为本实用新型的【具体实施方式】，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种自动干法刻蚀机，其特征在于:包括等离子发生器、分子栗、真空室和控制柜，所述离子发生器和分子栗设在真空室一侧，所述分子栗与真空室连通，所述离子发生器和分子栗分别与控制柜电性连接，所述控制柜上设置有显示屏和控制面板，所述显示屏和控制面板分别与控制柜电性连接，所述真空室前端设置有密闭窗，所述真空室下方设置有储物柜，所述储物柜上设置有储物门，所述储物门设有两扇，所述储物门上设置有把手。2.根据权利要求1所述的自动干法刻蚀机，其特征在于:所述储物柜底部设置有脚轮和支撑脚。3.根据权利要求2所述的自动干法刻蚀机，其特征在于:所述支撑脚与储物柜固定连接。4.根据权利要求3所述的自动干法刻蚀机，其特征在于:所述控制柜一侧设置有警示灯。5.根据权利要求4所述的自动干法刻蚀机，其特征在于:所述警示灯与控制柜电性连接。
【专利摘要】本实用新型公开一种自动干法刻蚀机，包括等离子发生器、分子泵、真空室和控制柜，所述离子发生器和分子泵设在真空室一侧，所述分子泵与真空室连通，所述离子发生器和分子泵分别与控制柜电性连接，所述控制柜上设置有显示屏和控制面板，所述显示屏和控制面板分别与控制柜电性连接，所述真空室前端设置有密闭窗，所述真空室下方设置有储物柜，所述储物柜上设置有储物门，所述储物门设有两扇，所述储物门上设置有把手，该自动干法刻蚀机结构简单，生产效率高，能够对工件进行刻蚀和清洁，运行安全可靠。
【IPC分类】H01J37/32, H01L21/67
【公开号】CN205159277
【申请号】CN201520811647
【发明人】蔚璇, 陈娜
【申请人】北京普拉斯马科技有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年10月20日