烤架的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种用于片状产品的热固化或加热工艺的烤架。
【背景技术】
[0002]现有半导体工艺中的用于片状产品(例如晶圆贴附玻璃)的热固化或加热工艺的烤架均为半导体厂制作的标准金属烤架，其结构如图1所示，包括插槽单元和连接结构，插槽单元包括两块插槽板2’，其具有对应卡槽21’的一侧相对设置，并通过连接结构连接固定，除插槽板2，之外该烤架为开放式结构，片状产品I，可从两侧插入两块插槽板2，的位于同一平面的对应卡槽21’中以做固定，并进行热固化或加热工艺。这种烤架的缺点是:1、工作人员在取放或搬运该烤架时只能双手拿住两块插槽板2’的外侧，这种取放或搬运方式容易增加烤架滑落的风险，不利于烤架的取放操作;2、由于该烤架未设有防止片状产品I ’滑落的结构，因此存在片状产品I’从插槽单元中滑落碎片的风险;3、该烤架容易制作，但由于其仅通过两侧插槽板2’进行片状产品I’的限位固定，存放质量不能保证，且片状产品在热固化或加热时的受热也不十分平均。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型提供一种烤架，以解决现有技术中的烤架及存放于其中的片状产品容易滑落的问题，并能够增加片状产品的存放以及进行热固化或加热工艺的质量。
[0004]为了达到上述目的，本实用新型提供一种烤架，其用于片状产品的热固化或加热工艺，所述烤架包括插槽单元和连接结构，所述插槽单元通过所述连接结构连接固定成整体，所述插槽单元具有缺口，所述片状产品通过所述缺口插入所述插槽单元中，所述连接结构中设有与其可拆卸式连接的挡条，所述挡条位于所述缺口中。
[0005]进一步的，所述插槽单元包括多根钢条，所述多根钢条平行设置，并围成一具有所述缺口的圆弧，所述多根钢条朝向该圆弧的圆心的一侧均为其周侧，并分别在该侧沿轴向设有多个卡槽，各钢条上卡槽的数量及位置均相对应。
[0006]进一步的，所述钢条的数量为六根，六根所述钢条等间隔设置。
[0007]进一步的，所述连接结构包括两块钢板，所述多根钢条的两端均分别固定设置于所述两块钢板中，所述挡条穿设于所述两块钢板中，并与所述两块钢板可拆卸式连接。
[0008]进一步的，所述两块钢板平行设置，所述多根钢条和所述挡条均垂直于所述两块钢板设置。
[0009]进一步的，所述两块钢板中的任一块钢板上设有开口或两块钢板上均设有开口。
[0010]进一步的，所述两块钢板中的任一块钢板上设有提手或两块钢板上均设有提手。
[0011]进一步的，所述钢板和所述钢条的制作材料均为不锈钢。
[0012]进一步的，所述烤架还包括挡条锁，所述两块钢板中的一块钢板的边沿开设有一“L”形口，所述挡条锁设置于所述两块钢板中的另一块钢板上，所述挡条锁中的对应位置开设有一 “L”形槽，所述挡条包括挡块和杆身，所述挡块设置于所述杆身的一端，所述杆身的从所述“L”形口和“L”形槽靠近所述钢板边沿的一端进入，所述挡块位于所述“L”形口远离所述钢条的一侧，所述“L”形槽位于里侧的另一端具有锁口槽，所述杆身沿所述“L”形口和“L”形槽滑入并固定于所述锁口槽中。
[0013]进一步的，所述杆身的制作材料为磁性材料，所述挡条锁中靠近所述锁口槽处还设有耐尚温磁铁。
[0014]与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果:
[0015]本实用新型提供的烤架通过将挡条可拆卸式安装于连接结构中，并将其置于插槽单元中用于取放片状产品的缺口处，使烤架在取放和搬运过程中其中的片状产品会受到该挡条的阻挡，从而不会从插槽单元中滑落碎片，大大增加了该烤架的安全性及存放质量。同时，连接结构外侧的提手设计使得工作人员通过握住提手便可取放或搬运该烤架，大大减小了烤架在取放或搬运过程中滑落的风险。另外，该烤架的圆弧形插槽单元设计也能够使得片状产品的存放更为牢靠，且其周围的开放性更高，增加了片状产品的热固化或加热工艺的质量。
【附图说明】
[0016]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0017]图1为现有技术中烤架的结构示意图；
[0018]图2为本实用新型实施例提供的烤架的结构示意图；
[0019]图3为本实用新型实施例提供的烤架中挡条和挡条锁的结构示意图。
[0020]在图1至3中，
[0021]1、1’:片状产品；2:钢条;2’:插槽板;21、21’:卡槽;3:钢板;31:开口；32:提手;33:“L”形口；4:挡条;41:挡块;42:杆身;5:挡条锁;51: “L”形槽;52:锁口槽。
【具体实施方式】
[0022]以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的烤架作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0023]本实用新型的核心思想在于，提供一种烤架，其通过将挡条可拆卸式安装于连接结构中，并将其置于插槽单元中用于取放片状产品的缺口处，使烤架在取放和搬运过程中其中的片状产品会受到该挡条的阻挡，从而不会从插槽单元中滑落碎片，大大增加了该烤架的安全性及存放质量。同时，连接结构外侧的提手设计使得工作人员通过握住提手便可取放或搬运该烤架，大大减小了烤架在取放或搬运过程中滑落的风险。另外，该烤架的圆弧形插槽单元设计也能够使得片状产品的存放更为牢靠，且其周围的开放性更高，增加了片状产品的热固化或加热工艺的质量。
[0024]请参考图2和图3，图2为本实用新型实施例提供的烤架的结构示意图；图3为本实用新型实施例提供的烤架中挡条和挡条锁的结构示意图。
[0025]如图2所示，本实用新型实施例提供一种烤架，其用于片状产品I的热固化或加热工艺，所述烤架包括插槽单元和连接结构，所述插槽单元通过所述连接结构连接固定成整体，所述插槽单元具有缺口，所述片状产品I通过所述缺口插入所述插槽单元中，所述连接结构中设有与其可拆卸式连接的挡条4，所述挡条4位于所述缺口中。
[0026]本实用新型实施例提供的烤架通过将挡条4可拆卸式安装于连接结构中，并将其置于插槽单元中用于取放片状产品I的缺口处，使烤架在取放和搬运过程中其中的片状产品I会受到该挡条4的阻挡，从而不会从插槽单元中滑落碎片，大大增加了该烤架的安全性及存放质量。
[0027]进一步的，所述插槽单元包括多根钢条2，所述多根钢条2平行设置，并围成一具有所述缺口的圆弧，所述多根钢条2朝向该圆弧的圆心的一侧均为其周侧，并分别在该侧沿轴向设有多个卡槽21，各钢条2上卡槽21的数量及位置均相对应，即每个钢条2上对应位置的一组卡槽21均位于同一平面内。该烤架的圆弧形插槽单元设计能够使得片状产品I的存放更为牢靠，且由于仅通过分散