停电报警装置、ups供电装置和硅片加工设备的制作方法

文档序号:7498126阅读:255来源:国知局
专利名称:停电报警装置、ups供电装置和硅片加工设备的制作方法
技术领域
本实用新型涉及硅片加工技术领域,特别涉及一种停电报警装置、UPS
供电装置和硅片加工设备。
背景技术
目前,随着集成电路、太阳能电池等产业的迅速发展,对硅片等半导体 晶片的需求量也越来越大。硅片的制造和加工位于产业链的前端,因此,供 应满足产能需求的高质量的硅片,是集成电路、太阳能电池等产业的良性发
展的基础。
硅片的切割加工通常采用线切割技术,即,利用线锯的钢线将硅片按照 需要进行切割。为了避免停电对线锯正常运行的影响,线锯这类硅片切割设
备都设有不间断电源(Uninterruptiable P ower Supply, UPS ), 在市电停电时, UPS自动启动,转入由UPS的电池组为硅片切割设备供电。
然而问题在于,UPS的电池组仅能提供线锯5 10分钟的用电量,如果设 备操作人员不知道停电,那么在电池组的电量耗尽后将突然断电,在这种情 况下,线锯突然停止运行,导致切割硅片的钢线发生断线,造成生产的停滞, 即使重新焊好钢线,恢复供电时线锯重新开机,因原来的钢线留有焊点,该 焊点将引起切割过程中对硅片的损伤,从而降低硅片等级。

实用新型内容
本实用新型的解决的问题是提供一种停电报警装置,能够防止当市电停 电而转由UPS供电后,UPS的电量耗尽导致切割钢线断线故障的发生,进而 避免因焊接断线的焊点而降低硅片等级。
本实用新型的解决的另一问题是提供一种UPS供电装置,能够防止因 UPS的电池组电量耗尽而突然停电所导致的故障。
本实用新型的解决的又一问题是提供一种硅片加工设备,能够提醒操作 人员安全、及时停止设备运行,以防止突然断电引起的故障发生。为解决上述问题,本实用新型提供一种停电报警装置,包括控制器和
报警器;其中,
所述控制器的输入端分别连接市电的输出端和UPS的输出端;
所述才艮警器的输入端连接所述控制器的输出端。
所述控制器包括第一开关部件,第二开关部件,接触器;其中,
市电的输出端经所述第 一开关部件接入所述接触器的电磁线圈;
UPS的输出端经所述第二开关部件接入所述接触器的常闭触点的 一端, 所述接触器的常闭触点的另 一 端连接所述报警器的输入端。
所述第一开关部件和/或所述第二开关部件为DZ47D5型空开。
所述接触器为CJX2型接触器。
所述报警器为声光报警器。
所述控制器和净艮警器之间的连4妻釆用屏蔽信号线。
相应的,本实用新型还提供一种UPS供电装置,包括上述任一停电报警 装置。
相应的,本实用新型还提供一种硅片加工设备,包括上述任一停电报警 装置。
与现有技术相比,上述技术方案具有以下优点
所述的停电报警装置在市电停电而转由UPS供电后,通过控制器检测到 停电状态,由报警器提醒操作人员按照正常操作规程使硅片切割设备安全的 停机,从而能够防止UPS的电量耗尽导致切割钢线断线故障的发生,进而避 免因焊接断线的焊点而降低硅片等级。
另外,所述的停电报警装置结构简单,使用的材料少而使成本较低,能 同时提供声、光两种报警信息,可靠性更好。
所述UPS供电装置在市电停电时,能够发出报警信号,提醒操作人员采 取必要的措施,防止因UPS的电池组电量耗尽而突然停电所导致的故障。所述硅片加工设备当市电停电时,UPS转入由电池组供电,所述停电报 警装置发出报警信息,提醒操作人员安全、及时停止设备运行,以防止突然 断电引起的故障发生。


通过附图所示,本实用新型的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。 在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按实际尺寸等比例 缩放绘制附图,重点在于示出本实用新型的主旨。
图1为本实用新型的实施例中停电报警装置的示意图; 图2为本实用新型的实施例中停电报警装置的电路结构图。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合 附图对本实用新型的具体实施方式
做详细的说明。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型,但是 本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施,因此本实用 新型不受下面公开的具体实施例的限制。
其次,本实用新型结合示意图进行详细描述,在详述本实用新型的实施 例时,为便于说明,表示装置结构的剖面图会不依一般比例作局部放大,而 且所述示意图只是示例,其在此不应限制本实用新型保护的范围。此外,在 实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。
为突出本实用新型的特点,附图中没有给出与本实用新型的发明点必然 直接相关的部分。
目前的切割^5圭片所采用的线锯在市电4f电时转由UPS的电池组供电,而
电池组的电量毕竟有限,如果线锯的操作人员不知道停电状况,仍然不停机
继续进行切割,则当UPS的电池组电量耗尽时,线锯会突然停机,切割钢线
瞬间停止移动,导致断线故障发生,这种故障不仅影响生产效率,而且即使 重新焊好钢线,仍会留有焊点,该焊点将引起切割过程中对硅片的损伤,从而降低硅片等级。
基于此,本实用新型通过停电报警装置在市电停电并转由UPS供电时,
向操作人员发出报警信号,以便使硅片切割设备安全的停机,防止断线故障 的发生。
以下结合附图详细说明停电报警装置的实施例。 图1为本实施例中停电报警装置的示意图。
所述停电报警装置10,包括控制器11和报警器12;其中,所述控制 器11的输入端分别连接市电的输出端和UPS的输出端;所述l艮警器12的输 入端连接所述控制器11的输出端。
UPS通过变压器与线锯连接,线锯上的钢线用来切割硅片。市电正常时, UPS处于待机状态,由市电给线锯供电,当市电停电时,UPS自动启动,转 入由电池组为线锯供电,此过程中由于供电没有间断,线锯一直处于正常工 作状态。
上述停电报警装置IO在市电停电的瞬间,控制器11检测到市电停电的 状态,然后向报警器发出停电信号,报警器收到所述停电信号后,发出声光 报警信息,以提示操作人员及时、正常的结束切割操作,使线锯停机,避免 UPS的电池组电量耗尽使线锯突然停机而引起断线故障的发生,不仅可以预 防维修断线导致生产的停滞,而且能够避免焊接断线的焊点使硅片切割的质
量下降。
具体的,图2为所述停电报警装置的电路结构图。参见图2:
停电报警装置包括控制器11和报警器12;所述控制器包括第一开关 部件QS1,第二开关部件QS2,接触器KM;其中,
市电的输出端经所述第一开关部件QS1接入所述接触器KM的电磁线圈 KM1;
UPS的输出端经所述第二开关部件QS2接入所述接触器KM的常闭触点 KM1的一端,所述接触器KM的常闭触点KM2的另一端连接所述报警器12 6的丰lr入端。
优选的,所述第一开关部件QS1和/或所述第二开关部件QS2为DZ47D5 型空开。
优选的,所述接触器KM为CJX2型接触器。
优选的,所述报警器12为声光报警器。
所述控制器11和报警器12之间的连接采用l.O屏蔽信号线。
具体的电路连接方案为从UPS上取220伏电源经空开QS1控制接触器 线圏KM1,在UPS输出端取220伏电源经空开QS2接在接触器常闭触点KM2 的一端上,而常闭触点KM2的另一端经导线接在位于线锯(例如Nippei Toyama Corpration出品的NTC线锯)附近的声光报警器12。
上述停电"l艮警装置的工作原理为市电正常供电时,空开QS1、 QS2均 闭合,接触器线圏KM1通电,磁铁吸合使常闭触点KM2打开,声光报警器 12没电;当市电停电时,UPS启动,4妄触器线圏KM1失电,常闭触点KM2 闭合,由于UPS已自动供电,此时声光报警器12通电而发出声光报警信息。
所述的停电报警装置在市电停电而转由UPS供电后,提醒操作人员按照 正常操作规程使硅片切割设备安全的停机,能够防止UPS的电量耗尽导致切 割钢线断线故障的发生,进而避免因焊接断线的焊点而降低硅片等级。
另外,所述的停电报警装置结构简单,使用的材料少而使成本较低,能 同时提供声、光两种报警信息,可靠性更好。
相应的,本实用新型还提供一种UPS供电装置,包括以上实施例所述的 停电报警装置,所述UPS供电装置包括具有电池组的UPS,控制器和报警 器,三者的组成和连接关系与以上实施例相同,不再——说明。
该UPS供电装置在市电停电而转入电池组供电时,能够发出报警信号, 提醒操作人员采取必要的措施,防止因UPS的电池组电量耗尽而突然停电所 导致的故障。
相应的,本实用新型还提供一种硅片加工设备,包括以上实施例所述的电池组的UPS。
该硅片加工设备可以是上述实施例中所述的线锯,也可以为其他类型的 硅片加工设备,例如,硅片抛光设备。硅片研磨设备等,当市电停电时,UPS 转入由电池组供电,所述停电报警装置发出报警信息,提醒操作人员安全、 及时停止设备运行,以防止突然断电引起的故障发生。
以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例而已,并非对本实用新型作任 何形式上的限制。
虽然本实用新型已以较佳实施例披露如上,然而并非用以限定本实用新 型。任何熟悉本领域的技术人员,在不脱离本实用新型技术方案范围情况下, 都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案作出许多可能的 变动和修饰,或修改为等同变化的等效实施例。因此,凡是未脱离本实用新
单修改、等同变化及修饰,均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。
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权利要求1、一种停电报警装置,其特征在于,包括控制器和报警器;其中,所述控制器的输入端分别连接市电的输出端和UPS的输出端;所述报警器的输入端连接所述控制器的输出端。
2、 根据权利要求1所述的停电报警装置,其特征在于,所述控制器包括 第一开关部件,第二开关部件,接触器;其中,市电的输出端经所述第 一开关部件接入所述接触器的电磁线圏;UPS的输出端经所述第二开关部件接入所述接触器的常闭触点的一端, 所述接触器的常闭触点的另 一端连接所述报警器的输入端。
3、 根据权利要求2所述的停电报警装置,其特征在于,所述第一开关部 件和/或所述第二开关部件为DZ47D5型空开。
4、 根据权利要求2所述的停电报警装置,其特征在于,所述接触器为 CJX2型接触器。
5、 根据权利要求1所述的停电报警装置,其特征在于,所述报警器为声 光报警器。
6、 根据权利要求1所述的停电报警装置,其特征在于,所述控制器和报 警器之间的连接采用屏蔽信号线。
7、 一种UPS供电装置,其特征在于,包括如权利要求1至6任一项所述 的停电报警装置。
8、 一种硅片加工设备,其特征在于,包括如权利要求1至6任一项所述 的停电报警装置。
专利摘要本实用新型提供一种停电报警装置、UPS供电装置和硅片加工设备,所述停电报警装置包括控制器和报警器;其中,所述控制器的输入端分别连接市电的输出端和UPS的输出端;所述报警器的输入端连接所述控制器的输出端。所述的停电报警装置在市电停电而转由UPS供电后,通过控制器检测到停电状态,由报警器提醒操作人员按照正常操作规程使硅片切割设备安全的停机,从而能够防止UPS的电量耗尽导致切割钢线断线故障的发生,进而避免因焊接断线的焊点而降低硅片等级。
文档编号H02J7/00GK201374574SQ20092000037
公开日2009年12月30日 申请日期2009年2月12日 优先权日2009年2月12日
发明者王彦辉, 程东军 申请人:英利能源(中国)有限公司
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