专利名称：线性电动机、元件安装装置及元件检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及线性电动机、元件安装装置及元件检查装置，更详细而言，涉及适合于 用以升降驱动元件吸附用吸嘴的驱动机构的线性电动机、以及利用该电动机来驱动元件保 持部件的元件安装装置及元件检查装置。
背景技术：
线性电动机应用于各种产业机械，也使用于将电子元件搬送到基板上并予以安装 的元件安装装置。例如，该元件安装装置中，线性电动机被应用于用以升降驱动元件吸附用 吸嘴的驱动机构。所述线性电动机例如如专利文献1所示，包括励磁子，沿一方向排列有表面侧的 磁极交替地互为不同的永磁铁；电枢，与该励磁子相对设置，具备卷绕有线圈的芯部。该线 性电动机以励磁子和电枢其中一者作为定子，以另一者作为动子，对应于对所述线圈的通 电控制，使所述动子相对于定子沿永磁铁的排列方向直线移动。在使线性电动机产生恰当的推进力方面上，定子与动子之间设定所定尺寸的间隙 便为重要。为了形成所述间隙，以往是将垫片等插入定子和动子之间，在进行两者间的间隙 调整后将定子和动子予以固定的。然而，当构成定子或动子的电枢的芯部与励磁子的永磁 铁之间的磁吸引力较强时，会因垫片变形而不能获得所望的间隙，或因垫片被牢固地夹在 芯部与永磁铁之间而不能在组装后将其拔出等，从而难以在精度良好地确保间隙的情况下 组装定子和动子。专利文献1 日本专利公开公报特开2005-253259号
发明内容
本发明的目的在于提高具有精密的所述间隙的线性电动机的组装性。本发明的别的目在于当线性电动机适用于元件安装装置或元件检查装置时，提高 元件安装装置或元件检查装置的组装性。本发明的线性电动机包括励磁子和电枢，通过在向所述电枢供电时在该电枢与所 述励磁子之间产生的磁通的相互作用来形成使所述励磁子和所述电枢沿所定的一轴向相 对变位的力，该线性电动机还包括定子，由所述励磁子和所述电枢其中一者构成；动子， 由所述励磁子和所述电枢其中另一者构成；机架构件，规定所述一轴向；导轨，引导所述动 子仅沿直线方向往返移动；第1定位部，设置在所述机架构件上，将所述定子的所述机架构 件上的固定位置予以定位；第2定位部，设置在所述机架构件上，将所述导轨的所述机架构 件上的固定位置予以定位，以便所述动子在其与被所述第1定位部定位的所述定子之间形 成所定尺寸的间隙的状态下沿所述一轴向往返移动。根据该线性电动机的结构，定子以被第1定位部定位的状态固定于机架构件。另 外，组装有动子的导轨以被第2定位部定位的状态固定于机架构件。由此，定子沿一轴向被
4固定于机架构件，并且动子在其与该定子之间形成所定尺寸的间隙的状态下沿一轴向可往 返移动地被安装。因此，在组装定子和动子之际，可以简单地且迅速地进行电动机的组装而 无需进行以往那样的利用垫片的间隙调整。本发明的元件安装装置，是由线性电动机升降驱动元件保持部件的元件安装装置。另外，本发明的元件检查装置，是由线性电动机升降驱动元件保持部件的元件检
查装置。根据本发明的线性电动机，在组装定子和动子之际，可以简单地且迅速地进行电 动机的组装而无需进行以往那样的利用垫片的间隙调整。另外，根据搭载有这样的线性电 动机的本发明所涉及的元件安装装置及元件检查装置，可以获得上述效果，因此，可以提高 包含线性电动机的组装步骤的装置整体的组装性。本发明的其他结构、作用效果，通过以下的附图以及所说明的实施方式进一步得 以明确。
图1是表示应用有本发明的线性电动机的元件安装装置(本发明的元件安装装 置)的概略结构的俯视图。图2是表示头部组件的具体结构的正视图。图3是表示搭载于头部组件上的头部的结构的侧视图(沿图2的III-III线的向视 图)。图4是表示头部的结构的正视图。图5是表示头部的结构的分解立体图。图6是说明各头部安装到头部组件上的安装方法的立体图。
具体实施例方式以下，参照附图详细说明用以实施本发明的优选实施方式。图1是表示应用有本发明的线性电动机的元件安装装置(本发明的元件安装装 置)的概略结构的俯视图。本说明所使用的附图(包括图1)中，为了明确表示各图的方向 关系示出了 XYZ直角坐标轴。如图1所示，元件安装装置的基座10上设置有作为基板搬送机构的传送带12，通 过该传送带12，印刷基板P(以下简称为基板P)从该图的右侧被搬向左侧，以搬入到所定的 作业位置(该图的假想线所表示的基板P的位置)。在作业位置的下方区域设置有基板支 撑装置11，该基板支撑装置11在安装作业中通过支撑销支撑基板P。所述传送带12的宽度两侧(图1中为上下两侧)分别设置有送料器设置区域 13，在这些送料器设置区域13中，例如带式送料器14等元件供给装置沿传送带12并列设 置。各带式送料器14保持着卷绕有料带的卷盘，该料带按所定的间隔收纳、保持集成电路 (IC)、晶体管、电阻、电容等小片状的芯片元件。该带式送料器14通过将所述料带从所述卷 盘中送出而将元件供给到送料器远端的元件供给位置，由头部组件15取出元件。所述基座10的上方设置有元件安装用的所述头部组件15。该头部组件15从所述带式送料器14中将元件吸附并搬送到基板P处，之后安装到基板P上的所定位置，其在所 定的水平面区域上可以在X轴方向(由传送带12搬送基板P的搬送方向)及与该X轴方 向正交的Y轴方向移动。即，头部组件15可移动地被支撑于沿X轴方向延伸的头部组件支 撑部件18。此外，该头部组件支撑部件18，其两端部支撑于沿Y轴方向延伸的固定导轨17， 从而可沿该固定导轨17在Y轴方向上移动。此外，头部组件15基于X轴伺服电动机20的 驱动，通过滚珠丝杠21沿X轴方向被驱动，另一方面，头部组件支撑部件18基于Y轴伺服 电动机22的驱动，通过滚珠丝杠23沿Y轴方向被驱动。如图2所示，头部组件15中搭载有多个用以将元件保持并予以搬送的头部16，本 实施方式中，共10个头部16沿X轴方向设置成列状。各头部16具有沿Z轴方向(上下方 向)延伸的驱动轴34，该驱动轴34的远端(下端)上安装有元件吸附用的吸嘴35。吸嘴 35通过驱动轴34的内部通路及图略的切换阀等与负压发生装置连接，在吸附元件时，负压 吸引力从所述负压发生装置供给到吸嘴远端，由此，可以吸附、保持元件。本实施方式中，该 驱动轴34及吸嘴35相当于本发明的元件保持部件。吸嘴35(驱动轴34)可以相对于头部组件15升降(沿Z轴方向的移动)以及围 绕吸嘴中心轴(R轴)旋转，通过升降驱动机构及旋转驱动机构而被驱动。这些驱动机构中 的升降驱动机构一一地被组装入各头部16中。有关包含升降驱动机构在内的各头部16的 结构以及吸嘴35的旋转驱动机构的结构，稍后进行说明。头部组件15上搭载有基板摄像组件24。该基板摄像组件24由具备CXD等摄像器 件的区域相机及照明装置等构成，以朝下的姿势固定于头部组件15，能够拍摄被搬入到作 业位置的基板P上的各种标记。另外，如图1所示，所述基座10上设置有用以拍摄被吸附于头部组件15的各头部 16 (吸嘴35)上的元件的元件摄像组件25。该元件摄像组件25也与所述基板摄像组件24 同样地由具备区域相机及照明装置等构成，以朝上的姿势固定于基座10。由此，在元件吸附 后，头部组件15配置到元件摄像组件25上方时，可由元件摄像组件25拍摄被各头部16吸 附的元件。下面，对头部组件15及各头部16的具体结构进行说明。所述头部组件15上搭载有如上所述的10个头部16。从X轴方向看，各头部16为 扁平的单元化部件，如图2所示，其以沿X轴方向10个并列设置的状态一体地固定于头部 组件15。图3至图5表示所述头部16的具体结构，其中，图3是侧视图(沿图2的III - III 线的向视图)，图4是正视图，图5是分解立体图，分别表示头部16。另外，为方便起见，图 5中省略了驱动轴34等部分部件。所述头部16主要包括所述驱动轴34，在下端部具备所述吸嘴35 ；线性电动机， 沿Z轴方向驱动该驱动轴34和吸嘴35等；回位弹簧48，赋予吸嘴35等向上方的势能力。线性电动机包括机架30(相当于本发明的机架构件)；线性导向机构32，组装于 机架30中；线性电动机主体40，具有定子42及动子44，其中所述定子42设置于机架30，所 述动子44设置于线性导向机构32并沿Z方向一体地驱动所述驱动轴34。所述驱动轴34、 回位弹簧48等组装于该线性电动机中，由此，头部16被单元化。于是，吸嘴35 (驱动轴34) 通过线性电动机而沿Z轴方向被驱动，在线性电动机的停止时，吸嘴35通过回位弹簧48赋予势能的力被保持在上方位置。所述机架30是在底板301的周围局部上具备侧壁部302的从X轴方向看为扁平 的盘状的部件，由施以表面处理的铝合金等构成。线性导向机构32包括导轨321，沿Z轴方向延伸；多个滑块322、322，沿Z轴方 向滑动自如地且在与Z轴方向正交的方向上不能移动地安装在所述导轨321上。所述导轨 321通过螺栓被固定于底板301从而被组装入机架30中。于是，所述驱动轴34通过稍后详 述的线性电动机主体40的动子44而沿Z轴方向被引导。线性电动机主体40的定子42由电枢构成，其包含梳形的芯部421，具有在Z轴 方向(动子44的移动方向)上隔开间隔而并列设置的多个齿(teeth)；多个线圈422，安装 于芯部421的各齿上；一对副齿(sub-teeth) 423、423，与芯部421为分体。芯部421及副 齿423、423通过螺栓分别固定在底板301上。如图3所示，副齿423、423在Z轴方向上以 与线圈422的组的两端并列的状态固定在底板301上。这些副齿423、423通过在电动机驱 动时辅助芯部421的两端的磁通形成来减低所谓的齿槽力。本实施方式中，副齿423、423 设置成与芯部421为分体，当然，其也可以设置成与芯部421为一体。线性电动机主体40的动子44由励磁子构成，其与定子42在Y轴方向相对地横向 并列设置。动子44包括沿Z轴方向延伸的剖面呈“ 二 ”形的滑动基体441 ；固定在该滑动 基体441的侧面(与定子42相对的面)上的磁轭443 ；通过该磁轭443排列在滑动基体441 上的多个永磁铁442。具体而言，Y轴方向上的定子42侧为N极、定子44侧为S极的永磁 铁442，与Y轴方向上的定子42侧为S极、动子44侧为N极的永磁铁442沿Z轴方向交替 地排列。另外，由于该动子44(的滑动基体441)固定在线性导向机构32的滑块322上，于 是，动子44仅沿Z轴方向可往返移动地组装于机架30中，当来自图外的线性驱动控制部的 所定的驱动信号被送给所述线性电动机主体40的定子42时，其以对应于该驱动信号的方 向及速度沿Z轴方向被驱动。定子42和动子44以它们之间(准确而言为梳形的芯部421的动子侧的端部与永 磁铁442的定子侧的表面之间)形成有所定的间隙的状态固定于机架30。本实施方式以极为简洁的方式就能够精密地形成该间隙。详细而言，所述底板301上一体地形成有具有定子定位用的基准面304的一对突 部303、303(相当于本发明的第1定位部)，而在定子42的所述芯部421的两端一体地形 成有与各突部303、303对应的沿Z轴方向(齿的排列方向)延伸设置的一对延伸部421a、 421a。芯部421的各延伸部421a的所述动子44侧的面与对应的各突部303、303的基准面 304抵接，在此状态下，经由芯部421中形成的通孔而被插入的螺栓425螺合到底板301的 螺孔301a中。由此，所述定子42以精密地定位于底板301上所设定的所定的固定位置的 状态，被组装在机架30上。另外，所述机架30的底板301上一体地形成有动子定位用的突条305 (相当于本 发明的第2定位部)，该突条305的定子侧的相反侧(图3中为右侧)，与所述导轨321的 所述定子42侧抵接，在此状态下，经由该导轨321上形成的通孔而被插入的螺栓325螺合 到底板301的螺孔301b中。由此，所述动子44通过线性导向机构32以在Y轴方向上被定 位的状态，被组装在机架30上。不过，也可在将导轨321组装到底板301上后，将所述动子 44组装到滑块322的规定位置上，或预先将所述动子44组装在滑块322上后，将导轨321
7组装到底板301上。这样，所述定子42及所述动子44以分别被定位的状态被安装在机架30上，由此， 在定子42和动子44之间形成有在Y轴方向上的所定尺寸的间隙。另外，图中符号323是 限制滑块322在Z轴方向的移动的限制器，此外，符号324是限制所述动子44(的滑动基体 441)在Z轴方向的移动的限制器，它们分别通过螺栓被固定在底板301上。驱动轴34被安装在具备如上结构的线性电动机的所述动子44上。具体而言，在 所述滑动基体441的下端部分上，固定有在所述定子42的下方位置沿Y轴方向延伸的安装 臂37，驱动轴34通过轴支撑部件36安装在该安装臂37的下侧面。驱动轴34由空心轴构成，通过未图示的花键机构等，可在轴方向上变位地而且可 相对于轴支撑部件36而围绕轴中心(围绕R轴)旋转自如地被支撑。轴支撑部件36上形 成有负压导入用的端口 361及图外的负压通路，驱动轴34通过这些端口 361等与所述负压 发生装置连接。回位弹簧48设置于线性电动机主体40上在Y轴方向上隔着所述定子42位于与 线性导向机构32侧相反侧的位置。该回位弹簧48安装于Z轴方向上所述机架30的上端 部分至所述安装臂37的范围，通过安装臂37及轴支撑部件36，赋予所述驱动轴34向上的 势能力。头部16上组装有磁传感器45，作为用以检测动子44及驱动轴34 (吸嘴35)的位 置的位置检测传感器。即，如图5所示，线性电动机主体40的所述动子44上，沿滑动基体 441固定有磁性地记录标度的板状的磁标尺46。另一方面，机架30上，在设于所述底板301 上的传感器支撑部306上安装有MR传感器或霍尔式传感器等磁传感器45，通过由该磁传感 器45来读取磁标尺46，能够测出动子44及驱动轴34(吸嘴35)的位置。另外，图中符号 451是覆盖磁传感器45的控制基板等的盖部件。如此构成的10个头部16，以回位弹簧48位于头部组件15的前面侧(X轴方向上 定子42的与头部组件支撑部件18侧相反侧)的状态相互沿X轴方向被层叠，一体地被固 定。更详细而言，所述突部303上的线性导向机构32等的安装面侧突出设置有一对定位销 310、310，而在另一面侧，在机架30的层叠方向(X轴方向)上，穿设有与各定位销310同心 对应的图外的定位孔，通过将层叠方向下层侧(在X轴方向上，线性导向机构32等的安装 面被覆盖的一侧)的头部16上设置的所述定位销310、310插入到相对该层叠方向下层侧 的头部16而邻接的上层侧(在X轴方向上，覆盖线性导向机构32等的安装面的一侧)的 头部16的定位孔中，由此各头部16以相互被定位的状态沿X轴方向层叠。此外，该被层叠 的头部16的组，由一对安装用机架15b从X轴方向的两侧夹持，由螺栓151、螺帽152经由 形成在各机架30中的通孔312，将安装用机架15b及头部16的组一体地予以固定，从而将 两安装用机架15b定位固定于头部组件15的主体机架15a上。由此，10个头部16 —体地 被固定于所述头部组件15上。固定在头部组件15上的各头部16的驱动轴34如图2所示，由设于主体机架15a 上的保持部15c所保持。吸嘴轴34的旋转驱动机构包括将驱动轴34可围绕Z轴旋转自如地予以支撑的 所述保持部15c ；固定在所述主体机架15a上的驱动电动机(旋转形电动机)26、26。另外， 来自驱动电动机26、26的驱动轮(图示省略)的旋转驱动力，通过图外的驱动皮带等被传递给各驱动轴34。在具备如上结构的元件安装装置中，元件的安装如下述那样进行。参照图1进行说明。首先，头部组件15移动到送料器设置区域13，进行由各头部 19实施的元件吸附。具体而言，所定的头部16被设置到带式送料器14的上方后，驱动轴 34被线性电动机升降驱动，由此，吸嘴35下降，将料带内的元件吸附取出。此时，在可能的 情况下，多个头部16同时地进行元件的取出。元件的吸附结束后，头部组件15沿所定的路 径，经由元件摄像组件25的上方之后，移动到基板P上。在该移动中，各头部16(吸嘴35) 吸附元件的吸附状态被图像识别，以算出安装时的修正量。当头部组件15到达基板P上的 最初的安装位置后，驱动轴34被线性电动机升降驱动，元件被安装到基板P上，之后，头部 组件15依次移动到安装位置，以将余下的吸附元件安装到基板P上。以上的涉及本发明的元件安装中，头部16构成为由线性电动机式驱动机构升降 驱动吸嘴35 (驱动轴34)，若构成各头部16的所述线性电动机如上所述地在一方面使定子 42 (的芯部421上形成的延伸部421a、421a的定子侧的面)与突部303、303抵接而另一方 面使例如预先组装有动子44的线性导向机构32(导轨321的动子侧的面)与突条305抵 接的状态下被固定于机架30，则在定子42与动子44之间便会形成所定尺寸的间隙。该组 装过程中，延伸部421a、421a的向接近动子44侧方向的变位被突部303、303限制，并且导 轨321的向接近定子42侧方向的变位被突条305限制，在此状态下，利用芯部421与永磁 铁442的磁吸引力，可以使两者相互吸引，因此，在这些定子42及动子44之间形成的间隙 其精度也会提高。另外，由于利用机架30上形成的突部303、303和突条305等来实现定子 42、动子44等的定位，因此，在进行将定子42及动子44组装到机架30上之际，可恰当地确 保所定尺寸的所述间隙，而无需进行以往那样的基于垫片的间隙调整，因此，可以简单地且 迅速地进行线性电动机的组装亦即该实施方式中的头部16的组装。而且，由于所述线性电动机采用在Y轴方向上使延伸部421a、421a的动子44侧与 突部303、303抵接来定位该定子42并使导轨321的定子42侧与突条305抵接来定位动子 44的结构，因此，可以在限制定子42及动子44的沿互相接近方向的变位的情况下，利用芯 部421与永磁铁442的磁吸引力使两者相互吸引。因此，在组装中，可防止因芯部421与永 磁铁442的磁吸引力造成定子42与动子44不经意地吸附的情形，进一步提高组装精度。此外，该元件安装装置中如上所述，由于头部组件15上搭载有10个头部16，因此 如上所述，头部16 (线性电动机)的组装性良好，包含线性电动机的组装步骤的装置整体的 组装性也相应地良好。另外，由于还能够抑制各头部16间的所述间隙的偏差，因此，在各头 部16间能够进行更为等同的吸嘴升降动作。因此，具有以下优点可以预先排除因各头部 16的动作的偏差所造成的问题，例如在按照共通的控制程序驱动控制各头部16的情况下， 基于部分的头部16的吸嘴升降动作出现的偏差而易于产生元件的吸附不良或安装不良等 问题。以上所说明的元件安装装置是将本发明的线性电动机予以应用的元件安装装置 (本发明所涉及的元件安装装置)的优选实施方式一个例子，其具体结构是可以在不脱离 本发明主旨的范围内进行适当的变更的。例如，所述实施方式的线性电动机中，在芯部421的齿的排列方向两端一体地形 成有延伸部421a，通过使两延伸部421a与形成在底板301上的一对突部303、303分别抵
9接，由此使定子42定位于机架30，不过，也可以例如采用如下的结构在底板301上形成定 位用的凹部而在芯部421中的与该底板301重合的面上设置凸部，通过使该凸部嵌合于所 述凹部来定位定子42。但是，根据所述实施方式的定位结构，由于可以在线圈422外侧的部 分定位定子42，因此，可以恰当地定位定子42而不会对定子42和动子44之间的磁通形成 产生影响，另外，由于较具刚性的芯部421是被定位的部分，因此，难以伴生变形等，因而定 位的可靠性高。另外，所述实施方式的线性电动机中，采用了使定子42从突部303的动子44侧的 相反侧与该突部303抵接并使导轨321从突条305的定子侧的相反侧与该突条305抵接来 定位定子42及动子44的结构，当然，定子42及导轨321 (线性导向机构32)与这些作为第 1及第2定位部的突部303、303、突条305等抵接的方向，只要能够恰当地将定子42及动子 44予以定位，并没有特别的限制。另外，在实施方式的说明中虽然没有提及但定子42的芯部421在所述实施方式中 具有如下结构板状的多个单位构成件沿与所述齿的排列方向正交的方向(X轴方向)层 叠。为此，基于在保持芯部整体的一体性的情况下稳定地且牢固地将定子42固定于机架30 上的观点，而通过在芯部上形成沿所述层叠方向(X轴方向)穿通的通孔，并通过经由该通 孔而插入的螺栓425螺合于底板301的螺孔301a中来将所述定子42固定于机架30。因 此，当芯部421为一体成形的块状的部件时，例如也可以在芯部421的延伸部421a上形成 沿Y轴方向穿通的通孔，通过将经由该通孔而插入的螺栓螺合于所述突部303中来将所述 定子42固定于机架30。另外，所述实施方式的线性电动机中，在机架30上作为第1及第2定位部一体形 成有突部303及突条305，不过，例如突部303及突条305也可以是与机架30为分体设置的 部件，并由螺栓等固定手段固定于机架30。但是，基于定位的可靠性的观点，较为理想的是 如实施方式那样，突部及突条与机架30 —体形成。另外，所述实施方式中，将元件安装装置在本发明中的应用作为例子进行了说明， 不过，本发明的应用对象并不限于元件安装装置，本发明也可以应用于例如具有以下结构 的元件检查装置包括可移动的头部组件，该头部组件中搭载有可保持元件的元件保持部 件，通过具有线性电动机的驱动机构使元件保持部件相对于头部组件被升降驱动，由此，进 行从元件供给部的元件取出以及在所定的检查部中的元件入出。本发明的线性电动机包括励磁子和电枢，通过在向所述电枢供电时在该电枢与所 述励磁子之间产生的磁通的相互作用来形成使所述励磁子和所述电枢沿所定的一轴向相 对变位的力，该线性电动机还包括定子，由所述励磁子和所述电枢其中一者构成；动子， 由所述励磁子和所述电枢其中另一者构成；机架构件，规定所述一轴向；导轨，引导所述动 子仅沿直线方向往返移动；第1定位部，设置在所述机架构件上，将所述定子的所述机架构 件上的固定位置予以定位；第2定位部，设置在所述机架构件上，将所述导轨的所述机架构 件上的固定位置予以定位，以便所述动子在其与被所述第1定位部定位的所述定子之间形 成所定尺寸的间隙的状态下沿所述一轴向往返移动。根据该线性电动机的结构，定子以被第1定位部定位的状态固定于机架构件。另 外，组装有动子的导轨以被第2定位部定位的状态固定于机架构件。由此，定子沿一轴向被 固定于机架构件，并且动子在其与该定子之间形成所定尺寸的间隙的状态下沿一轴向可往这样，由于利用形成在机架构件上的第1及第2定位部将定子和动子的 固定位置予以定位，因此，在组装定子和动子之际，可以简单地且迅速地进行线性电动机的 组装而无需进行以往那样的利用垫片的间隙调整。上述结构中较为理想的是，所述第1定位部通过与所述定子的动子侧的面抵接来 将该定子定位于所述机架构件，所述第2定位部通过与所述导轨的定子侧的面抵接来将所 述动子定位于所述机架构件。根据该结构，第1及第2定位部可以在限制定子及动子沿相互接近方向的变位的 情况下，利用构成定子或动子的励磁子与所述电枢之间的磁吸引力使两者相互吸引。因此， 可防止在组装中因磁吸引力造成定子与动子不经意地吸附的情形。因此，可极为容易地进 行组装。而且通过磁吸引力使定子与动子相互吸引，定子及动子可切实地与各定位部抵接， 其结果，所形成的间隙的尺寸精度也自然地被提高。上述结构中较为理想的是，所述动子由沿所述一轴向并列有多个磁铁的所述励磁 子构成，各所述磁铁的与所述定子相对侧的面的表面极性与其相邻的磁铁交替地互为不 同，所述定子由所述电枢构成，该电枢具有沿所述一轴向并列有多个齿的芯部，该芯部的所 述齿上安装有线圈，所述芯部的齿的并列方向两端设有一对延伸部，该一对延伸部成对地 形成在该一轴向两端上且沿该一轴向延伸，所述第1定位部是一对突部，该一对突部在所 述一轴向上隔开所定间隔设置，在组装时分别与所述一对延伸部的动子侧的面抵接来将所 述定子定位于所述机架构件。如此在芯部的两端设置一对延伸部，并将这些延伸部的动子侧的面与作为第1定 位部的一对突部抵接，可以使线圈部分处于两突部之间的空间，在线圈部分的外侧将定子 予以定位，因此，可以恰当地定位定子而不会对定子和动子之间的磁通形成造成影响，另 外，由于较具刚性的芯部是被定位的部分，因此，难以伴生变形等，因而定位的可靠性高。上述结构中较为理想的是，所述芯部通过将板状的多个构成件沿与所述一轴向正 交且与所述齿的长度方向正交的层叠方向层叠而构成，该芯部中形成有沿所述构成件的层 叠方向穿通的通孔，通过将螺栓插通所述通孔并螺合于所述机架构件，所述定子被固定于 所述机架构件。作为将定子固定于机架构件的具体方法，可以利用各种各样固定方法，不过，当采 用板状的多个构成件沿与一轴向及所述齿的长度方向正交的层叠方向被层叠的结构时，利 用上述那样的固定结构，可以在保持芯部整体的一体性的情况下稳定地且牢固地将定子固 定于机架30。此外，各定位部也可以是与所述机架构件为分体形成的部件，并由螺栓等固定于 该机架构件，不过，为了提高定位的可靠性，所述第1定位部及所述第2定位部与所述机架 构件一体成形。本发明的元件安装装置，包括元件保持部件、升降驱动该元件保持部件的驱动机 构，随所述元件保持部件的升降动作而进行从元件供给位置的元件取出以及在基板上的元 件安装，其中，所述驱动机构具有上述的线性电动机。本发明的元件检查装置，包括元件保持部件、升降驱动该元件保持部件的驱动机 构，随所述元件保持部件的升降动作而进行从元件供给位置的元件取出以及在所定的检查 部中的元件入出，其中，所述驱动机构具有上述的线性电动机。
1权利要求
一种线性电动机，其特征在于包括励磁子和电枢，通过在向所述电枢供电时在该电枢与所述励磁子之间产生的磁通的相互作用来形成使所述励磁子和所述电枢沿所定的一轴向相对变位的力，所述线性电动机还包括定子，由所述励磁子和所述电枢其中一者构成；动子，由所述励磁子和所述电枢其中另一者构成；机架构件，规定所述一轴向；导轨，引导所述动子仅沿直线方向往返移动；第1定位部，设置在所述机架构件上，将所述定子的所述机架构件上的固定位置予以定位；第2定位部，设置在所述机架构件上，将所述导轨的所述机架构件上的固定位置予以定位，以便所述动子在其与被所述第1定位部定位的所述定子之间形成所定尺寸的间隙的状态下沿所述一轴向往返移动。
2.根据权利要求1所述的线性电动机，其特征在于所述第1定位部通过与所述定子的动子侧的面抵接来将该定子定位于所述机架构件， 所述第2定位部通过与所述导轨的定子侧的面抵接来将所述动子定位于所述机架构件。
3.根据权利要求1所述的线性电动机，其特征在于所述动子由沿所述一轴向并列有多个磁铁的所述励磁子构成，各所述磁铁的与所述定 子相对侧的面的表面极性与其相邻的磁铁交替地互为不同，所述定子由所述电枢构成，该电枢具有沿所述一轴向并列有多个齿的芯部，该芯部的 所述齿上安装有线圈，所述芯部的齿的并列方向两端设有一对延伸部，该一对延伸部成对地形成在该一轴向 两端上且沿该一轴向延伸，所述第1定位部是一对突部，该一对突部在所述一轴向上隔开所定间隔设置，在组装 时分别与所述一对延伸部的动子侧的面抵接来将所述定子定位于所述机架构件。
4.根据权利要求3所述的线性电动机，其特征在于所述芯部通过将板状的多个构成件沿与所述一轴向正交且与所述齿的长度方向正交 的层叠方向层叠而构成，该芯部中形成有沿所述构成件的层叠方向穿通的通孔，通过将螺 栓插通所述通孔并螺合于所述机架构件，所述定子被固定于所述机架构件。
5.根据权利要求4所述的线性电动机，其特征在于 所述第1定位部及所述第2定位部与所述机架构件一体成形。
6.一种元件安装装置，包括元件保持部件、升降驱动该元件保持部件的驱动机构，随所 述元件保持部件的升降动作而进行从元件供给位置的元件取出以及在基板上的元件安装， 其特征在于所述驱动机构具有权利要求1至5中任一项所述的线性电动机。
7.—种元件检查装置，包括元件保持部件、升降驱动该元件保持部件的驱动机构，随所 述元件保持部件的升降动作而进行从元件供给位置的元件取出以及在所定的检查部中的 元件入出，其特征在于2所述驱动机构具有权利要求1至5中任一项所述的线性电动机。
全文摘要
本发明涉及线性电动机，其包括励磁子和电枢，通过在向所述电枢供电时在该电枢与所述励磁子之间产生的磁通的相互作用来形成使所述励磁子和所述电枢沿所定的一轴向相对变位的力。其还包括定子，由所述励磁子和所述电枢其中一者构成；动子，由所述励磁子和所述电枢其中另一者构成；机架构件，规定所述一轴向；导轨，引导所述动子仅沿直线方向往返移动；第1定位部，设置在所述机架构件上，将所述定子的所述机架构件上的固定位置予以定位；第2定位部，设置在所述机架构件上，将所述导轨的所述机架构件上的固定位置予以定位，以便所述动子在其与被所述第1定位部定位的所述定子之间形成所定尺寸的间隙的状态下沿所述一轴向往返移动。
文档编号H02K41/03GK101911450SQ200980101940
公开日2010年12月8日 申请日期2009年1月9日 优先权日2008年1月11日
发明者堺清敬, 花村直己 申请人:雅马哈发动机株式会社