专利名称：真空磁力传动装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种传动装置，尤其涉及一种真空磁力传动装置。
背景技术：
机械传动装置可以将动力所提供的运动的方式、方向或速度加以改变，被人们有 目的地加以利用。常见的传动装置，主要有齿轮传动、皮带传动和液压式传动，均需要主动 部件和被动部件相互接触才可以实现机械运动的传递，因此，在许多主动部分和被动部分 需要进行封闭隔离而又必须有效传递机械运动时，利用这些传统传动装置，是很难实现的。 例如，随着真空技术的发展，玻璃基材等薄板已广泛用于制造LCD-TFT显示屏、有机发光显 示器件(OLED)面板、薄膜太阳能面板应用及其他类似者。于此类应用中大多在洁净玻璃上 镀覆薄膜晶体管，这类大型玻璃基材的制程通常包含实施多个连续步骤，包括如化学气相 沉积制程(CVD)、物理气相沉积制程(PVD)、有机物质蒸镀、磁控溅射沉积或蚀刻制程，该制 程的工艺要求比较严格，大部分必须在真空状态下以及完全洁净的空间环境中进行，通过 传动装置实现腔体内外动力的传递，此过程中如果密封不好、真空环境不足将严重影响辉 光放电的程度，同时空气中的氧气和水汽也会将靶材侵蚀，导致磁控溅射制程中断或/和 沉积薄膜受到影响。在真空传动装置中，动力源一般由外部传到内部这样首先就要解决的 是传动系统与真空室间的密封，现有技术中，对真空腔的动力传动大都采用机械式传动，不 容易实现密封，传动效率低且容易破坏真空环境，且对于元部件的要求较高，另一方面存在 不稳定性，多次重复的接触动作容易导致传动器件的磨损从而影响传动效果和密封要求。因此，急需一种传动效率高，传动平稳，容易控制，成本低且实用性及通用性强的 真空磁力传动装置。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种传动效率高，传动平稳，容易控制，成本低且实用 性及通用性强的真空磁力传动装置。为了实现上述目的，本实用新型的技术方案为提供一种真空磁力传动装置，包括 安装板、外轴套、隔套、内轴套、传动轴、若干外磁体及若干内磁体，所述安装板呈竖直置放， 所述外轴套位于所述安装板的一侧并在与所述安装板相对的一端的端面上开设有圆槽，所 述圆槽内开设有轴孔，所述圆槽的壁上开设有若干均勻分布的外容置槽，所述外磁体极性 一致地容置于所述外容置槽内，所述隔套具有中空结构并套设于所述圆槽内，所述隔套的 一端的中央部位向所述轴孔水平凸伸形成凸轴，所述凸轴容置于所述轴孔内并与所述轴孔 枢接，所述隔套的另一端的末端分别沿所述安装板向外凸伸形成底座，所述底座与所述安 装板固定连接，所述隔套与所述外轴套的圆槽的内壁之间具有一定的间隙，所述隔套的底 座凸伸于所述外轴套并与所述外轴套之间保持一定的间隙，所述安装板上开设有通孔，所 述内轴套容置于所述隔套的中空结构内，所述内轴套上开设有若干与所述外轴套的外容置 槽对应的内容置槽，所述内磁体极性一致地容置于所述内容置槽内，所述内磁体与所述外
3磁体分布于同一平面上，所述传动轴一端与所述内轴套固定连接，所述传动轴的另一端穿 过所述通孔并与所述通孔枢接。较佳地，所述凸轴与所述轴孔之间以及所述传动轴与通孔之间分别设有轴承。通 过轴承更好地实现凸轴与轴孔之间的枢接以及传动轴与通孔之间的枢接，且同时避免所述 凸轴、轴孔、传动轴及通孔在传动过程中受损，从而使传动更平稳可靠。较佳地，所述隔套的底座与安装板之间设有密封圈，通过设置密封圈，加强隔套的 密封性能。较佳地，所述内轴套上开设有安装槽，所述传动轴上对应设有与所述安装槽相配 合的键，所述键卡置于所述安装槽内，通过键与安装槽的配合，使内轴套与传动轴的固定连 接简单可靠，结构紧凑。作为本实用新型的一个实施例，所述安装板为真空腔体的侧壁，所述隔套的底座 固定在所述侧壁外部，所述外轴套与所述隔套位于所述真空腔体外，所述传动轴一端与所 述内轴套固定连接，另一端穿过所述通孔并伸入所述真空腔体内。当外力施加带动外轴套 旋转运动时，由于外磁体对内磁体的作用，从而带动内轴套和传动轴的转动，实现将动力由 外轴套传递到真空腔体内。作为本实用新型的另一实施例，所述安装板为真空腔体的侧壁，所述隔套的底座 固定在所述侧壁内部，所述外轴套与所述隔套位于所述真空腔体内，所述传动轴一端与所 述内轴套固定连接，另一端穿过所述通孔并伸出所述真空腔体外。当外力施加带动传动轴 旋转运动时，由于内磁体对外磁体的作用，从而带动外轴套转动，实现将动力由传动轴传递 到真空腔体内。与现有技术相比，本实用新型的真空磁力传动装置采用非接触式的传输方式，将 旋转运动通过隔套，利用磁力相吸或相斥作用来实现传递。通过外轴套、隔套、内轴套、传动 轴实现动力的双向传递，结构简单节约成本。所述隔套的底座固定在安装板上，为外轴套提 供转动与定位的支柱结构，所述隔套具有容置内轴套的中空结构，使结构紧凑；设置在内轴 套上的内磁体与设置在外轴套上的外磁体分布于同一平面上，能有效实现磁力传动，且隔 套与外轴套的圆槽的内壁之间具有一定的间隙，隔套的底座与所述外轴套之间保持一定的 间隙，从而使外轴套与内轴套转动时均不与隔套接触，保证传动的稳定性和可靠性，动力可 从外轴套通过外磁体作用于内磁体带动内轴套与传动轴转动，将动力从外轴套的一端传递 到位于安装板的另一侧的传动轴的输出端上，同时动力可以从传动轴输入，带动内轴套转 动时通过内磁体作用外磁体带动外轴套转动，将动力从传动轴的一端传递到位于安装板的 另一侧的外轴套上，传递效率高且传动平稳，容易控制，充分利用了磁力特性，同性相斥，异 性相吸，通过简易的方式可实现在两种不同环境下运动传递，适用范围广，具有较高实用性 和通用性。
图1是本实用新型真空磁力传动装置的结构示意图。图2沿图1中A-A线的剖视图。图3是图2的另一状态示意图。图4是本实用新型真空磁力传动装置的一实施例的结构示意图。[0016]图5是本实用新型真空磁力传动装置的另一实施例的结构示意图。
具体实施方式
为了详细说明本实用新型的技术内容、构造特征，以下结合实施方式并配合附图 作进一步说明，其中不同图中相同的标号代表相同的部件。如上所述，本实用新型公开了 一种真空磁力传动装置，采用非接触式的传输方式，充分利用了磁力特性，同性相斥，异性 相吸，通过简易的方式可实现在两种不同环境下运动传递，传递效率高且传动平稳，容易控 制，适用范围广，尤其适合于真空环境、洁净环境，有毒环境等，具有较高实用性和通用性。参考图1及图2，本实用新型的真空磁力传动装置100，包括安装板110、外轴套 120、隔套140、内轴套150、传动轴170、若干外磁体130及若干内磁体160，所述安装板110 呈竖直置放，所述外轴套120位于所述安装板110的一侧并在与所述安装板110相对的一 端的端面上开设有圆槽122，所述圆槽122内开设有轴孔124，所述圆槽122的壁上开设有 若干均勻分布的外容置槽123，所述外磁体130极性一致地容置于所述外容置槽123内。所 述隔套140具有中空结构142并套设于所述圆槽122内且位于所述外轴套120与所述安装 板110之间，所述隔套140的一端的中央部位向所述轴孔124水平凸伸形成凸轴144，所述 凸轴144容置于所述轴孔124内并与所述轴孔124枢接，所述凸轴144与所述轴孔124之 间设有轴承190，所述轴承190与所述轴孔124之间设有孔用挡圈114与轴承挡圈192，通 过挡圈能有效对轴承190和凸轴144进行定位，而通过所述轴承190的设计能更好地实现 凸轴144与轴孔124之间的枢接，且同时避免所述凸轴144与轴孔124在传动过程中受损， 从而使传动更平稳可靠。所述隔套140的另一端的末端分别沿所述安装板110向外凸伸形 成底座146，所述底座146与所述安装板110可通过螺钉固定连接，较佳地，所述隔套140的 底座146与安装板110之间设有密封圈180，通过设置密封圈180，加强隔套140的密封性 能。所述隔套140与所述外轴套120的圆槽122的内壁之间具有一定的间隙148，所述隔套 140的底座146凸伸于所述外轴套120并与所述外轴套120之间保持一定的间隙148，所述 安装板110上开设有通孔112，所述内轴套150容置于所述隔套140的中空结构142内，所 述内轴套140上开设有若干与所述外轴套120的外容置槽123对应的内容置槽152，所述内 磁体160极性一致地容置于所述内容置槽152内，所述内磁体160与所述外磁体130分布 于同一平面上，所述传动轴170 —端与所述内轴套150固定连接，所述传动轴170的另一端 穿过所述通孔112并与所述通孔112枢接。所述传动轴170与通孔112之间设有轴承190 与孔用挡圈114，通过挡圈能有效将轴承190和传动轴170进行定位，而通过轴承190能更 好地实现传动轴170与通孔112之间的枢接，且同时避免传动轴170及通孔112在传动过 程中受损，从而使传动更平稳可靠。较佳地，所述内轴套150上开设有安装槽154，所述传动轴170上对应凸设有与所 述安装槽154相配合的键172，所述键172卡置于所述安装槽154内，通过键172与安装槽 154的配合，使内轴套150与传动轴170的固定连接简单可靠，结构紧凑。以下结合图3详细叙述本实用新型的真空磁力传动装置100的工作过程当动力 从外轴套120的一端传递至传动轴170的一端时，外力施加于外轴套120上，具体地，所述 外轴套120可固定套接一传动齿轮，通过齿轮啮合来实现动力的输入，如图3中箭头所示， 外轴套120围绕隔套140的凸轴144旋转运动时，带动装设在外轴套120上的外磁体130同时转动，由于外轴套120上的外磁体130的磁性一致，内轴套150上的内磁体160的磁性一 致，所述外磁体130的N极或S极可与内磁体160的N极或S极相对，外磁体130与内磁体 160的同性相吸或异性相斥都可以实现外轴套120转动时通过磁力作用带动内轴套150相 应转动，如图中所示，外磁体130的S极与内磁160体的N极相邻相对，转动时外磁体130由 于磁性相吸的对向邻近的内磁体160产生一作用力F，吸引内磁体160做相应的旋转运动， 从而使与内轴套150固接的传动轴170同步转动，最终达到将动力从安装板110的一侧传 递到另一侧的目的，可实现不同环境的动力的传递，利用磁性相斥时同样可以达到该效果。 同样的，动力可从传动轴170的一端传递给外轴套120，将外力施加于传动轴170上，传动 轴170带动内轴套150转动，从而使内轴套150上的内磁体160做旋转运动，内磁体160的 磁性作用于外磁体130，通过内磁体160的磁力作用外磁体130相应转动，带动外轴套120 做旋转运动，从而达到将动力从传动轴170的一端传递给外轴套120的目的，实现可逆的应 用，实现不同环境的动力的传递，实用性强。参考图4，作为本实用新型的一个实施例，利用真空磁力传动装置100将动力传递 至真空腔体IlOa内，所述安装板110为真空腔体IlOa的侧壁，所述通孔112开设于真空腔 体IlOa的侧壁的对应部位上，所述隔套140的底座146固定在所述真空腔体IlOa的侧壁 外部，所述外轴套120与所述隔套140位于所述真空腔体IlOa外，所述传动轴170 —端与 所述内轴套150固定连接，另一端穿过所述通孔112并伸入所述真空腔体IlOa内。当外力 施加带动外轴套120旋转运动时，由于外磁体130对内磁体160的磁性作用，从而带动内轴 套150转动，使传动轴170同步做旋转运动，实现将动力由外轴套120传递到真空腔体IlOa 内。参考图5，作为本实用新型的另一实施例，所述安装板110为真空腔体IlOb的侧 壁，所述隔套140的底座146固定在所述真空腔体IlOb的侧壁内，所述外轴套120与所述 隔套140位于所述真空腔体IlOb内，所述传动轴170 —端与所述内轴套150固定连接，另 一端穿过所述通孔112并伸出所述真空腔体IlOb外。当外力施加带动传动轴170旋转运 动时，由于内磁体160对外磁体130的作用，从而带动外轴套120转动，实现将动力由传动 轴170的一端传递到真空腔体IlOb内。与现有技术相比，本实用新型的真空磁力传动装置100采用非接触式的传输方 式，将旋转运动通过隔套140，利用磁力相吸或相斥作用来实现传递。通过外轴套120、隔套 140、内轴套150、传动轴170实现动力的双向传递，结构简单节约成本。所述隔套140的底 座146固定在安装板110上，为外轴套120提供转动与定位的支柱结构，所述隔套140具有 容置内轴套150的中空结构142，使结构紧凑；设置在内轴套150上的内磁体160与设置在 外轴套120上的外磁体130分布于同一平面上，能有效实现磁力传动，且隔套140与外轴套 120的圆槽122的内壁之间具有一定的间隙148，隔套140的底座146与所述外轴套120之 间保持一定的间隙148，从而使外轴套120与内轴套150转动时均不与隔套140接触，保证 传动的稳定性和可靠性，动力可从外轴套120通过外磁体130作用于内磁体160带动内轴 套150与传动轴170转动，将动力从外轴套120的一端传递到位于安装板110的另一侧的 传动轴170的输出端上，同时动力亦可以从传动轴170输入，带动内轴套150转动时通过内 磁体160作用外磁体130带动外轴套120转动，将动力从传动轴170的一端传递到位于安 装板110的另一侧的外轴套120上，传递效率高且传动平稳，容易控制，充分利用了磁力特性，同性相斥，异性相吸，通过简易的方式可实现在两种不同环境下运动传递，适用范围广， 具有较高实用性和通用性。 以上所揭露的仅为本实用新型的优选实施例而已，当然不能以此来限定本实用新 型之权利范围，因此依本实用新型申请专利范围所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖 的范围。
权利要求一种真空磁力传动装置，其特征在于包括安装板、外轴套、隔套、内轴套、传动轴、若干外磁体及若干内磁体，所述安装板呈竖直置放，所述外轴套位于所述安装板的一侧并在与所述安装板相对的一端的端面上开设有圆槽，所述圆槽内开设有轴孔，所述圆槽的壁上开设有若干均匀分布的外容置槽，所述外磁体极性一致地容置于所述外容置槽内，所述隔套具有中空结构并套设于所述圆槽内，所述隔套的一端的中央部位向所述轴孔水平凸伸形成凸轴，所述凸轴容置于所述轴孔内并与所述轴孔枢接，所述隔套的另一端的末端分别沿所述安装板向外凸伸形成底座，所述底座与所述安装板固定连接，所述隔套与所述外轴套的圆槽的内壁之间具有一定的间隙，所述隔套的底座凸伸于所述外轴套并与所述外轴套之间保持一定的间隙，所述安装板上开设有通孔，所述内轴套容置于所述隔套的中空结构内，所述内轴套上开设有若干与所述外轴套的外容置槽对应的内容置槽，所述内磁体极性一致地容置于所述内容置槽内，所述内磁体与所述外磁体分布于同一平面上，所述传动轴一端与所述内轴套固定连接，所述传动轴的另一端穿过所述通孔并与所述通孔枢接。
2.如权利要求1所述的真空磁力传动装置，其特征在于所述凸轴与所述轴孔之间以 及所述传动轴与通孔之间分别设有轴承。
3.如权利要求1所述的真空磁力传动装置，其特征在于所述隔套的底座与安装板之 间设有密封圈。
4.如权利要求1所述的真空磁力传动装置，其特征在于所述内轴套上开设有安装槽， 所述传动轴上对应设有与所述安装槽相配合的键，所述键卡置于所述安装槽内。
5.如权利要求1至4任一所述的真空磁力传动装置，其特征在于所述安装板为真空 腔体的侧壁，所述隔套的底座固定在所述侧壁外部，所述外轴套与所述隔套位于所述真空 腔体外，所述传动轴一端与所述内轴套固定连接，另一端穿过所述通孔并伸入所述真空腔 体内。
6.如权利要求1至4任一所述的真空磁力传动装置，其特征在于所述安装板为真空 腔体的侧壁，所述隔套的底座固定在所述侧壁内部，所述外轴套与所述隔套位于所述真空 腔体内，所述传动轴一端与所述内轴套固定连接，另一端穿过所述通孔并伸出所述真空腔 体外。
专利摘要本实用新型公开了一种真空磁力传动装置，包括安装板、外轴套、隔套、内轴套、传动轴、若干外磁体及若干内磁体，外轴套开设有供容置隔套的圆槽，圆槽内设有轴孔，圆槽的壁上设有若干均布的外容置槽，外磁体极性一致地容置于外容置槽内，隔套具有供容置内轴套的中空结构，隔套的一端凸伸形成与轴孔枢接的凸轴，另一端向外凸伸形成与安装板固接的底座，隔套与圆槽的内壁之间、底座与外轴套之间均具有间隙，内轴套上对应开有供容置极性一致的内磁体的内容置槽，内磁体与外磁体分布于同一平面，传动轴一端与内轴套固接，另一端枢接地穿过安装板上的通孔。本实用新型的真空磁力传动装置传动平稳且高效，容易控制，成本低，实用性与通用性强。
文档编号H02K51/00GK201674381SQ20102018872
公开日2010年12月15日 申请日期2010年5月6日 优先权日2010年5月6日
发明者余超平, 刘惠森, 张华 , 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良 申请人:东莞宏威数码机械有限公司