专利名称：静电感应型发电装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及静电感应型发电装置，其能够用作使利用环境振动进行发电的振动发电装置等。
背景技术：
以往公知有如下的静电感应型发电装置，该静电感应型发电装置具有ー对基板，这ー对基板构成为在保持彼此相对的状态下能够相对移动，在ー对基板中的ー个基板上并列地配置有多个驻极体，在另ー个基板上并列地配置有以ー对电极为ー组的多组电扱。根据该装置，通过ー对基板的相对移动，ー对电极中的ー个电极与驻极体之间的静电电容以 及另ー个电极与驻极体之间的静电电容分别发生变化，因此该变化量输出为电力。在这种静电感应型发电装置中，在ー对基板相対的方向上的驻极体与一对电极之间的间隔大大影响到发电性能。因此，提高该间隔的精度对提高发电性能很重要。因此，以往公知有这样的技术(參照专利文献1)，即，具有对支撑ー对基板中的ー个基板的支撑部件、与支撑另ー个基板的支撑部件之间的间隔进行调整的部件。參照图12对该技术进行说明。图12是以往示例的静电感应型发电装置的示意性剖视图。该静电感应型发电装置200具有ー对基板(分别称为第I基板220、第2基板230)。在第I基板220上并列地配置有多个驻极体，在第2基板230上并列地配置有以ー对电极为ー组的多组电扱。并且，第I基板220被支撑于第I支撑部件211侧，第2基板230被支撑于第2支撑部件212。并且，第I基板220构成为能够沿与基板表面平行的方向移动，第I基板220和第2基板230在保持彼此相対的状态的同时能够相对移动。并且，在该静电感应型发电装置200中设有调整部件240，该调整部件240用于调整第I支撑部件211与被固定于第2支撑部件212的第2基板230之间的间隔。根据该技术，构成为，在调整部件240被配置于第I支撑部件211和被固定于第2支撑部件212的第2基板230之间的状态下，利用螺栓250将它们固定，由此调整上述的间隔。但是，如上所述，影响发电性能的是在ー对基板相対的方向上的驻极体与ー对电极之间的间隔。如果忽视驻极体的厚度偏差和一对电极的厚度偏差，则ー对基板的相对面之间的距离也影响到发电性能。因此，在上述的以往示例中，存在向对发电性能产生影响的间隔的误差传递较大的问题。即，在上述的以往示例中，调整第I支撑部件211与第2基板230之间的间隔。因此，对第I基板220与第2基板230的相对面之间的距离的精度产生影响的尺寸误差是调整部件240的尺寸误差、第I支撑部件211的尺寸误差、和第I基板220的厚度的尺寸误差。其中，在静电感应型发电装置中，在ー对基板相対的方向上的驻极体与ー对电极之间的间隔例如约为70 μ m，ー对基板的相对面之间的距离例如约为85 μ m。另ー方面，关于形成有驻极体等的玻璃基板的厚度，通常相对于期望的厚度的公差为±50 μ m。因此，在上述的以往示例中，第I基板220的厚度的尺寸误差对ー对基板的相对面之间的距离的精度产生影响，因而导致该距离的调整花费功夫。即，例如必须准备多种调整部件240的长度不同的部件，或者必须对每个产品调整调整部件240的长度。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特开2009 - 148124号公报非专利文献非专利文献I J. Boland, Y. H. Chao, Y. Suzuki, Y. C. Tai, Proc. 16 th IEEE Int.Conf. MEMS 2003. pp. 538-54
发明内容
发明要解决的问题 本发明的目的在于，提供一种能够容易地提高ー对基板的相对面之间的距离的精度的静电感应型发电装置。解决问题的手段本发明采用了如下手段来解决上述问题。即，本发明的静电感应型发电装置具有第I基板和第2基板，它们构成为在保持彼此相対的状态的同时能够相对移动；
驻极体，其设置在第I基板上；第I电极和第2电极，它们设置在第2基板的与所述驻极体相対的一面侧；以及框体，其收纳第I基板和第2基板，随着第I基板与第2基板的相对位置的变化，所述驻极体与第I电极之间的位置关系以及所述驻极体与第2电极之间的位置关系分别发生变化，由此所述驻极体与第I电极之间的静电电容以及所述驻极体与第2电极之间的静电电容分别发生变化，从而输出电力，其特征在干，所述静电感应型发电装置具有用于使第I基板与第2基板的相对面之间的距离固定的限定部件，在所述框体设有第I基准面，第I基板和第2基板中ー个基板的与另ー个基板相対的相对面侧固定于该第I基准面，而且该第I基准面成为该ー个基板的与所述相对面垂直的方向的定位基准；以及第2基准面，所述限定部件在可以滑动的状态下与该第2基准面接触，而且该第2基准面成为该限定部件的与所述相对面垂直的方向的定位基准，所述限定部件在可以滑动的状态下与所述另ー个基板的与所述ー个基板相対的相对面侧接触。根据本发明，能够将对第I基板与第2基板的相对面之间的距离的精度产生影响的尺寸误差仅设为限定部件的尺寸误差和框体的尺寸误差。由此，能够消除基板的厚度的尺寸误差对第I基板与第2基板的相对面之间的距离的影响。也可以是，所述限定部件是与所述另ー个基板的移动联动地旋转的旋转部件。由此，能够使第I基板与第2基板的相对面之间的距离保持固定，同时使进行移动的ー侧的基板(另ー个基板)的移动顺畅进行。
所述旋转部件可以是球状部件，也可以是滚子。也可以是，在所述框体设有以所述旋转部件能够转动的方式来引导该旋转部件的引导槽，该引导槽的底面是所述第2基准面。由此，能够减轻限定部件(旋转部件)的滑动阻力。也可以是，所述ー个基板在沿与所述相对面垂直的方向观察时为四边形，所述第I基准面分别设置在该ー个基板的4个角部。由此，ー个基板被稳定支撑。另外，上述各个构成要素也能够采用尽可能的组合方式。 发明效果如以上说明的那样，根据本发明能够容易地提高ー对基板的相对面之间的距离的精度。
图I是本发明的实施例I的静电感应型发电装置的示意性剖视图。图2是本发明的实施例I的静电感应型发电装置的示意性剖视图。图3是本发明的实施例I的静电感应型发电装置的主要部分的示意性剖视图。图4是本发明的实施例I的静电感应型发电装置的示意性剖视图。图5是说明本发明的实施例I的静电感应型发电装置的发电原理的图。图6是示出本发明的实施例I的静电感应型发电装置的输出电压的图。图7是示出电极间隔与发电量比之间的关系的曲线图。图8是本发明的实施例2的静电感应型发电装置的示意性剖视图。图9是本发明的实施例2的静电感应型发电装置的部分放大剖视图。图10是本发明的实施例3的静电感应型发电装置的示意性剖视图。图11是本发明的实施例3的静电感应型发电装置的示意性剖视图。图12是以往示例的静电感应型发电装置的示意性剖视图。
具体实施例方式下面，參照附图并根据实施例示意地详细说明用于实施本发明的方式。其中，对于在该实施例中记载的构成部件的尺寸、材质、形状及其相对配置等，只要不做特定的描述，则本发明的范围不限于此。(实施例I)參照图I 图7来说明本发明的实施例I的静电感应型发电装置。<静电感应型发电装置的整体结构>尤其參照图I 图4来说明本发明的实施例I的静电感应型发电装置的整体结构。另外，图I是本实施例的静电感应型发电装置的示意性剖视图，是从上表面侧观察装置内部的图。图2是本实施例的静电感应型发电装置的示意性剖视图，是相当于图I中的AA剖面的图。图3是本实施例的静电感应型发电装置的主要部分的示意性剖视图，是相当于图I中的BB剖面(框体等除外)的图。图4是本实施例的静电感应型发电装置的示意性剖视图，是相当于图I中的CC剖面的图。
本实施例的静电感应型 发电装置100具备框体110、收纳在框体110内部的第I基板120和第2基板130。第I基板120和第2基板130构成为在保持彼此相対的状态的同时能够相对移动。第I基板120具有利用树脂材料等构成的基底基板121、和设置在基底基板121上的玻璃基板122。同样，第2基板130也具有利用树脂材料等构成的基底基板131、和设置在基底基板131上的玻璃基板132。并且，在第I基板120的与第2基板130相対的一面侧即玻璃基板122的表面，交替并列地配置有分别形成在导电体上的多个驻极体123以及均接地的多个屏蔽电极(guard electrode)124。另外，在图2和图4中，驻极体123和屏蔽电极124被省略。在本实施方式中，驻极体123构成为半永久地保持负电荷。此外，在第2基板130的与第I基板120相対的一面侧即玻璃基板132的表面，并列地配置有以ー对电极(称为第I电极133和第2电极134)为ー组的多组电极(參照图3)。另外，在图2中，第I电极133和第2电极134被省略。各组所具备的多个第I电极133相互电连接，并且多个第2电极134也电连接。并且，在本实施例中，第2基板130被固定于框体110。与此相对，第I基板120构成为其两端分别利用弹簧141、142进行固定，并且相对于框体110移动(振动)。由此，第I基板120和第2基板130构成为在保持彼此相対的状态的同时能够相对移动。另外，多个驻极体123和屏蔽电极124构成为在第I基板120和第2基板130相对移动的方向上交替排列。并且，第I电极133和第2电极134构成为在第I基板120和第2基板130相对移动的方向上交替排列。另外，第I基板120和第2基板130构成为在彼此相対的状态下、而且在保持彼此平行的状态的同时即保持使相対的面的间隔固定的状态的同时能够相对移动。在此，如在背景技术中说明的那样，提高在ー对基板相対的方向上的驻极体与ー对电极之间的间隔的精度，对提高发电性能很重要。通常，提高驻极体123和各种电极的厚度的精度比较容易，因而如何提高ー对基板的相对面之间的距离比较重要。因此，在本实施例的静电感应型发电装置100中构成为，使能够容易提高第I基板120与第2基板130的相对面之间的距离的精度。下面，对第I基板120和第2基板130的定位进行详细说明。<第I基板和第2基板的定位>在下面的说明中，为了便于进行说明，将与第I基板120和第2基板130的相对面垂直的方向称为相对方向。另外，该相对方向在图I中相当于与纸面垂直的方向，在图2 图4中相当于图中的上下方向。另外，第I基板120和第2基板130在沿相对方向观察时均是四边形的基板。本实施例的静电感应型发电装置100设有作为限定部件的旋转部件即球状部件151，以便使第I基板120和第2基板130的相对面之间的距离固定。作为该球状部件151的具体示例，可以列举钢球(金属制的球)和陶瓷制的球。另外，在本实施例的框体110固定有第2基板130，并且设有成为该第2基板130的定位基准的第I基准面111。该第I基准面111被设于4处，以便在将第2基板130的4个角部定位的状态下进行支撑。在将第2基板130固定于框体110的情况下，在使第2基板130的与第I基板120相対的一面侧(即玻璃基板132)的4个角部紧密粘接于4处的第I基准面111的状态下进行固定。由此，进行第2基板130在相对方向上的定位。另外，关于具体的固定方法，可以采用粘接和旋合固定等公知的合适技木。另外，在框体110设有引导槽112，以便在球状部件151能够滑动且能够转动的状态下对球状部件151进行引导。该引导槽112被设于第I基板120的移动方向的两侧及前后计4处。并且，这4处的引导槽112被设置成为都在第I基板120的移动方向上延伸。并且，在4处的引导槽112分别配置有各I个球状部件151。各个球状部件151构成为在引导槽112的底面上滑动且转动。由此，进行球状部件151在相对方向上的定位。即，引导槽112的底面形成为作为球状部件151在相对方向上的定位基准的第2基准面112a。另外，引导槽112的槽宽构成为相对于球状部件151的直径扩大预定的空隙量，以便不妨碍球状部件151的转动。这样按照与在4处引导槽112分别配置的4个球状部件151接触的方式设置第I基板120。第I基板120的与第2基板130相対的一面侧(即玻璃基板122)以能够滑动的状态与4个球状部件151接触。由此，4个球状部件151与第I基板120的移动联动地在分别配置有球状部件的引导槽112内沿着引导槽112进行转动。 根据以上所述的结构，第I基板120与第2基板130的相对面之间的距离的精度得到提高。并且，在第I基板120移动(振动)的情况下，第I基板120和第2基板130在彼此相对的状态下、而且在保持彼此平行的状态的同时即保持使相対的面的间隔固定的状态的同时能够相对移动。〈发电原理〉參照图5和图6说明本发明的实施例的静电感应型发电装置的发电原理。另外，图5对第I基板120和第2基板130进行了简易图示，为了便于进行说明，关于驻极体123、屏蔽电极124、第I电极133以及第2电极134仅示出各ー个。由于第I基板120的移动，第I基板120与第2基板130的相对位置关系发生变化。伴随于此，驻极体123与第I电极133的位置关系以及驻极体123与第2电极134的位置关系也分别变化。图5 (a)示出了驻极体123的整个表面与第I电极133的整个表面相对的状态，即，驻极体123与第2电极134完全不相对的状态。图5 (b)示出了驻极体123与第I电极133完全不相对的状态，即，驻极体123的一部分与第2电极134的一部分相对的状态。图5 (c)示出了驻极体123的整个表面与第2电极134的整个表面相対的状态，SP，驻极体123与第I电极133完全不相对的状态。在图5 Ca)所示的状态下，驻极体123与第I电极122之间的静电电容最大。此时，还会存在驻极体123与第2电极134之间的静电电容。并且，在图5(c)所示的状态下，驻极体123与第2电极134之间的静电电容最大。此时，还会存在驻极体123与第I电极133之间的静电电容。这样，通过第I基板120的移动，驻极体123与第I电极133之间的静电电容以及驻极体123与第2电极134之间的静电电容分别发生变化。图5 (b)示出了从图5 (a)所示的状态向图5 (C)所示的状态过渡的中途状态。在该过渡过程中，驻极体123与第I电极133之间的静电电容降低，驻极体123与第2电极134之间的静电电容上升。因此，由于第I电极133和第2电极134经由负荷160电连接，因此正电荷从第I电极133向第2电极134移动，由此产生电力。图6示出在图5 (a)所示的状态与图5 (C)所示的状态以一定周期交替变动(第I基板120以一定周期振动(往返移动))的情况下，输出电压V相对于经过时间t的变动的曲线图。图中，tl相当于图5 (a)所示状态的时刻，t2相当于图5 (C)所示状态的时刻。这里，如该图6所示，优选输出电压描绘以高电压和低电压的中心为O(V)的曲线，以得到稳定的输出电压。在本实施例中，通过设置屏蔽电极124，可以使输出电压的高电压和低电压的中心为O (V)。S卩，例如如图5 (a)所示，在驻极体123与第I电极133相対、并且接地的屏蔽电极124与第2电极134相対的状态下，根据基尔霍夫法则，第2电极134的电位为O (V)。在图5 (c)所示的状态下，成为第I电极133与屏蔽电极124 (该图中省略)相対的状态，第I电极133的电位为O (V)。因此，可以得到如图6所示的输出电压的曲线，能得到稳定的输出电压。另外，关于屏蔽电极，也可以采用不接地的结构。在不将屏蔽电极接地的情况下，由于在第I电极与第2电极之间形成电容器，因而与不设置屏蔽电极 的情况相比，可以使电压(发电量)稳定。但是，在将屏蔽电极接地的情况下，如上所述可以使高电压和低电压的中心为O (V)，因而可以更进一歩地使电压(发电量)稳定。〈本实施例的优点〉根据本实施例的静电感应型发电装置100，能够将对第I基板120与第2基板130的相对面之间的距离的精度产生影响的尺寸误差仅设为作为限定部件的球状部件151的尺寸误差和框体110的尺寸误差。由此，能够消除基板的厚度的尺寸误差对第I基板120与第2基板120的相对面之间的距离的影响。通过树脂成形等得到的框体110和利用钢球等构成的球状部件151能够提高尺寸精度。例如，在通过树脂成形来制作框体Iio的情况下，能够将第I基准面111与第2基准面112a之间的相对方向的距离相对于期望的尺寸的公差设为±8μπι。并且，在球状部件151采用钢球的情况下，能够将该公差设为±1μπι以下。因此，根据本实施例的静电感应型发电装置100，对于影响第I基板120与第2基板130的相对面之间的距离的精度的尺寸误差，即使是估计偏大时也能够设为± 10 μ m以下。与此相対，在第I基板120设置的玻璃基板122和在第2基板130设置的玻璃基板132相对于期望的尺寸(厚度)的公差为±50 μ m。在静电感应型发电装置100中，在相对方向上的驻极体123与第I电极133及第2电极134之间的间隔例如约为70 μ m，第I基板120与第2基板130的相对面之间的距离例如约为85 μ m。因此，根据本实施例，能够消除基板的厚度的尺寸误差对第I基板120与第2基板130的相对面之间的距离的影响，能够提高该距离的精度。关于这一点，參照图7进行更详细的说明。图7示出了上下基板的电极间隔(在本实施例中，相当于驻极体123与第I电极133及第2电极134之间的相对方向上的距离)与发电量比之间的关系。另外，发电量比是指将上下基板的电极间隔为65 μ m时的发电量设为I的比值。例如，在将上下基板的电极间隔设定为70 μ m的情况下，如果玻璃基板的尺寸误差(±50 μ m)有影响，则在曲线图中利用Y示出的范围内产生偏差，因而发电量比不稳定。因此，基板间隔的调整比较困难。与此相对，如本实施例这样，能够将对第I基板120与第2基板130的相对面之间的距离的精度产生影响的尺寸误差设为±10 μ m以下。因此，在本实施例中，能够将偏差控制在曲线图中利用X示出的范围内，能够使发电量比稳定。因此，不会像以往示例那样必须准备多种调整部件240的长度不同的部件，或者必须对每个产品调整调整部件240的长度。
另外，对ー对基板的间隔与发电量的关系进行简单说明。一对电极均是由同一材料构成的同一结构，并且在使ー对基板以固定振动频率f振动的方式相对移动(往返移动)的情况下，根据Boland等，最大输出电力Pmax为Pmax = o2nAf+ [2 ( ε Β ε Q / d) X((ε 0g / d) + I)]。其中，σ为驻极体的表面电荷密度，η为“ー对基板的振幅+驻极体的间距”，A为驻极体与电极相互重叠的最大面积，ε e为驻极体的介电常数，d为驻极体的厚度，ε O为真空介电常数，g为驻极体表面与相对电极表面之间的间隔(參照非专利文献I)。另外，在本实施例中，球状部件151构成为与第I基板120的移动联动地在引导槽112的底面即第2基准面112a上转动。因此，能够尽可能地减小第I基板120与球状部件151之间以及球状部件151与第2基准面112a之间的滑动阻力，能够使第I基板120顺畅移动。由此，即使是较小的振动时，第I基板120也移动(振动)，因而能够提高发电效率。并且，由于采用在4处将第2基板130固定的结构，因而能够抑制对用于进行发电的区域(设有第I电极133和第2电极134的区域)的影响，并且稳定地支撑第2基板130。(实施例2)图8和图9示出了本发明的实施例2。在上述实施例I中示出了作为限定部件的旋转部件即球状部件沿着引导槽转动的结构，而在本实施例中示出球状部件在固定的位置旋转但不转动的结构。关于其它结构及作用与实施例I相同，因而对相同的构成部分标注相同的标号并省略其说明。图8是本实施例的静电感应型发电装置的示意性剖视图，是从上表面侧观察装置内部的图。图9是本实施例的静电感应型发电装置的球状部件附近的放大剖视图，示出了与第I基板120的移动方向平行的剖面。在本实施例的框体110设有定位孔113，以便在球状部件151能够滑动的状态下进行球状部件151的定位。该定位孔113被设于第I基板120的移动方向的两侧及前后共计4处。并且，在这4处的定位孔113分别配置有各I个球状部件151。各个球状部件151构成为在定位孔113的底面上滑动。由此，进行球状部件151在相对方向上的定位。S卩，定位孔113的底面形成为作为球状部件151在相对方向上的定位基准的第2基准面113a。另夕卜，定位孔113的前后方向(第I基板120的移动方向)的距离及宽度构成为相对于球状部件151的直径扩大预定的空隙量，以便不妨碍球状部件151的旋转。这样，按照与在4处的定位孔113分别配置的4个球状部件151接触的方式设置第I基板120。第I基板120的与第2基板130相対的一面侧(即玻璃基板122)以能够滑动的状态与4个球状部件151接触。由此，4个球状部件151与第I基板120的移动联动地在配置有各个球状部件的定位孔113内旋转。如上所述，在上述实施例I中球状部件151进行转动，而在本实施例中球状部件仅进行旋转，除此之外，本实施例的静电感应型发电装置100也能够得到与上述实施例I相同的效果。另外，在上述实施例I中，4个球状部件151对第I基板120的支撑位置可以变化，而在本实施例中是不变化的，因而具有能够进行更稳定的支撑的优点。并且，需要提高相对于作为定位基准的第2基准面的尺寸精度。因此，与像上述实施例I那样将槽的底面作为第2基准面的情况相比，将孔的底面作为第2基准面能够减小第2基准面的尺寸，因而具有进ー步提高尺寸精度的优点。尤其是在通过树脂成形来制作框体的情况下，还必须考虑翘曲的影响，因而将孔的底面作为第2基准面更容易制作。另外，关于凹陷部分的区域，是孔的区域比槽小，因而也具有孔结构时的框体的强度更强的优点。并且，在装配时，在将球状部件配置在槽中的状态下，将导致球状部件在槽内转动，而在将球状部件配置在孔中的状态下，球状部件不转动，因而本实施例也具有装配作业容易进行的优点。(实施例3)图10和图11示出了本发明的实施例3。在上述实施例I中示出了作为限定部件的旋转部件是球状部件的情况，而在本实施例中示出旋转部件是滚子(roller)的情況。关于其它结构及作用与实施例I相同，因而对相同的构成部分标注相同的标号并省略其说明。图10是本实施例的静电感应型发电装置的示意性剖视图，是从上表面侧观察装置内部的图。图11是本实施例的静电感应型发电装置的示意性剖视图，是相当于图10中的AA剖面的图。
在本实施例中，被配置于引导槽112中的作为限定部件的旋转部件是滚子152。这样，除了旋转部件不是球状部件而是滚子之外，其它与上述实施例I示出的结构相同。另外，关于滚子152的材料，适合采用金属和陶瓷。并且，引导槽112的槽宽构成为，相对于球状部件151的直径扩大预定的空隙量，以便不妨碍滚子152的转动，而且能够抑制滚子152的偏斜。在如上所述构成的本实施例的静电感应型发电装置100中，当然也能够得到与实施例I相同的效果。另外，在旋转部件采用滚子的情况下，也可以采用与上述实施例2的情况同样地定位于定位孔内的结构。(其它)在上述实施例中示出了这样的示例，即采用使第I基板120构成为可以相对于框体110移动、并使第2基板130固定于框体110的结构，由此第I基板和第2基板相对往返移动。这基于如下观点，即由于用于取出电カ的配线与第2基板电气连接，因而优选第2基板被固定。但是，不一定需要将第2基板固定。因此，也可以是，将第I基板固定于框体110，并使第2基板相对于框体110移动，由此使第I基板和第2基板相对往返移动。并且，也可以是，第I基板和第2基板构成为都可以相对于框体110移动，由此第I基板和第2基板相对往返移动。标号说明100静电感应型发电装置；110框体；111第I基准面；112弓丨导槽；112a第2基准面；113定位孔；113a第2基准面；120第I基板；121基底基板；122玻璃基板；123驻极体；124屏蔽电极；130第2基板；131基底基板；132玻璃基板；133第I电极；134第2电极；141,142弹簧；151球状部件；152滚子；160负荷。
权利要求
1.一种静电感应型发电装置，该静电感应型发电装置具有 第I基板和第2基板，它们构成为在保持彼此相对的状态的同时能够相对移动； 驻极体，其设置在第I基板上； 第I电极和第2电极，它们设置在第2基板的与所述驻极体相对的一面侧；以及 框体，其收纳第I基板和第2基板， 随着第I基板与第2基板的相对位置的变化，所述驻极体与第I电极之间的位置关系以及所述驻极体与第2电极之间的位置关系分别发生变化，由此所述驻极体与第I电极之间的静电电容以及所述驻极体与第2电极之间的静电电容分别发生变化，从而输出电力，其特征在于， 所述静电感应型发电装置具有用于使第I基板与第2基板的相对面之间的距离固定的限定部件， 在所述框体设有 第I基准面，第I基板和第2基板中一个基板的与另一个基板相对的相对面侧固定于该第I基准面，而且该第I基准面成为该一个基板的与所述相对面垂直的方向的定位基准；以及 第2基准面，所述限定部件在可以滑动的状态下与该第2基准面接触，而且该第2基准面成为该限定部件的与所述相对面垂直的方向的定位基准， 所述限定部件在可以滑动的状态下与所述另一个基板的与所述一个基板相对的相对面侧接触。
2.根据权利要求I所述的静电感应型发电装置，其特征在于，所述限定部件是与所述另一个基板的移动联动地旋转的旋转部件。
3.根据权利要求2所述的静电感应型发电装置，其特征在于，所述旋转部件是球状部件。
4.根据权利要求2所述的静电感应型发电装置，其特征在于，所述旋转部件是滚子。
5.根据权利要求2 4中任意一项所述的静电感应型发电装置，其特征在于，在所述框体设有以所述旋转部件能够转动的方式引导该旋转部件的引导槽，该引导槽的底面是所述第2基准面。
6.根据权利要求I 5中任意一项所述的静电感应型发电装置，其特征在于，所述一个基板在沿与所述相对面垂直的方向观察时为四边形，所述第I基准面分别设置在该一个基板的4个角部。
全文摘要
本发明提供一种能够容易地提高一对基板的相对面之间的距离的精度的静电感应型发电装置，其特征在于，该静电感应型发电装置具有用于使第1基板(120)与第2基板(130)的相对面之间的距离固定的球状部件(151)，并且在所述框体(110)设有第1基准面(111)，其固定第2基板(130)的与第1基板(120)相对的一面侧，而且该第1基准面成为第2基板(130)的与所述相对面垂直的方向的定位基准；以及第2基准面(112a)，其在球状部件(151)可以滑动的状态下与该球状部件接触，而且该第2基准面成为球状部件(151)的与所述相对面垂直的方向的定位基准，球状部件(151)在可以滑动的状态下与第1基板(120)的与第2基板(130)相对的一面侧接触。
文档编号H02N1/08GK102640411SQ20108005400
公开日2012年8月15日 申请日期2010年12月24日 优先权日2010年1月14日
发明者冈田亘, 樱井显治, 生田雅代 申请人:欧姆龙株式会社