1.一种高频氧化硅机专用滤波补偿装置，其特征在于，包括接入端、第一电流互感器、第一电抗器、第二电流互感器、三个无源滤波模块和高频氧化硅机接口，所述接入端串联第一电流互感器再串联第一电抗器，所述第一电抗器另一端连接高频氧化硅机接口及第二电流互感器，所述第二电流互感器与三个无源滤波模块串联。
2.根据权利要求1所述的高频氧化硅机专用滤波补偿装置，其特征在于：所述第一电抗器与第二电流互感器之间串联隔离开关与交流接触器。
3.根据权利要求1所述的高频氧化硅机专用滤波补偿装置，其特征在于：所述高频氧化硅机接口与第一电抗器之间设有第三电流互感器。
4.根据权利要求1所述的高频氧化硅机专用滤波补偿装置，其特征在于，所述无源滤波模块包括电容组件和第二电抗器，所述第二电流互感器串联第二电抗器再串联电容组件。
5.根据权利要求4所述的高频氧化硅机专用滤波补偿装置，其特征在于，所述电容组件包括三个电容，所述三个电容呈三角形排布。
6.根据权利要求1所述的高频氧化硅机专用滤波补偿装置，其特征在于，所述第二电流互感器和第二电抗器之间设有空气开关。