专利名称：平衡型声波滤波装置及复合滤波器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种具有平衡-不平衡转换功能的平衡型声波滤波装置，特别是涉及 一种改善了形成在压电基板上的接地布线和接地端子的配置的声波滤波装置及使用了该 声波滤波装置的复合滤波器。
背景技术：
近几年，在便携式电话机等中具备多个通信系统。因此，为了降低相互的通信系统 的不良影响，强烈要求通频带外的衰减量的扩大。另外，随着便携式电话机的小型化，开发 了在一个压电基板上构成两个滤波元件的小型对偶滤波芯片。作为这样的对偶滤波芯片的一例，在下述的专利文献1中，公开了如图18所示的
平衡型声波滤波装置。在平衡型声波滤波装置1000中，压电基板1002上形成有如图所示的电极结构。通 过该电极结构的形成，构成纵耦合型第一、第二声表面波滤波器1001、1001A。第一声表面波滤波器1001是具有不平衡端子1001、第一、第二平衡端子1004、 1005的具备平衡_不平衡转换功能的平衡型声表面波滤波器。声表面波滤波器1001具有 通过单端口型声表面波谐振器1006与不平衡端子1003连接的第一、第二 3IDT纵耦合谐振 器型声表面波滤波元件1007、1008。声表面波滤波元件1007、1008通过单端口型声表面波 谐振器1009、1010分别连接在第一、第二平衡端子1004、1005上。第二声表面波滤波器1001A与第一声表面波滤波器1001的构成相同。因此，通过 在第一声表面波滤波器1001的说明中使用的参照符号上附加A的参照符号，将第一声表面 波滤波器1001的说明援引在第二声表面波滤波器1001A的说明中。专利文献1 :W02006/003787在声波滤波装置1000中，一个压电基板2上设有具备平衡-不平衡转换功能的第 一、第二声表面波滤波器1001、1001A。而且，通过线路1011、1011A，将声表面波滤波器1001 中与平衡端子1004或1005连接的IDT即平衡侧IDT的接地侧端部、和第二声表面波滤波器 1001A中与第一平衡端子1004A或第二平衡端子1005A连接的平衡侧IDT的接地侧端部公 共连接，并将其连接在接地电位上。即，通过将如图18所示的公共接地端子1021连接在接 地电位上，使得平衡侧的IDT连接在接地电位上。即，通过将与平衡端子1004、1005、1004A、 1005A的任一端子连接的IDT的接地侧端部共同连接到一个接地端子1021上，实现声波滤 波装置1000的小型化。但是，在上述声波滤波装置1000中，通频带高频侧的第一、第二平衡端子1004、 1005之间和第一、第二平衡端子1004A、1005A之间的信号的平衡度并不充分，另外还存在 频带外衰减特性不充分的问题。
发明内容
本发明的目的在于消除上述现有技术的缺陷，提供一种声波滤波装置及使用了该声波滤波装置的复合滤波器，能够在比通频带更高频的通频带外的频域中提高从第一、第 二平衡端子间获得的信号的平衡度且能够改善频域外衰减特性。根据本申请的第一发明，提供一种具有不平衡端子、第一、第二平衡端子的平衡型 声波滤波装置，该平衡型声波滤波装置的特征在于，具备压电基板；纵耦合型第一声波滤 波元件，其设置在所述压电基板上，连接在不平衡端子与第一平衡端子之间，具有在声波传 播方向上按顺序配置的第二、第一、第三IDT、和在配置有第一 第三IDT的区域的声波传 播方向两侧配置的第一、第二反射器；和纵耦合型第二声波滤波元件，其在所述压电基板 的设有所述第一声波滤波元件的部分的声波传播方向上与所述第一声波滤波元件隔开配 置，连接在不平衡端子与第二平衡端子之间，具有在声波传播方向上按顺序配置的第五、第 四、第六IDT、和在配置有第四 第六IDT的区域的声波传播方向两侧配置的第三、第四反 射器；针对输入信号的第一声波滤波元件的输出信号的相位，与针对所述输入信号的所述 第二声波滤波元件的输出信号的相位相差180°，该平衡型声波滤波装置还具备第一接 地端子，其设置为比所述第一、第二声波滤波元件更靠不平衡端子侧、且比第一、第二声波 滤波元件间的中点更靠第一声波滤波元件侧，与所述第二、第三、第五及第六IDT的各一端 或者所述第一、第四IDT的各一端电连接；第三接地端子，其与所述第二、第三、第五及第六 IDT的各一端或者所述第一、第四IDT的各一端电连接，配置成相对于第一、第二声波滤波 元件间的中点与所述第一接地端子点对称；第一信号布线，其与所述第二、第三IDT的各另 一端或者所述第一 IDT的另一端连接，用于连接所述第一声波滤波元件和所述第一平衡端 子；第二信号布线，其与所述第五和第六IDT的各另一端或者所述第四IDT的另一端连接， 用于连接所述第二声波滤波元件和所述第二平衡端子；和第二接地端子，其设置在所述第 一、第二信号布线间所夹的区域中。另外，根据第2发明，提供一种具有不平衡端子、第一、第二平衡端子的平衡型声 波滤波装置，该平衡型声波滤波装置具备压电基板；纵耦合型第一声波滤波元件，其设置 在所述压电基板上，连接在不平衡端子与第一平衡端子之间，具有在声波传播方向上按顺 序配置的第二、第一、第三IDT、和在配置有第一 第三IDT的区域的声波传播方向两侧配 置的第一、第二反射器；和纵耦合型第二声波滤波元件，其在所述压电基板的设有所述第一 声波滤波元件的部分的声波传播方向上与所述第一声波滤波元件隔开配置，连接在不平衡 端子与第二平衡端子之间，具有在声波传播方向上按顺序配置的第五、第四、第六IDT、和在 配置有第四 第六IDT的区域的声波传播方向两侧配置的第三、第四反射器；针对输入信 号的第一声波滤波元件的输出信号的相位，与针对所述输入信号的第二声波滤波元件的输 出信号的相位相差180°，该平衡型声波滤波装置还具备第一接地端子，其设置为比所述 第一、第二声波滤波元件更靠不平衡端子侧、且比第一、第二声波滤波元件间的中点更靠第 一声波滤波元件侧，并且连接有所述第二、第三、第五及第六IDT ；第三接地端子，其连接有 所述第二、第三、第五及第六IDT，配置成相对于第一、第二声波滤波元件间的中点与所述 第一接地端子点对称；第一信号布线，其用于连接所述第一声波滤波元件的第一 IDT和所 述第一平衡端子；第二信号布线，其用于连接所述第二声波滤波元件的第四IDT和所述第 二平衡端子；和第二接地端子，其设置在所述第一、第二信号布线所夹的区域中；所述第二 IDT的与所述第一接地端子连接的接地端未直接连接在第一接地端子上，而是经由连接在 所述第三IDT的接地电位上的端部与第一接地端子连接。此时，由于第二 IDT的接地端通过连接在第三IDT的接地电位上的端部而与第一接地端子连接，因此从第二 IDT的接地端到 第一接地端子的线路比靠近第一接地端子侧的IDT的接地端与第一接地端子间的线路长， 所以能够进一步改善通频带高频侧的平衡度和衰减特性。根据本申请的第3发明，提供一种平衡型声波滤波装置，具有不平衡端子和第一、 第二平衡端子，其特征在于，该平衡型声波滤波装置是纵耦合谐振器型平衡型声波滤波装 置，具备压电基板；配置在所述压电基板上的第一 IDT ；配置在第一 IDT的声波传播方向 两侧的第二、第三IDT ；在配置有第一 第三IDT的部分的声波传播方向两侧配置的第四、 第五IDT ；和在配置有第一 第五IDT的部分的声波传播方向两侧配置的第一、第二反射 器；并且具有不平衡端子和第一、第二平衡端子，该平衡型声波滤波装置还具备第一接 地 端子，其在所述压电基板上设置为比所述第一 第五IDT更靠所述不平衡端子侧、且比所 述第一 IDT的中心更靠第四IDT方向；第一、第二信号布线，分别将所述第二、第三IDT的各 一端连接到所述第一和第二平衡端子上；第二接地端子，其设置在所述第一、第二信号布线 所夹的区域中；和第三接地端子，其配置成相对于设有所述第一 第五IDT的部分的中心 点与所述第一接地端子点对称；所述第一、第四及第五IDT的各一端连接在所述不平衡端 子上，各另一端连接在所述第二接地端子上，第三IDT的极性与第二 IDT的极性相反，所述 第二、第三IDT的各一端连接在所述第一、第二信号布线上，各另一端连接在所述第一接地 端子上，所述第二 IDT的与接地端子连接的一侧的端部和所述第三IDT的与接地端子连接 的一侧的端部，在比平衡型声波滤波装置的中心更靠第四IDT侧与第一接地端子连接，并 且在比平衡型声波滤波装置的中心更靠第五IDT侧与第三接地端子连接。根据第4发明，提供一种平衡型声波滤波装置，其特征在于，该平衡型声波滤波装 置是纵耦合谐振器型平衡型声波滤波装置，具备压电基板；配置在所述压电基板上的第 一 IDT ；配置在第一 IDT的声波传播方向两侧的第二、第三IDT ；在配置有第一 第三IDT的 部分的声波传播方向两侧配置的第四、第五IDT ；和在配置有第一 第五IDT的部分的声波 传播方向两侧配置的第一、第二反射器；并且具有不平衡端子和第一、第二平衡端子，所述 第二和第三IDT的各一端连接在所述不平衡端子上，该平衡型声波滤波装置具有在声波 传播方向上将所述第一 IDT分割而设置的第一分割IDT部和第二分割IDT部；和连接该第 一、第二分割IDT部的各另一端而构成的中点部；所述第一分割IDT部和所述第四IDT连 接在所述第一平衡端子上，所述第二分割IDT部和所述第五IDT连接在所述第二平衡端子 上，所述第三IDT的极性与所述第二 IDT的极性相反，该平衡型声波滤波装置还具备第一 接地端子，其在所述压电基板上设置为比所述第一 第五IDT更靠所述不平衡端子侧且比 第一 IDT的中心更靠第四IDT侧；第一信号布线，其将所述第四IDT的一端和所述第一分割 IDT部的一端连接到所述第一平衡端子上；第二信号布线，其将所述第五IDT的一端和所述 第二分割IDT部的一端连接到所述第二平衡端子上；第二接地端子，其设置在所述第一信 号布线与所述第二信号线所夹的区域中，并且与所述第二和第三IDT的各另一端连接；和 第三接地端子，其配置成相对于设有所述第一 第五IDT的部分的中心点与所述第一接地 端子点对称；所述第四IDT的另一端、所述中点部、所述第五IDT的另一端，在第四IDT侧与 第一接地端子连接，并且在第五IDT侧与所述第三接地端子连接。本发明的复合滤波器的特征在于具备根据本发明而构成的平衡型声波滤波装置。另外，优选所述复合滤波器具有所述平衡型声波滤波装置和不同于该平衡型声波滤波装置的声波滤波装置，所述平衡型声波滤波装置和该其它声波滤波装置设置在一个压 电基板上，所述平衡型声波滤波装置和所述其它声波滤波装置共用所述第一接地布线。因 此，能够改善通频带外的信号的平衡度，且能够提供通频带外衰减特性更好的复合滤波器。(发明效果)在本申请的第1 第4发明中，由于上述第一接地端子靠近不平衡端子侧且在声 波传播方向上靠向一侧而设置，并且相对于设有多个IDT的部分的中心与第一接地端子点 对称地配置第三接地端子，因此，连接在平衡端子上的IDT间的接地的影响相近。因此，能 够减小比通频带更高的高频侧的第一、第二平衡端子间的衰减特性差，能够改善衰减特性， 并且能够改善第一、第二平衡端子间的信号的平衡度。
图1是表示本发明的第1实施方式的复合滤波器的示意俯视图。图2是表示为了与第1实施方式的复合滤波器进行比较而准备的第1比较例的复 合滤波器的示意俯视图。图3是表示第1实施方式和第1比较例的复合滤波器的各声波滤波装置的衰减量 的差动特性的图。图4是表示第1实施方式和第1比较例的声波滤波装置的第一平衡端子侧的衰减 特性S21和第二平衡端子侧的衰减特性S31的图。图5是表示第1实施方式和第1比较例的声波滤波装置的振幅平衡特性的图。图6是表示扩大表示图5的频率范围的振幅平衡特性的图。图7是表示第1实施方式和第1比较例的声波滤波装置的相位平衡特性的图。图8是表示扩大表示图7的相位平衡特性的频率范围的图。图9是表示第1实施方式和第1比较例的声波滤波装置的共模衰减特性的图。图10是扩大表示图9所示的共模衰减特性的频率范围的图。图11是本发明的第2实施方式的复合滤波器的示意俯视图。图12是表示第2实施方式的第一平衡端子侧的衰减特性S21和第二平衡端子侧 的衰减特性S31的图。图13是表示第2实施方式的声波滤波装置的第一、第二平衡端子间的衰减特性的 差动特性的图。图14是表示第2比较例的声波滤波装置的第一、第二平衡端子的各衰减特性S21、 S31的图。图15是表示第2比较例的声波滤波装置的第一、第二平衡端子间的衰减特性的差 动特性的图。图16是本发明的第3实施方式的复合滤波器的示意俯视图。图17是第3实施方式的变形例的声波滤波装置的示意俯视图。图18是表示现有声波滤波装置的一例的示意俯视图。图中1_复合滤波器；2-压电基板；3、4_接收用滤波器；6-不平衡端子；7_第一 平衡端子；8_第二平衡端子；9-不平衡端子；10-第一平衡端子；11-第二平衡端子；12-单 端口型声表面波谐振器；13-第一声波滤波元件；14-第二声波滤波元件；21-第一 IDT ；22-第二 IDT ；23-第三IDT ；24-第四IDT ；25-第五IDT ；26-第六IDT ；27-单端口型声表面波谐振器；28-单端口型声表面波谐振器；31 34-反射器；41、42_声表面波滤波元件； 51 53-IDT ；54 56-IDT ；57、58_反射器；59、60_反射器；61-第一接地端子；62 64-线 路；62A-线路；65-第三接地端子；66-线路；66A-线路；66B-线路；67-第二接地端子； 68-第一信号布线；69-第二信号布线；101-复合滤波器；201-复合滤波器；203-接收用滤 波器；204-接收用滤波器；221-第一 IDT ；221A-第一 IDT ；221a、221b_ 分割 IDT 部；222-H 二 IDT ；223-第三 IDT ；224-第四 IDT ；225-第五 IDT ；226,227-反射器；231 235-第 ——第五IDT ；236,237-反射器；242-接地端子；243-第一信号布线；244-第二信号布线； 245-第三接地端子；262-线路。
具体实施例方式图1是本发明的一实施方式的声波滤波装置所具备的复合滤波器的示意俯视图。 本实施方式的复合滤波器是在一个压电基板2上构成了 GSM900接收用滤波器和GSM1800 接收用滤波器的声表面波装置。GSM900接收用滤波器3的通频带是925 960MHz，GSM1800接收用滤波器4的通 频带是1805 1880MHz。通过在压电基板2上形成如图所示的电极结构，构成都具有平衡_不平衡转换功 能的GSM900接收用滤波器3和GSM1800接收用滤波器4。GSM900接收用滤波器3具有不 平衡端子6、第一、第二平衡端子7、8。同样，GSM1800接收用滤波器4具有不平衡端子9、第 一、第二平衡端子10、11。将不平衡端子6、9侧的阻抗设成50 Ω，第一、第二平衡端子7、8、 10、11侧的阻抗设成100 Ω。另外，接收用滤波器3、4是具有如图所示的电极结构的声表面波滤波装置。因此， 接收用滤波器3、4是具备平衡_不平衡转换功能和阻抗变换功能的声表面波滤波装置。在本实施方式的复合滤波器1中，上述接收用滤波器3、4内的GSM1800接收用滤 波器4是本发明的一实施方式的平衡型声波滤波装置。GSM1800接收用滤波器4具有连接在不平衡端子9上的单端口型声表面波谐振器 12。通过单端口型声表面波谐振器12，向不平衡端子9连接3IDT型的第一、第二声波滤波 元件13、14。第一、第二声波滤波元件13、14都是3IDT型纵耦合型声表面波滤波器。第一声波滤波元件13具有第一 IDT21、配置于第一 IDT21的声表面波传播方向两 侧的第二、第三IDT22、23。即，沿着声表面波传播方向，按照第二 IDT22、第一 IDT21、第三 IDT23的顺序配置IDT21 IDT23。设有IDT21 IDT23的区域的表面波传播方向两侧配 置有第一、第二反射器31、32。另一方面，在第二声波滤波元件14中，沿着声表面波传播方向，按照第五IDT25、 第四IDT24、第六IDT26的顺序配置IDT24 IDT26。在设有第四 第六IDT24 IDT26的 区域的表面波传播方向两侧，配置有第三、第四反射器33、34。第二声波滤波元件14在第一 声波滤波元件13的声波传播方向上与第一声波滤波元件13隔开配置。第一声波滤波元件13的第一 IDT21的一端通过单端口型声表面波谐振器12连接 在不平衡端子9上，并且另一端连接在接地电位上。第二、第三IDT22、23的各一端连接在接 地电位上，各另一端连接在一起并通过声表面波谐振器27连接在第一平衡端子10上。另夕卜，在第二声波滤波元件14中，也通过单端口型声表面波谐振器12将中央的第四IDT24的 一端连接在不平衡端子9上。另一方面，第五、第六IDT25、26的一端连接在接地电位上，各 另一端连接在一起并通过单端口型声表面波谐振器28连接在第二平衡端子11上。另一方面，GSM900接收用滤波器3具有两级级联连接了 3IDT型的第一、第二纵耦 合谐振器型声表面波滤波元件41、42的结构。声表面波滤波元件41中，在声表面波传播方 向上按照第二、第一、第三IDT52、51、53的顺序配置这些IDT。第二声表面波滤波元件42 中，在声表面波传播方向上按照第五、第四、第六IDT55、54、56的顺序配置这些IDT。设有 IDT51 53的部分的声表面波传播方向两侧配置有反射器57、58，设有IDT54 56的区域 的声表面波传播方向两侧配置有反射器59、60。这里，第一 IDT51的一端连接不平衡端子 6，另一端连接接地电位。IDT52、53的各一端连接在一起，并连接后述的第一接地端子61。 IDT52、53的各另一端连接IDT55、56的各一端，IDT55、56的各另一端连接在一起。IDT54的 一端连接第一平衡端子7，另一端连接第二平衡端子8。IDT51的另一端连接接地电位。另 夕卜，反射器58连接IDT53的接地端，且反射器58连接反射器60、IDT56的接地端、IDT55的 接地端、反射器59和反射器57。但是，在压电基板2上形成上述电极结构时，为了做到小型化，通常将连接在接地 电位上的多个部分连接在一起。这里，在作为本实施方式的声波滤波装置的GSM1800接收 用滤波器4中，IDT22、23的接地端通过线路62连接在一起，且第二 IDT22的接地端通过线 路63连接在第一接地端子61上。另一方面，IDT23的接地端与反射器32、33以及IDT25的 接地端电连接。IDT25的接地端和第六IDT26的接地端通过线路64连接在一起。因此，与 平衡端子10或平衡端子11连接的平衡侧IDT即IDT22、23、25、26的接地端连接到第一接 地端子61。另一方面，IDT26的接地端与反射器34电连接，反射器34连接到第三接地端子 65。另外，连接在不平衡端子9上的第一、第四IDT21、24的接地端通过线路66连接在 一起，并连接到第二接地端子67上。将第一 第三接地端子61、65、67都安装在印刷电路基板等上时，各接地端子分 别与连接接地电位的焊盘连接。这里，第一接地端子61配置为比第一、第二声波滤波元件13、14间的中心更靠第 一声波滤波元件13侧，且比第一、第二声波滤波元件13、14更靠不平衡端子9侧。这是由 于在复合滤波器1中压电基板2上构成了 GSM900接收用滤波器3和GSM1800接收用滤波 器4，为了在两个接收用滤波器3、4之间共用第一接地端子61。为了在接收用滤波器3、4中 共用第一接地端子61，需在接收用滤波器3与接收用滤波器4之间设置第一接地端子61， 并且分别在第一接地端子61的两侧配置不平衡端子6、9。另一方面，通过线路66将连接在不平衡端子9上的第一 IDT21和第四IDT24的接 地端连接在一起，使得第一、第四IDT21、25共用第二接地端子67。在第一、第二信号布线68、69之间所夹的区域中设置该第二接地端子67。另外，第 一信号布线68是将第一声波滤波元件13的第二、第三IDT22、23连接在第一平衡端子10上 的信号布线。同样，第二信号布线69是将第二声波滤波元件14的第五、第六IDT25、26连 接在第二平衡端子11上的信号布线。
本实施方式的特征在于，在相对于第一、第二声波滤波元件13、14间的中心与上述第一接地端子61点对称的位置处设置了第三接地端子65。如上所述，第三接地端子65 通过反射器34与作为平衡侧的IDT的IDT26连接。另外，IDT26的接地端通过线路64与 同样作为平衡侧的IDT的IDT25的接地端连接。因此，在本实施方式的声波滤波装置GSM1800接收用滤波器4中，第一声波滤波元 件13侧的平衡侧的IDT即第二、第三IDT22、23的接地端与第一接地端子61之间的距离，接 近第二声波滤波元件14侧的平衡侧的IDT即第五、第六IDT25、26的接地端与第三接地端 子65之间的距离。因此，由于作为平衡侧IDT的IDT22、23的接地的阻抗影响接近IDT25、 26的接地的阻抗影响，所以在第一、第二平衡端子10、11间能够改善通频带外且通频带高 频侧的平衡度，并且能够改善通频带外高频侧的衰减特性。即，能够减小比通频带更靠高频 侧的第一、第二平衡端子间的衰减特性之差。具体而言，基于实验例说明该效果。为了进行比较，准备如图2所示的第一比较例的复合滤波器1021。在复合滤波器 1021中，除了没有设置第三接地端子65以外，构成为与上述第1实施方式的复合滤波器1 相同的结构。因此，通过在相同部分附加相同的参照符号来省略其说明。图3是表示上述第1实施方式和第1比较例的复合滤波器中各GSM1800接收用滤 波器4的衰减量的第一、第二平衡端子10、11间的差动特性的图，实线表示第1实施方式的 结果，虚线表示第1比较例的结果。GSM1800接收用滤波器4的通频带是1805 1880MHz， 在比该通频带更高的高频侧，与第1比较例相比，通过第1实施方式能够改善第一、第二平 衡端子间的衰减量的差动特性。另外，图4表示第1实施方式和第1比较例的接收用滤波器4的第一平衡端子10 侧的衰减特性S21和第二平衡端子11侧的衰减特性S31。在图4中，实线和虚线表示上述 第1实施方式和第1比较例的接收用滤波器4的第二平衡端子11侧的衰减量频率特性S31， 单点划线和双点划线分别表示第1实施方式和第1比较例的接收用滤波器4的第一平衡端 子10侧的衰减量频率特性S21。由图4可知，与第1比较例相比，通过第1实施方式，扩大了比通频带1805 1880MHz更高的高频侧即3000MHz以上的频域中的衰减量。另外，图5和图6是表示上述第1实施方式和第1比较例的各接收用滤波器4的 振幅平衡特性的图，图6是扩大表示图5的频率范围的图。在图5和图6中，实线表示第1 实施方式的结果，虚线表示第1比较例的结果。另外，图7和图8是表示上述第1实施方式和第1比较例的各接收用滤波器4的 相位平衡特性的图，图8是扩大表示图7的频率范围的图。在图7和图8中，实线表示第1 实施方式的结果，虚线表示第1比较例的结果。图9和图10是表示上述第1实施方式和第1比较例的各接收用滤波器4的共模 衰减特性的图，图10是扩大表示图9的频率范围的图。在图9和图10中，实线表示第1实 施方式的结果，虚线表示第1比较例的结果。由图5 图10可知，在比通频带1805 1880MHz更高的高频侧即3000MHz以上 的频域中，与第1比较例相比，通过第1实施方式振幅平衡特性、相位平衡特性以及共模衰 减量的任一项都得到了改善。S卩，由于与第1比较例相比，通过第1实施方式，在振幅平衡特性中在宽的频带内接近于OdB，而且在相位平衡特性中接近于180°，因此能够改善平衡度。图11是本发明的第2实施方式的复合滤波器的示意俯视图。第2实施方式的复 合滤波器101除了在第一接地端子61与第二 IDT22的电连接结构上不同于第1实施方式 的复合滤波器1之外，其他构成与第1实施方式相同。因此，通过在相同部分附加相同的参 照符号来省略其说明。在第2实施方式的复合滤波器101中，与第1实施方式同样，将第一接地端子61 配置为比第一、第二声波滤波元件13、14更靠不平衡端子9侧，且更靠近第一声波滤波元件 13侧。而且，第一接地端子61通过线路62A电连接在第一声波滤波元件13的第三IDT23 上，但是线路62A未连接在第二 IDT22的接地端上。即，反射器31的端部通过线路66A电 连接到使第一、第四IDT21、25的接地端公共连接的线路66上。而且，第二 IDT22的接地端 通过上述反射器31连接在上述线路66A上。因此，第二 IDT22的接地端未与第一接地端子 61直接连接。反射器31通过接地线路66A、线路66连接在第二接地端子67上，并且还通 过连接在线路66上的线路66B与反射器34和第三接地端子65连接。如上所述，第二 IDT22并未与第一接地端子61直接连接，而是通过上述反射器31、 线路66A、线路66、线路66B、反射器34、线路64以及线路62A连接。因此，与第1实施方式相比，缓和了第一接地端子61对第一声波滤波元件13侧的 平衡侧的IDT即IDT22、23的接地侧端部的影响，平衡侧的IDT即IDT22、23的接地程度接 近于第二声波滤波元件14侧的平衡侧的IDT即IDT25、26的接地程度。由此，与第1实施 方式相比，能够进一步改善比通频带更高的高频侧的通频带外的平衡度和衰减特性。参照 图12 图15说明该效果。图12表示上述第2实施方式的第一平衡端子的衰减特性S21和第二平衡端子的 衰减特性S31。实线表示第一平衡端子的衰减特性S21，虚线表示第二平衡端子的衰减特性 S31。另外，图13表示第一、第二平衡端子间的差动特性。为了进行比较，准备除了未设置第三接地端子65外与上述第2实施方式的复合滤 波器101的构成相同的第2比较例(未图示)。图14表示第2比较例的第一、第二平衡端 子的衰减特性，图15表示第一、第二平衡端子间的衰减特性的差动特性。另外，图14的实 线表示第一平衡端子的衰减特性S21，虚线表示第二平衡端子的衰减特性S31。将图12和图13与图14和图15比较可知，与第2比较例相比，通过第2实施方式， 能够在比通频带更高的高频侧即3000MHz以上的频带中改善第一、第二平衡端子间的差动 特性，能够实现平衡度的改善。特别是将图12和图13与图4和图3比较可知，与第1实施方式相比，通过第2实 施方式，能够进一步改善平衡度和比通频带更高的高频侧的衰减量的差动特性。图16是本发明的第3实施方式的复合滤波器的示意俯视图。第3实施方式的复合滤波器201中，在压电基板2上形成有通频带为1805 1880MHz的DCS接收用滤波器203和通频带为1930 1990MHz的PCS接收用滤波器204。接收用滤波器203、204都是5IDT型纵耦合谐振器型声表面波滤波元件。如本实施方式所示，除3IDT型外，也可以使用5IDT型纵耦合谐振器型声波滤波
ο另外，第3实施方式的平衡型声波滤波装置是复合滤波器201中的上述接收用滤波器204。接收用滤波器204连接在不平衡端子9与第一、第二平衡端子10、11之间。另外，接收用滤波器203连接在不平衡端子6与第一、第二平衡端子7、8之间。PCS接收用滤波器204中，在第一 IDT221的声表面波传播方向两侧配置有第二、第 三IDT222、223，在配置有IDT221 223的区域的声表面波传播方向两侧配置有第四、第五 IDT224、225。通过声表面波谐振器12将第一 IDT221、第四和第五IDT224、225的各一端公 共连接到不平衡端子9上。第一 IDT221和第四、第五IDT224、225的各另一端连接在一起 并连接在第二接地端子67上。第二 IDT222的一端与第三IDT223的一端通过线路262连 接在一起，并连接在第一接地端子61上。另一方面，第二 IDT222的另一端通过第一信号布线68连接在第一平衡端子10 上。另外，第三IDT223通过第二信号布线69连接在第二平衡端子11上。在本实施方式中， 第二接地端子67也被设置在第一、第二信号布线68、69间的区域中。另外，第五IDT225的接地端连接在反射器227上，且反射器227连接在第三接地 端子65上。在本实施方式中，第一接地端子61也配置为比作为声波滤波元件的接收用滤波 器4更靠不平衡端子9侧，且在相对于接收用滤波器204的中心与第一接地端子61点对称 的位置处设置第三接地端子65。这里，接收用滤波器204的中心是指设有5IDT型声表面波 滤波元件的第一 第五IDT221 225的部分的中心。因此，本实施方式中，在第一平衡端子10侧的IDT即第二 IDT222侧和第二平衡端 子11侧的IDT即第三IDT223侧，接地阻抗的影响也相等，由此，与第1实施方式同样，能够 改善平衡度，且能够改善通频带在高频侧的第一、第二平衡端子间的衰减特性的差动特性。另外，在图16中，也在DCS接收用滤波器203侧，在声波传播方向上按照第四 IDT234、第二 IDT232、第一 IDT231、第三IDT233、第五IDT235的顺序配置这些IDT来作为第 ——第五IDT。另外，反射器236、237配置在设有第一 第五IDT231 235的区域的声波 传播方向两侧。在接收用滤波器203中，将第一 IDT231和第四、第五IDT234、235的各一端连接在 一起，并通过声表面波谐振器241连接到不平衡端子6上。IDT231、234、235的各另一端连 接在一起，并连接到接地端子242上。第二 IDT232通过第一信号布线243进一步连接在第 一平衡端子侧。通过第二信号布线244，第三IDT233连接在第二平衡端子的位置处。接地 端子242配置在第一、第二信号布线243、244之间。在接收用滤波器203中，如虚线所示，优选将连接在反射器236上的第三接地端子 245设置成相对于接收用滤波器203的中心与第一接地端子61点对称。这里，接收用滤波 器203的中心是设置有第一 第五IDT231 235的区域的中心。由此，在接收用滤波器203侧，也能够改善第一、第二平衡端子7、8间的比通频带 更高的高频侧的平衡度以及衰减特性的差动特性。另外，在图16中，作为第3实施方式的声波滤波装置，在接收用滤波器204中，采 用了第一、第四及第五IDT221、224、225连接在不平衡端子上的IDT，但是在5IDT型纵耦合 谐振器型声波滤波装置中也可以是将第一、第四及第五IDT连接在平衡端子上的IDT。作 为这样的变形例，能够列举如图17所示的5IDT型纵耦合谐振器型滤波器。这里，中央的第一 IDT221A具有通过在声波传播方向上将IDT分割成两个而设置的第一、第二分割IDT部 221a、221b。第一分割IDT部221a、第四IDT224的各一端连接在第一平衡端子10上。第二 分割IDT部221b和第五IDT225的各一端连接在一起，并连接在第二平衡端子11上。此时， 第二、第三IDT222、223的各一端连接在一起，并连接在不平衡端子9上。此时，连接在第四 IDT224的接地电位上的端部也被连接在第一接地端子61上，只要将连接在第五IDT225的 接地电位上的一侧端部，连接到配置成相对于接收用滤波器204的中心与第一接地端子61 点对称的第三接地端子65上即可。 连接第一、第二分割IDT部221a、221b的各另一端而构成中点部221c。在图17 中，中点部221c连接在第一接地端子61上。中点部221c也可以从连接在接地电位上的布 线电浮置。
另外，在第1 第3实施方式中，使用了声表面波滤波元件，但是本发明也可以由 利用声界面波元件的声波滤波装置来代替声表面波滤波元件。
权利要求
一种平衡型声波滤波装置，具有不平衡端子和第一、第二平衡端子，其特征在于，具备压电基板；纵耦合型第一声波滤波元件，其设置在所述压电基板上，连接在不平衡端子与第一平衡端子之间，具有在声波传播方向上按顺序配置的第二、第一、第三IDT、和在配置有第一～第三IDT的区域的声波传播方向两侧配置的第一、第二反射器；和纵耦合型第二声波滤波元件，其在所述压电基板的设有所述第一声波滤波元件的部分的声波传播方向上与所述第一声波滤波元件隔开配置，连接在不平衡端子与第二平衡端子之间，具有在声波传播方向上按顺序配置的第五、第四、第六IDT、和在配置有第四～第六IDT的区域的声波传播方向两侧配置的第三、第四反射器；针对输入信号的第一声波滤波元件的输出信号的相位，与针对所述输入信号的所述第二声波滤波元件的输出信号的相位相差180°，该平衡型声波滤波装置还具备第一接地端子，其设置为比所述第一、第二声波滤波元件更靠不平衡端子侧、且比第一、第二声波滤波元件间的中点更靠第一声波滤波元件侧，与所述第二、第三、第五及第六IDT的各一端或者所述第一、第四IDT的各一端电连接；第三接地端子，其与所述第二、第三、第五及第六IDT的各一端或者所述第一、第四IDT的各一端电连接，配置成相对于第一、第二声波滤波元件间的中点与所述第一接地端子点对称；第一信号布线，其与所述第二、第三IDT的各另一端或者所述第一IDT的另一端连接，用于连接所述第一声波滤波元件和所述第一平衡端子；第二信号布线，其与所述第五和第六IDT的各另一端或者所述第四IDT的另一端连接，用于连接所述第二声波滤波元件和所述第二平衡端子；和第二接地端子，其设置在所述第一、第二信号布线间所夹的区域中。
2.一种平衡型声波滤波装置，具有不平衡端子和第一、第二平衡端子，其特征在于，具备压电基板；纵耦合型第一声波滤波元件，其设置在所述压电基板上，连接在不平衡端子与第一平 衡端子之间，具有在声波传播方向上按顺序配置的第二、第一、第三IDT、和在配置有第一 第三IDT的区域的声波传播方向两侧配置的第一、第二反射器；和纵耦合型第二声波滤波元件，其在所述压电基板的设有所述第一声波滤波元件的部分 的声波传播方向上与所述第一声波滤波元件隔开配置，连接在不平衡端子与第二平衡端子 之间，具有在声波传播方向上按顺序配置的第五、第四、第六IDT、和在配置有第四 第六 IDT的区域的声波传播方向两侧配置的第三、第四反射器；针对输入信号的第一声波滤波元件的输出信号的相位，与针对所述输入信号的第二声 波滤波元件的输出信号的相位相差180°， 该平衡型声波滤波装置还具备第一接地端子，其设置为比所述第一、第二声波滤波元件更靠不平衡端子侧、且比第 一、第二声波滤波元件间的中点更靠第一声波滤波元件侧，并且连接有所述第二、第三、第五及第六IDT ；第三接地端子，其连接有所述第二、第三、第五及第六IDT，配置成相对于第一、第二声波滤波元件间的中点与所述第一接地端子点对称；第一信号布线，其用于连接所述第一声波滤波元件的第一 IDT和所述第一平衡端子； 第二信号布线，其用于连接所述第二声波滤波元件的第四IDT和所述第二平衡端子；和第二接地端子，其设置在所述第一、第二信号布线所夹的区域中； 所述第二 IDT的与所述第一接地端子连接的接地端未直接连接在第一接地端子上，而 是经由连接在所述第三IDT的接地电位上的端部与第一接地端子连接。
3.一种平衡型声波滤波装置，具有不平衡端子和第一、第二平衡端子，其特征在于， 该平衡型声波滤波装置是纵耦合谐振器型平衡型声波滤波装置，具备压电基板；配置在所述压电基板上的第一 IDT ；配置在第一 IDT的声波传播方向两侧的第二、第三IDT ； 在配置有第一 第三IDT的部分的声波传播方向两侧配置的第四、第五IDT ；和在配置有第 ——第五IDT的部分的声波传播方向两侧配置的第一、第二反射器；并且具有不平衡端子 和第一、第二平衡端子，该平衡型声波滤波装置还具备第一接地端子，其在所述压电基板上设置为比所述第一 第五IDT更靠所述不平衡端 子侧、且比所述第一 IDT的中心更靠第四IDT方向；第一、第二信号布线，分别将所述第二、第三IDT的各一端连接到所述第一和第二平衡 端子上；第二接地端子，其设置在所述第一、第二信号布线所夹的区域中；和 第三接地端子，其配置成相对于设有所述第一 第五IDT的部分的中心点与所述第一 接地端子点对称；所述第一、第四及第五IDT的各一端连接在所述不平衡端子上，各另一端连接在所述 第二接地端子上，第三IDT的极性与第二 IDT的极性相反，所述第二、第三IDT的各一端连接在所述第一、第二信号布线上，各另一端连接在所述 第一接地端子上，所述第二 IDT的与接地端子连接的一侧的端部和所述第三IDT的与接地端子连接的一 侧的端部，在比平衡型声波滤波装置的中心更靠第四IDT侧与第一接地端子连接，并且在 比平衡型声波滤波装置的中心更靠第五IDT侧与第三接地端子连接。
4.一种平衡型声波滤波装置，其特征在于，该平衡型声波滤波装置是纵耦合谐振器型平衡型声波滤波装置，具备压电基板；配 置在所述压电基板上的第一 IDT ；配置在第一 IDT的声波传播方向两侧的第二、第三IDT ； 在配置有第一 第三IDT的部分的声波传播方向两侧配置的第四、第五IDT ；和在配置有第 ——第五IDT的部分的声波传播方向两侧配置的第一、第二反射器；并且具有不平衡端子 和第一、第二平衡端子，所述第二和第三IDT的各一端连接在所述不平衡端子上，该平衡型声波滤波装置具有在声波传播方向上将所述第一 IDT分割而设置的第一分 割IDT部和第二分割IDT部；和连接该第一、第二分割IDT部的各另一端而构成的中点部；所述第一分割IDT部和所述第四IDT连接在所述第一平衡端子上，所述第二分割IDT 部和所述第五IDT连接在所述第二平衡端子上，所述第三IDT的极性与所述第二 IDT的极性相反， 该平衡型声波滤波装置还具备第一接地端子，其在所述压电基板上设置为比所述第一 第五IDT更靠所述不平衡端 子侧且比第一 IDT的中心更靠第四IDT侧；第一信号布线，其将所述第四IDT的一端和所述第一分割IDT部的一端连接到所述第一平衡端子上；第二信号布线，其将所述第五IDT的一端和所述第二分割IDT部的一端连接到所述第二平衡端子上；第二接地端子，其设置在所述第一信号布线与所述第二信号线所夹的区域中，并且与 所述第二和第三IDT的各另一端连接；和第三接地端子，其配置成相对于设有所述第一 第五IDT的部分的中心点与所述第一 接地端子点对称；所述第四IDT的另一端、所述中点部、所述第五IDT的另一端，在第四IDT侧与第一接 地端子连接，并且在第五IDT侧与所述第三接地端子连接。
5.一种复合滤波器，其特征在于，具备权利要求1 4的任一项所述的平衡型声波滤 波装置。
6.根据权利要求5所述的复合滤波器，其特征在于，所述复合滤波器具有所述平衡型声波滤波装置和不同于该平衡型声波滤波装置的声 波滤波装置，所述平衡型声波滤波装置和该其它声波滤波装置设置在一个压电基板上，所 述平衡型声波滤波装置和所述其它声波滤波装置共用所述第一接地布线。
全文摘要
本发明提供一种声波滤波装置(4)，其能够改善比通频带更高的高频侧的第一、第二平衡端子间的平衡度以及衰减特性的差动特性，其中，第一、第二声波滤波元件(13、14)并联连接在不平衡端子(9)上，第一～第三IDT(21～23)内的第二、第三IDT(22、23)连接在第一平衡端子(10)上，第四～第六IDT(24～26)内的第五、第六IDT(25、26)连接在第二平衡端子(11)上，在不平衡端子(9)侧偏向第一声波滤波元件(13)侧配置第一接地端子(61)，相对于第一、第二声波滤波元件(13、14)间的中心与第一接地端子(61)点对称地配置有第三接地端子(65)。
文档编号H03H9/25GK101821945SQ20088011083
公开日2010年9月1日 申请日期2008年9月24日 优先权日2007年10月17日
发明者安田润平 申请人:株式会社村田制作所