振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体的制作方法

振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体的制作方法
【专利摘要】振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体。本发明提供一种能够以低功耗发挥优异的振动特性的振动元件，以及具有该振动元件的振子、振荡器、电子设备以及移动体。振动元件（2）具有石英基板（3），该石英基板（3）具有：基部（4）；从基部（4）起延伸的一对振动臂（5、6）；以及支承臂（71），其在振动臂（5、6）之间，在与振动臂（5、6）相同的一侧从基部（4）起延伸。并且，振动臂（5）具有臂部（51）和设置在臂部（51）前端的锤头（59）。臂部（51）具有一对主面和朝这些主面敞开的有底的槽。在本发明中，将主面的沿着与振动臂的长度方向垂直的宽度方向隔着槽排列的堤部的宽度设为6μm以下。
【专利说明】振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体

【技术领域】
[0001]本发明涉及振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体。

【背景技术】
[0002]以往公知有使用石英的振动元件(例如，参照专利文献I)。这样的振动元件由于频率温度特性优异，因此被广泛用作各种电子设备的基准频率源或振荡源等。
[0003]专利文献I所记载的振动元件呈音叉型，具有基部和从基部延伸的一对振动臂。并且，在各振动臂形成有朝其上表面及下表面敞开的一对槽。因此，各振动臂呈大致H型的横截面形状。通过将振动臂设为这样的形状，能够降低热弹性损耗，发挥优异的振动特性。但是，过去没有对槽周围的振动臂的形状(包含大小)进行充分研究。
[0004]【专利文献I】日本实开平2-32229号公报


【发明内容】

[0005]本发明的目的在于，提供一种能够以低功耗发挥优异的振动特性的振动元件，以及具有该振动元件的振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体。
[0006]本发明正是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，可作为以下应用例来实现。
[0007][应用例I]
[0008]本发明的振动元件的特征在于，该振动元件包含:基部；以及至少一个振动臂，其在俯视时从所述基部起沿着第I方向延伸，在彼此处于正反关系的一对主面的至少一个主面上设有槽，在所述振动臂的主面中，在俯视时所述振动臂的一个外缘与所述槽的所述一个外缘侧的缘部之间的沿着与所述第I方向垂直的第2方向的宽度、以及所述振动臂的另一个外缘与所述槽的所述另一个外缘侧的缘部之间的沿着所述第2方向的宽度为6μπι以下。
[0009]由此，能够比较高地维持振动元件的Q值，并且充分降低等效串联电阻值Rl (Cl值)。结果，能够得到能够以低功耗发挥优异的振动特性的振动元件。
[0010][应用例2]
[0011 ] 在本发明的振动元件中，优选的是，所述宽度为I μ m以上3 μ m以下。
[0012]由此，能够进一步减小振动元件的Rl (Cl值)，能够以更低的功耗驱动振动元件。
[0013][应用例3]
[0014]在本发明的振动元件中，优选的是，在设所述槽的最大深度为t [ μ m]，所述振动臂的厚度为Τ[μπι]时，用2t/T表示的η为0.6以上。
[0015]由此，能够增大驱动用电极的形成面积，因而能够进一步减小振动元件的Rl (Cl值)，能够得到功耗更低的振动元件。
[0016][应用例4]
[0017]在本发明的振动元件中，优选的是，所述振动臂的厚度为50 μ m以上。
[0018]由此,能够进一步减小振动元件的Rl。
[0019][应用例5]
[0020]在本发明的振动元件中，优选的是，所述振动臂包含施重部和臂部，该臂部在俯视时配置在所述施重部与所述基部之间。
[0021]由此，能够缩短振动臂的长度，能够减小振动元件的尺寸。
[0022][应用例6]
[0023]在本发明的振动元件中，优选的是，所述施重部是沿着所述第2方向的长度比所述臂部长的宽度放大部。
[0024]由此，能够利用宽度放大部充分发挥施重效应，并且施重部能够与臂部等构成部位同时形成，因而能够高效地制造振动元件。
[0025][应用例7]
[0026]在本发明的振动元件中，优选的是,所述振动元件包含从所述基部起延伸的支承部。
[0027]由此，能够更有效地降低振动元件的振动泄漏。并且，不需要在振动臂彼此之间设置支承臂，因而能够缩小振动元件的沿着第2方向的长度(宽度)。
[0028][应用例8]
[0029]在本发明的振动元件中，优选的是，所述振动臂由沿着所述第2方向排列配置的一对振动臂构成，所述支承部在俯视时配置在所述一对振动臂之间，从所述基部起沿着所述第I方向延伸。
[0030]由此，能够更有效地降低振动元件的振动泄漏。并且，不需要在振动臂彼此之间设置支承臂，因而能够缩小振动元件的沿着第2方向的长度(宽度)。
[0031][应用例9]
[0032]在本发明的振动元件中，优选的是，所述支承部包含在俯视时至少包围所述基部和所述振动臂的框体。
[0033]由此，能够通过框体将振动元件高精度地固定于例如封装的底座。因此，能够增大振动元件的尺寸，结果，能够进一步缩小其Rl。
[0034][应用例10]
[0035]在本发明的振动元件中，优选的是，所述基部在俯视时所述第I方向侧的第I端部侧和所述第I方向的相反反向侧的第2端部侧中的至少一方包含宽度缩小部，该宽度缩小部的沿着所述第2方向的长度随着沿着所述第I方向从所述基部的内侧朝向外侧而连续地或者分阶段地缩小。
[0036]基部具有宽度缩小部，由此能够有效地抑制振动元件的振动泄漏。
[0037][应用例11]
[0038]本发明的振子的特征在于，该振子包含:本发明的振动元件；以及搭载有所述振动元件的封装。
[0039]由此，能够得到可靠性较高的振子。
[0040][应用例12]
[0041]本发明的振荡器的特征在于，该振荡器包含:本发明的振动元件；以及振荡电路。
[0042]由此，能够得到可靠性较高的振荡器。
[0043][应用例13]
[0044]本发明的电子设备的特征在于，该电子设备包含本发明的振动兀件。
[0045]由此，能够得到可靠性较高的电子设备。
[0046][应用例14]
[0047]本发明的传感器的特征在于，该传感器包含本发明的振动元件。
[0048]由此，能够得到可靠性较高的传感器。
[0049][应用例15]
[0050]本发明的移动体的特征在于，该移动体包含本发明的振动元件。
[0051]由此，能够得到可靠性较高的移动体。

【专利附图】

【附图说明】
[0052]图1是本发明第I实施方式的振子的俯视图。
[0053]图2是图1中的A — A线剖视图。
[0054]图3是说明振动泄漏减少的原理的俯视图。
[0055]图4是图1中的B — B线剖视图。
[0056]图5是说明弯曲振动时的热传导的振动臂的剖视图。
[0057]图6是示出Q值与f/fm的关系的曲线图。
[0058]图7是示出通过湿式蚀刻而形成的振动臂的剖视图。
[0059]图8是示出W3与Q值的关系的曲线图。
[0060]图9是示出W3与1/R1的关系的曲线图。
[0061]图10是本发明的第2实施方式的振子具有的振动元件的俯视图。
[0062]图11是本发明的第3实施方式的振子的俯视图。
[0063]图12是图11中的C —C线剖视图。
[0064]图13是本发明的第4实施方式的振子具有的振动元件的俯视图。
[0065]图14是变形例的振动元件的俯视图。
[0066]图15是图14中的D — D线剖视图。
[0067]图16是示出本发明的振荡器的优选实施方式的剖视图。
[0068]图17是示出作为具有本发明的振动元件的电子设备的一例的移动型(或笔记本型)的个人计算机的结构的立体图。
[0069]图18是示出作为具有本发明的振动元件的电子设备的一例的移动电话(包含PHS)的结构的立体图。
[0070]图19是示出作为具有本发明的振动元件的电子设备的一例的数字静态照相机的结构的立体图。
[0071]图20是作为本发明的传感器的物理量传感器具有的振动元件的俯视图。
[0072]图21是作为本发明的传感器的物理量传感器具有的振动元件的俯视图。
[0073]图22是概略地示出作为本发明的移动体的一例的汽车的立体图。
[0074]标号说明
[0075]UlB:振子；10:振荡器；11:导电性粘接剂；12:导线;2、2A、2B、2C、2D:振动元件；3:石英基板;4、4A、4C:基部；41:主体部；42:宽度缩小部；5:振动臂；51:臂部;511、512:主面；511a、512a:堤部；513、514:侧面；52、53:槽；59 锤头；6:振动臂；61:臂部；611、612:主面；613、614:侧面；62、63:槽；69锤头；71、71B、73:支承臂；711:中间变细部；72框体；8:IC 芯片;84、85:驱动用电极；9:封装;91、91B:底座;911、911B、921B:凹部；911a:第 I凹部；911b:第2凹部；911c:第3凹部;92、92B:盖；93:内部端子；94:外部端子;95、96:连接端子；951、961:连接端子；952、962:贯通电极；953、963:外部端子；1100:个人计算机；1102:键盘；1104:主体部；1106:显示单元；1200:移动电话；1202:操作按钮；1204:接听口 ；1206:通话口 ；1300:数字静态照相机；1302:外壳；1304:受光单元；1306:快门按钮；1308:存储器；1312:视频信号输出端子；1314:输入输出端子；1430:电视监视器；1440:个人计算机;1500:汽车；2000:显示部；L:总长；H:锤头长度；WU W2、W3:宽度；t:深度；T:厚度；C1:中心线。

【具体实施方式】
[0076]下面，根据附图所示的优选实施方式，对本发明的振动元件、振子、振荡器、电子设备、传感器以及移动体进行详细说明。
[0077]首先，对应用本发明的振动元件的振子(本发明的振子)进行说明。
[0078]<第I实施方式>
[0079]图1是本发明第I实施方式的振子的俯视图，图2是图1中的A — A线剖视图，图3是说明振动泄漏减少的原理的俯视图，图4是图1中的B — B线剖视图，图5是说明弯曲振动时的热传导的振动臂的剖视图，图6是示出Q值与f/fm的关系的曲线图，图7是示出通过湿式蚀刻而形成的振动臂的剖视图，图8是示出W3与Q值的关系的曲线图，图9是示出W3与1/R1的关系的曲线图。另外，以下为了便于说明，如图1所示，将相互垂直的3个轴设为X轴(石英的电气轴)、Y轴(石英的机械轴)和Z轴(石英的光学轴)。
[0080]1.振子
[0081]图1和图2所示的振子I具有振动元件2 (本发明的振动元件)和收纳振动元件2的封装9。下面，依次对振动元件2和封装9进行详细说明。
[0082](振动元件)
[0083]如图1、图2、图4所示，振动元件2具有石英基板3以及形成在石英基板3上的第I驱动用电极84、第2驱动用电极85。另外，在图1和图2中，为了便于说明而省略第I驱动用电极84、第2驱动用电极85的图示。
[0084]石英基板3由Z切石英板构成。由此，振动元件2能够发挥优异的振动特性。Z切石英板是将Z轴作为厚度方向的石英基板。另外，优选Z轴与石英基板3的厚度方向一致，但是，从缩小常温附近的频率温度变化的观点出发，也可以相对于厚度方向稍微倾斜。
[0085]即，在设倾斜角度为Θ度(-5度< Θ < 15度)的情况下，在设由作为所述石英的电气轴的X轴、作为机械轴的Y轴和作为光学轴的Z轴构成的直角坐标系的所述X轴为旋转轴，设使所述Z轴以+Z侧朝所述Y轴的一 Y方向旋转的方式倾斜Θ度后的轴为V轴，设使所述Y轴以+Y侧朝所述Z轴的+Z方向旋转的方式倾斜θ度后的轴为Y’轴时，成为以沿着Z’轴的方向为厚度，以包含X轴和Y’轴的面为主面的石英基板3。
[0086]如图1所示，石英基板3包含:基部4 ;一对振动臂5、6，它们在基部4的前端(第I端部)侧从基部4起延伸；以及支承臂(支承部)71，其在振动臂5、6之间，在与它们相同的一侧从基部4起延伸。因此，基部4、振动臂5、6和支承臂71是一体形成的。
[0087]基部4呈板状，在XY平面上扩展，在Z’轴方向上具有厚度。基部4具有:支承/连结振动臂5、6的部分(主体部41);以及减少振动泄漏的宽度缩小部42。
[0088]宽度缩小部42设置于主体部41的基端(第2端部)侧，即设置于振动臂5、6延伸的一侧的相反侧。此外，宽度缩小部42的宽度(沿着X轴方向的长度)随着沿着振动臂5、6之间的中心线Cl远离振动臂5、6即远离基部4的中央(主体部41)而逐渐减小，宽度缩小部42的轮廓(缘部)呈弓状(圆弧状)。通过具有这样的宽度缩小部42，能够有效地抑制振动元件2的振动泄漏。
[0089]具体说明如下。另外，为了简单说明，假定振动元件2的形状关于与Y轴平行的规定的轴(中心线Cl)对称。
[0090]首先，如图3的(a)所示，说明未设置宽度缩小部42的情况。在振动臂5、6以相互远离的方式弯曲变形的情况下，在连接有振动臂5附近的主体部41中，如箭头所示那样产生接近顺时针方向的旋转运动的位移，在连接有振动臂6附近的主体部41中，如箭头所示那样产生接近逆时针方向的旋转运动的位移(但是严格地说，不是能够称作旋转运动的运动，因此，为了方便而设为“接近旋转运动”)。
[0091]这些位移的X轴方向分量相互朝向相反方向，因此在主体部41的X轴方向中央部抵消，+ Y轴方向的位移残留(但是严格地说，还残留Z轴方向的位移，但是在此省略)。即，主体部41进行X轴方向中央部朝+ Y轴方向位移那样的弯曲变形。从具有该+ Y轴方向的位移的主体部41延伸出支承臂71，支承臂71进行具有+ Y轴方向的位移的运动，因而如果在支承臂71形成粘接剂并且通过粘接剂固定到封装时，伴随+ Y轴方向位移的弹性能量经由粘接剂泄漏到外部。这是被称作振动泄漏的损耗，是Q值劣化的原因，结果导致Cl值的劣化。
[0092]与此相对，如图3的(b)所示，在设置有宽度缩小部42的情况下，宽度缩小部42具有弓状(曲线状)的轮廓，因此，上述接近旋转运动的位移在宽度缩小部42处相互抵消。SP，在宽度缩小部42的X轴方向中央部，与主体部41的X轴方向中央部同样，X轴方向的位移抵消，并且Y轴方向的位移得到抑制。而且，由于宽度缩小部42的轮廓是弓形的，因此还可抑制将在主体部41中产生的十Y轴方向的位移。结果，设置有宽度缩小部42时的基部4的X轴方向中央部的+Y轴方向的位移远比未设置宽度缩小部42时小。S卩，能够得到振动泄漏小的振动元件。
[0093]另外，在此，宽度缩小部42的轮廓呈弓形，但是，只要是呈现上述作用的形状，则不限于此。例如，也可以是如下的形状:在俯视时宽度沿着中心线Cl分阶段地缩小，轮廓通过多条直线形成为阶梯状的宽度缩小部；在俯视时宽度沿着中心线Cl呈直线状(连续地)缩小，轮廓通过2条直线形成为山状(三角形状)的宽度缩小部；在俯视时宽度沿着中心线Cl呈直线状(连续地)缩小，轮廓通过3条以上的直线而形成的宽度缩小部等。
[0094]振动臂5、6以排列在X轴方向(第2方向)上且相互平行的方式从基部4的前端起在Y轴方向(第I方向)延伸。这些振动臂5、6分别呈长条形状，它们的基端为固定端，前端为自由端。此外，振动臂5、6分别具有臂部51、61以及作为施重部的锤头(沿着X轴方向的长度比臂部51、61长的宽度放大部)59、69，锤头59、69设置在臂部51、61的前端(基部4的相反侧)，在XY平面视图中呈大致矩形。
[0095]另外，作为施重部的锤头59、69成为沿着X轴方向的长度比臂部51、61长的宽度放大部，但不限于此，只要每单位长度的质量大于臂部51、61即可。例如，施重部也可以构成为与臂部51、61的沿着X轴方向的长度相同，并且沿着Z轴方向的厚度比臂部厚。并且，施重部也可以通过在与施重部对应的臂部51、61的正面设置较厚的Au等金属而构成。另夕卜,施重部也可以由质量密度高于臂部51、61的物质构成。
[0096]如图4所示，臂部51具有:由XY平面构成的一对主面511、512 ;以及由YZ平面构成且连接一对主面511、512的一对侧面513、514。此外，臂部51具有朝主面511敞开的有底的槽52和朝主面512敞开的有底的槽53。各槽52、53在Y轴方向延伸，前端位于臂部51与锤头59的边界部，基端位于基部4。这样的臂部51在形成有槽52、53的部分大致呈H型的横截面形状。
[0097]这样，通过在振动臂5形成槽52、53，能够实现热弹性损耗的减少，能够发挥优异的振动特性(之后将详细叙述)。槽52、53的长度没有特别限定，可以如本实施方式那样，各槽52、53的前端位于臂部51与锤头59的边界部，但是，如果构成为各槽52、53的前端延伸至锤头59，则在各槽52、53的前端周围产生的应力集中得到缓解，在施加冲击时产生的弯折和缺损的可能性减少。或者，如果构成为各槽52、53的前端与本实施方式相比位于基部侦牝则在臂部51与锤头59的边界附近产生的应力集中得到缓解，在施加冲击时产生的弯折和缺损的可能性减少。
[0098]另外，各槽52、53的基端延伸至基部4中，由此在它们的边界部产生的应力集中得到缓解。因此，在施加冲击时产生的弯折和缺损的可能性减少。或者，如果构成为各槽52、53的基端同基部4与臂部51的边界相比位于Y轴方向(振动臂5的延伸方向)，则在基部4与臂部51的边界附近产生的应力集中得到缓解，因而在施加冲击时产生的弯折和缺损的可能性减少。
[0099]另外，优选以振动臂5的截面重心与振动臂5的截面形状的中心一致的方式，相对于振动臂5的位置在X轴方向调整槽52、53的位置而形成槽52、53。由此，减少振动臂5的不必要的振动(具体而言，是具有面外方向分量的倾斜振动)，因此能够减少振动泄漏。此夕卜，该情况下，能够减少产生多余振动的情况，因此驱动区域相对增大而能够减小Cl值。
[0100]另外，可以使锤头59的X轴方向中心略微偏离振动臂5的X轴方向中心。这样，能够减少在弯曲振动时由于振动臂5扭曲而产生的基部4的Z轴方向的振动，因而能够抑制振动泄漏。
[0101]以上，对振动臂5进行了说明。振动臂6是与振动臂5相同的结构。S卩，臂部61具有:由XY平面构成的一对主面611、612 ;以及由YZ平面构成且连接一对主面611、612的一对侧面613、614。此外,臂部61具有朝主面611敞开的有底的槽62和朝主面612敞开的有底的槽63。各槽62、63在Y轴方向延伸，前端位于臂部61与锤头69的边界部,基端位于基部4。这样的臂部61在形成有槽62、63的部分大致呈H型的横截面形状。
[0102]另外，可以使锤头69的X轴方向中心略微偏离振动臂6的X轴方向中心。这样，能够减少在弯曲振动时由于振动臂6扭曲而产生的基部4的Z轴方向的振动，因而能够抑制振动泄漏。
[0103]如图4所示，在振动臂5上形成有一对第I驱动用电极84和一对第2驱动用电极85。具体而言，第I驱动用电极84的一方形成于槽52的内表面(侧面)，另一方形成于槽53的内表面(侧面)。此外，第2驱动用电极85的一方形成于侧面513，另一方形成于侧面514。同样，在振动臂6上也形成有一对第I驱动用电极84和一对第2驱动用电极85。具体而言，第I驱动用电极84的一方形成于侧面613,另一方形成于侧面614。此外,第2驱动用电极85的一方形成于槽62的内表面(侧面)，另一方形成于槽63的内表面(侧面)。
[0104]在向这些第I驱动用电极84、第2驱动用电极85之间施加交变电压时，振动臂5、6以反复彼此接近、离开的方式在面内方向(XY平面方向)以规定的频率进行振动。
[0105]作为第I驱动用电极84、第2驱动用电极85的构成材料，没有特别限定，可以举出金(Au)、金合金、钼(Pt)、铝(Al)、铝合金、银(Ag)、银合金、铬(Cr)、铬合金、镍(Ni)、镍合金、铜(Cu)、钥(Mo)、铌(Nb)、钨(W)、铁(Fe)、钛(Ti)、钴(Co)、锌(Zn) Jg(Zr)等金属材料以及氧化铟锡(ITO)等导电材料。
[0106]作为第I驱动用电极84、第2驱动用电极85的具体结构，例如可设为在700 □以下的Cr层上形成700 □以下的Au层的结构。特别是Cr和Au的热弹性损耗较大，因此Cr层、Au层优选设为200 □以下。并且，在要提高绝缘破坏耐性的情况下，Cr层、Au层优选设为1000 □以上。此外，Ni与石英的热膨胀系数接近，因此通过替代Cr层而将Ni层设为基底，能够得到由于电极引起的热应力减少且长期可靠性(老化特性)良好的振动元件2。
[0107]如上所述，在振动元件2中，通过在振动臂5、6上形成槽52、53、62、63，能够实现热弹性损耗的减少。以下关于该情况，以振动臂5为例具体进行说明。
[0108]如上所述，振动臂5通过在第I驱动用电极84、第2驱动用电极85之间施加交变电压而在面内方向上进行弯曲振动。如图5所示，在该弯曲振动时，当臂部51的侧面513收缩时，侧面514拉伸，相反，当侧面513拉伸时，侧面514收缩。在振动臂5不产生Gough —Joule效应的(能量弹性相对于熵弹性是支配性的)情况下，侧面513、514中的进行收缩的面侧的温度上升，进行拉伸的面侧的温度下降，因而在侧面513与侧面514之间即臂部51的内部产生温度差。由于基于这样的温度差产生的热传导，产生振动能量的损耗，由此振动元件2的Q值降低。将这样的成为Q值降低的原因的能量损耗称作热弹性损耗。
[0109]在振动元件2那样的结构的以弯曲振动模式进行振动的振动元件中，当振动臂5的弯曲振动频率(机械的弯曲振动频率)f发生变化时，振动臂5的弯曲振动频率与热缓和频率fm —致时Q值最小。该热缓和频率fm能够根据fm=l/ (2π τ )求出(其中，式中的Ji是圆周率，如果将e设为纳皮尔常数，则τ是温度差通过热传导而成为e-1倍所需的缓和时间)。
[0110]此外，如果将振动臂5被视为平板构造(截面形状是矩形的构造)时的热缓和频率设为fmO,则fmO能够用下式求出。
[0111]fmO= n k/ (2 P Cpa2)......(I)
[0112]其中，π是圆周率，k是振动臂5的振动方向的导热系数，P是振动臂5的质量密度，Cp是振动臂5的热容，a是振动臂5的振动方向的宽度(有效宽度)。在对式(I)中的导热系数k、质量密度P、热容Cp输入振动臂5的材料自身(即石英)的常数的情况下，求出的热缓和频率fmO成为未在振动臂5设置槽52、53时的值。
[0113]在振动臂5中，以位于侧面513、514之间的方式形成有槽52、53。因此，以绕过槽52,53的方式形成热移动路径，热移动路径比侧面513、514间的直线距离(最短距离)长，该热移动路径用于通过热传导消除在振动臂5的弯曲振动时产生的侧面513、514的温度差。因此，与未在振动臂5设置槽52、53的情况相比，缓和时间τ增长，热缓和频率fm降低。
[0114]图6是表示弯曲振动模式的振动元件的Q值的f/fm依存性的曲线图。在该图中，虚线表示的曲线Fl示出如振动元件2那样在振动臂上形成有槽的情况(振动臂的横截面形状为H型的情况)，实线表示的曲线F2示出未在振动臂上形成槽的情况(振动臂的横截面形状为矩形的情况)。如该图所示，曲线F1、F2的形状相同，但是，伴随上述热缓和频率fm的降低，曲线Fl相对于曲线F2向频率比降低方向移动。因此，如果设如振动元件2那样在振动臂上形成有槽时的热缓和频率为fml，则通过满足下述式(2)，在振动臂上形成有槽的振动元件的Q值将始终高于未在振动臂上形成槽的振动元件的Q值。
[0115]

【权利要求】
1.一种振动元件，其特征在于，该振动元件包含: 基部;以及 至少一个振动臂，其在俯视时从所述基部起沿着第I方向延伸，在彼此处于正反关系的一对主面中的至少一个主面上设有槽， 在所述振动臂的主面中， 在俯视时所述振动臂的一个外缘与所述槽的所述一个外缘侧的缘部之间的沿着与所述第I方向垂直的第2方向的宽度、以及所述振动臂的另一个外缘与所述槽的所述另一个外缘侧的缘部之间的沿着所述第2方向的宽度为6μπι以下。
2.根据权利要求1所述的振动元件，其中，所述宽度为Iym以上3μπι以下。
3.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，在设所述槽的最大深度为t，所述振动臂的厚度为T时，用2t/T表示的η为0.6以上。
4.根据权利要求1或2所述的振动元件，其中，所述振动臂的厚度为50μ m以上。
5.根据权利要求1所述的振动元件，其中，所述振动臂包含施重部和臂部，该臂部在俯视时配置在所述施重部与所述基部之间。
6.根据权利要求5所述的振动元件，其中，所述施重部是沿着所述第2方向的长度比所述臂部长的宽度放大部。
7.根据权利要求1所述的振动元件，其中，所述振动元件包含从所述基部起延伸的支承部。
8.根据权利要求7所述的振动元件，其中， 所述振动臂由沿着所述第2方向排列配置的一对振动臂构成， 所述支承部在俯视时配置在所述一对振动臂之间，从所述基部起沿着所述第I方向延伸。
9.根据权利要求7所述的振动元件，其中，所述支承部包含在俯视时至少包围所述基部和所述振动臂的框体。
10.根据权利要求1所述的振动元件，其中，所述基部在俯视时所述第I方向侧的第I端部侧和所述第I方向的相反反向侧的第2端部侧中的至少一方包含宽度缩小部，该宽度缩小部的沿着所述第2方向的长度随着沿着所述第I方向从所述基部的内侧朝向外侧而连续地或者分阶段地缩小。
11.一种振子,其特征在于,该振子包含: 权利要求1所述的振动元件；以及 搭载有所述振动元件的封装。
12.一种振荡器，其特征在于，该振荡器包含: 权利要求1所述的振动元件；以及 振荡电路。
13.一种电子设备，其特征在于，该电子设备包含权利要求1所述的振动元件。
14.一种传感器，其特征在于，该传感器包含权利要求1所述的振动元件。
15.一种移动体，其特征在于，该移动体包含权利要求1所述的振动元件。
【文档编号】H03H9/02GK104079263SQ201410116475
【公开日】2014年10月1日 申请日期:2014年3月26日 优先权日:2013年3月29日
【发明者】山田明法 申请人:精工爱普生株式会社