开关装置和模块的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种开关装置和模块。开关装置包括：开关，该开关选择包括第一端子、第二端子和第三端子的至少三个端子中的一个，并且将其连接到公共端子；以及补偿电路，该补偿电路使通过第二端子发送的第一信号和通过第三端子发送的第二信号中的至少一个的相位移动，使得第一信号和第二信号彼此补偿，并且该补偿电路合成第一信号和第二信号并将其作为第三信号输出到第四端子，或者将输入到第四端子的第三信号分支为第一信号和第二信号。
【专利说明】开关装置和模块
【技术领域】
[0001 ] 本发明的某一方面涉及一种开关装置和模块。
【背景技术】
[0002]以移动电话为代表的无线装置的快速普及已经促进了开关装置的使用。例如，已经在用于高频通信的移动终端中使用了高频开关以选择高频信号。例如，开关的示例包括机械开关和使用半导体晶体管的开关。
[0003]日本专利申请公开N0.2006-109084(专利文献I)和美国专利N0.7848712(专利文献2)公开了，在开关的输入/输出端子之间提供电感器以改进输入/输出端子之间的隔离特性。
[0004]专利文献I和专利文献2中所公开的技术，能够通过电感器的电抗分量抵消输入/输出端子之间的寄生电容，并且因此能够改进隔离特性。然而，输入/输出端子之间的寄生电容值较小。因此，改进隔离特性的努力引起电感器的电感的增加。因此，上述技术并不实用。
【发明内容】
[0005]根据本发明的方面，提供一种开关装置，所述开关装置包括:开关，所述开关选择包括第一端子、第二端子和第三端子的至少三个端子中的一个，并且将其连接到公共端子；以及补偿电路，所述补偿电路使通过所述第二端子发送的第一信号和通过所述第三端子发送的第二信号中的至少一个的相位移动，使得所述第一信号和所述第二信号彼此补偿，并且所述补偿电路合成(unifying)所述第一信号和所述第二信号并且，将其作为第三信号输出到第四端子，或者将输入到所述第四端子的第三信号分支(branch)为所述第一信号和所述第二信号。
[0006]根据本发明的另一方面，提供一种开关装置，所述开关装置包括:开关，所述开关选择包括第一端子和第二端子的至少两个端子中的一个，并且将其连接到公共端子；电容器，所述电容器连接在所述第一端子与所述公共端子中的至少一个与第三端子之间；以及补偿电路，所述补偿电路使通过所述第二端子发送的第一信号和通过所述第三端子发送的第二信号中的至少一个的相位移动，使得所述第一信号和所述第二信号彼此补偿，并且所述补偿电路合成所述第一信号和所述第二信号，并且将其作为第三信号输出到第四端子，或者将输入到所述第四端子的第三信号分支为所述第一信号和所述第二信号。
[0007]根据本发明的另一方面，提供一种模块，所述模块包括上述开关装置。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1A是用在开关装置中的开关的电路图，并且图1B是等效电路图；
[0009]图2A是根据比较示例的开关装置的电路图，并且图2B是等效电路图；
[0010]图3是根据第一实施方式的开关装置的电路图；
[0011]图4是根据第一实施方式的开关装置的等效电路图；
[0012]图5A至图5C分别是例示开关的输入/输出端子之间的隔离、|Y21|和ΖΥ21的图；
[0013]图6Α至图6C分别是例示第一实施方式的开关装置的隔离、IΥ211和Z Υ21的图；
[0014]图7是在第二实施方式中采用的补偿电路的电路图；
[0015]图8Α至图8C分别是例示端子之间的隔离、Υ211和Z Υ21的图；
[0016]图9是根据第二实施方式的开关装置的电路图；
[0017]图1OA至图1OC分别是例示第二实施方式的开关装置的隔离、|Υ21|和ΖΥ21的图；
[0018]图11是在第二实施方式中采用的替代示例性补偿电路；
[0019]图12是根据第三实施方式的开关装置的电路图；
[0020]图13是根据第四实施方式的开关装置的电路图；
[0021]图14是根据第四实施方式的变型例的开关装置的电路图；
[0022]图15是根据第五实施方式的开关装置的电路图；
[0023]图16是根据第五实施方式的变型例的开关装置的电路图；
[0024]图17是根据第六实施方式的模块的框图；以及
[0025]图18是根据第六实施方式的变型例的模块的框图。
【具体实施方式】
[0026]下面，将参考附图给出实施方式的描述。
[0027]第一实施方式
[0028]将给出半导体开关作为用在开关装置中的开关的示例的描述。图1A是用在开关装置中的开关的电路图，并且图1B是等效电路图。如图1A中所示，开关1a包括晶体管11至14。晶体管11的源极耦接到端子Tl，而其漏极耦接到端子Τ5。晶体管13的源极耦接到端子Τ2，而其漏极耦接到端子Τ5。晶体管12的源极耦接到端子Tl，而其漏极耦接到接地。晶体管14的源极耦接到端子Τ2，而其漏极耦接到接地。晶体管11至14的栅极耦接到控制端子Τ6。晶体管11至14的源极和漏极可以彼此替换。
[0029]如图1B中所示，供应给控制端子Τ6的控制信号使晶体管11和14导通，并且使晶体管12和13截止。晶体管11和14被等效地表示为电阻器Rll和R14(导通电阻)，并且晶体管12和13被等效地表示为电容器C12和C13(截止电容)。例如，电容器C12和C13是通过半导体基板的源极和漏极之间的寄生电容。端子Tl耦接到端子T5，并且端子T2与端子T5断开。如上所述，开关1a选择输入/输出端子Tl和T2中的一个，并且将其连接到端子T5。从而，从端子Tl输入的高频信号51被输出到端子T5，或者从端子T5输入的高频信号被输出到端子Tl。作为高频信号的一部分的信号52从端子Tl通过电容器C12泄漏到端子T2。作为高频信号的一部分的信号54从端子Tl通过电容器C13泄漏到端子T2。这劣化了端子Tl与T2之间的隔离。
[0030]图2A是根据比较示例的开关装置的电路图，并且图2B是等效电路图。如图2A中所示，开关装置110包括开关1a和电感器L0。电感器LO连接在端子Tl和T2之间。开关1a的端子Tl、T2和T5分别耦接到开关装置的输入/输出端子T01、T02和公共端子T05。开关1a的构造与图1A的相同，并且省略其描述。
[0031 ] 如图2B中所示，从端子Tl泄漏到端子T2的信号52通过电感器LO返回到端子Tl。如上所述，LC陷波电路的形成抑制信号52泄露到端子T2。图1B中所示的信号54被以同样的方式抑制。因此，改进了隔离。然而，晶体管12和13具有低截止电容C12和C13。因此，充分地抑制信号52的努力引起电感器LO的电感增加。这导致开关装置110的大小增加。
[0032]图3是根据第一实施方式的开关装置的电路图。如图3中所示，开关装置100包括开关10、补偿电路20、输入/输出端子TOl和T02以及公共端子T05。开关10包括晶体管11至16。晶体管11、13和15分别串联地连接在端子T1、T2和Τ3与端子Τ5之间。晶体管12、14和16分别并联连接(connected in shunt)在端子Tl、T2和Τ3与端子Τ5之间。晶体管11至16的栅极耦接到控制端子Τ6。
[0033]开关10基于施加到控制端子Τ6的控制信号来选择包括端子Tl (第一端子)、端子Τ2(第二端子)和端子Τ3(第三端子)的至少三个端子中的一个，并且将其连接到端子Τ4(公共端子)。例如，当端子Tl耦接到端子Τ5时，晶体管11、14和16导通并且晶体管12、13和15截止。当端子Τ2耦接到端子Τ5时，晶体管12、13和16导通并且晶体管11、14和15截止。当端子Τ3耦接到端子Τ5时，晶体管12、14和15导通并且晶体管11、13和16截止。开关10是半导体开关或机械开关。用于半导体开关的晶体管11至16可以是诸如MOSFET(金属氧化物半导体场效应晶体管)这样的FET或双极晶体管。
[0034]补偿电路20包括相移电路22和24。相移电路22使通过端子Τ2发送的信号的相位移动+90°。相移电路24使通过端子Τ3发送的信号的相位移动-90°。端子Τ4是通过利用补偿电路20来合成端子Τ2和端子Τ3而形成的端子。输入/输出端子TOl和Τ02分别耦接到端子Tl和Τ4。公共端子Τ05耦接到端子Τ5。
[0035]图4是第一实施方式的开关装置的等效电路图。如图4中所示，当端子Tl耦接到端子Τ5时，晶体管11、14和16导通并且晶体管12、13和15截止。晶体管11、14和16被等效地表示为电阻器R11、R14和R16，并且晶体管12、13和15被等效地表示为电容器C12、C13和C15。作为高频信号51的一部分的信号52通过电容器C12泄漏到端子Τ2和Τ3。信号52被分支为信号53a和53b。作为高频信号51的一部分的信号54被分支为信号55a和55b，并且信号55a和55b分别通过电容器C13和C15泄漏到端子T2和T3。信号57a和57b分别通过端子T2和T3发送。信号57a是信号53a和55a的合成信号,而信号57b是信号53b和55b的合成信号。
[0036]当晶体管13和15具有大致相同的大小并且晶体管14和16具有大致相同的大小时，信号57a和57b具有大致相同的幅值和相同的相位。相移电路22使信号57a的相位移动90 °，并且相移电路24使信号57b的相位移动-90 °。在端子T4中，信号57a和57b被合成，并且作为信号56被输出到输入/输出端子T02。当具有大致相同的幅值和相反相位的信号57a和信号57b被合成时,信号52和54差不多被抵消，并且抑制了信号56。结果，改进了从端子TOl到端子T02的隔离。
[0037]图5A至图5C分别是例不开关的输入/输出端子之间的隔尚、|Y2l|和ZY21的图。开关10是使用CM0SFET(互补M0SFET)的开关。该隔离是在图3中的开关10的端子Tl与Τ2之间的隔离(S21)。|Υ211是端子Tl与Τ2之间的Υ21的幅值。Z Υ21是端子Tl与T2之间的Υ21的相位。在从1.5GHz至2.5GHz的频率处对该隔离、IY211和Z Y21进行模拟。频带50是隔离特性得到改进的频带，并且例如为采用开关装置的移动终端的发送频带和/或接收频带。
[0038]如图5A中所示，频带50中的隔离大约为-45dB。如图5B中所示，频带50中的Y21大约为_60dB。如图5C中所示，频带50中的Z Y21大约为-90°。如上所述，在端子
Tl与T2之间存在容抗分量(S卩，寄生电容)。
[0039]图6A至图6C分别是例示第一实施方式的开关装置的隔离、|Y211和Z Υ21的图。实线表示开关装置100的输入/输出端子TOl与Τ02之间的特性(表示为Τ01-Τ02)，并且虚线表示图5Α至图5C中示出的开关10的端子Tl与Τ2之间的特性(表示为Τ1-Τ2)。相移电路22和24假设为如下理想电路，即在从1.5GHz至2.5GHz的频率范围内分别使相位移动90°和-90°的理想电路。如图6A中所示，频带50中的开关装置100的隔离大约为-90dB。如图6B中所示，频带50中的开关装置100的|Y21|大约为_120dB。如图6C中所示，频带50中的开关装置100的Z Y21大约为+180°。如上所述，与开关10的情况相比，第一实施方式将隔离改进了大约45dB。
[0040]第二实施方式
[0041]第二实施方式使用电感器和电容器作为补偿电路。图7是在第二实施方式中采用的补偿电路的电路图。如图7中所示，相移电路22包括电感器LI和电容器Cl。电感器LI串联地连接在端子T2与T4之间。电容器Cl并行地连接在端子T2与T4之间。相移电路24包括电感器L2和电容器C2。电容器C2串联地连接在端子T3与T4之间。电感器L2并行地连接在端子T3与T4之间。
[0042]在下述条件下执行模拟。
[0043]LI 的电感:4nH
[0044]Cl 的电容:L6pF
[0045]L2 的电感:4nH
[0046]C2 的电容:L6pF
[0047]图8A至图8C分别是例示端子之间的隔离、|Y21|和ΖΥ21的图。实线表示端子Τ2与Τ4之间的特性(表示为Τ2-Τ4)，并且虚线表示端子Τ3与Τ4之间的特性(表示为Τ3-Τ4)。如图8Α和图8Β中所示，端子Τ2与Τ4之间的隔离和|Y2l|大致与端子Τ3与Τ4之间的隔离和|Υ21|相同。因此，通过相移电路22和24发送的信号的幅值大致相同。如图SC中所示，ΖΥ21在端子Τ2与Τ4之间为-90°，并且在端子Τ3与Τ4之间为+90°。因此，通过相移电路22和24发送的信号的相位大致彼此相反。
[0048]图9是根据第二实施方式的开关装置的电路图。如图9中所示，开关装置101采用图7中所示的补偿电路20作为补偿电路。其它构造与第一实施方式的相同，并且省略其描述。
[0049]图1OA至图1OC分别是例示第二实施方式的开关装置的隔离、|Υ211和Z Υ21的图。实线表示开关装置101的输入/输出端子TOl与Τ02之间的特性(Τ01-Τ02)，并且虚线表示图5Α至图5C中示出的开关10的端子Tl与Τ2之间的特性(Τ1-Τ2)。补偿电路20具有与图8Α至图8C中所示的相同的构造。如图1OA中所示，频带50中的开关装置101的隔离为从-65dB至-75dB。如图1OB中所示，频带50中的开关装置101的|Y2l|大约为-100dB。如图1OC中所示，频带50中的开关装置101的Z Y21为从-180°至0°。如上所述，与开关10的情况相比，第二实施方式将隔离改进了大约30dB。
[0050]图11例示在第二实施方式中采用的替代示例性补偿电路。如图11中所示，相移电路22是C-L-C 型电路。电感器LI串联地连接在端子T2与T4之间。电容器Cl并联地连接在电感器LI的两侧。相移电路24是C-L-C T型电路。两个电容器C2串联地连接在端子T3与T4之间。电感器L2并联地连接在两个电容器C2之间。如图7和图11中所示，能够通过使用诸如电感器和电容器这样的电抗元件来形成相移电路22和24。这允许补偿电路20由芯片组件形成并且具有简单的结构。当电感器和电容器的数目减少时，能够减小大小。当电感器和电容器的数目增加时，能够加宽频带。除了电感器和电容器之外，能够使用诸如分布式定常线路或芯片平衡-不平衡变换器(chip balun)这样的改变信号的相位的元件。
[0051]第三实施方式
[0052]第三实施方式使用反相电路用于补偿电路。图12是根据第三实施方式的开关装置的电路图。如图12中所示，元件没有连接在开关装置102的补偿电路20中的端子T2与T4之间。因此，信号57a的相位几乎没有改变。反相电路26连接在端子T3与T4之间。反相电路26使通过端子T3发送的信号57b的相位移动180°。能够通过使用诸如电感器和电容器这样的电抗兀件来形成反相电路26。其它构造与第一实施方式的相同，并且省略其描述。
[0053]在第一至第三实施方式中，补偿电路20使通过端子T2发送的信号57a(第一信号)和通过端子T3发送的信号57b (第二信号)中的至少一个的相位移动，从而信号57a和信号57b彼此补偿。另外，补偿电路20合成信号57a和信号57b，并且将其输出到端子T4作为信号56。结果，通过端子T2发送的信号57a和通过端子T3发送的信号57b彼此抵消，如图4中所示，并且从而能够改进输入/输出端子TOl与T02之间的隔离特性。当信号57a和57b之间的相位差大于90°并小于270°时，信号57a和57b彼此抵消。
[0054]补偿电路20能够在输入到输入/输出端子T02的信号被输出到端子T05时，减少输入到输入/输出端子T02的信号泄露到输入/输出端子TOl。在该情况下，补偿电路20将输入到端子T4的信号分支为:通过端子T2发送的信号和通过端子T3发送的信号。补偿电路20使得通过端子T2和端子T3发送的信号具有实际相反的相位，并且然后对其进行合成。这使得能够改进从输入/输出端子T02到输入/输出端子TOl的隔离特性。
[0055]另外，补偿电路20使得信号57a和信号57b具有实际相反的相位。例如，信号57a与57b之间的相位差优选地在135°与225°之间，并且更优选地在160°与200°之间。另夕卜，晶体管13和15的截止电容C13和C15优选地实际相同。例如，使得晶体管13和15的大小相同。这使得信号57a和信号57b具有实际相同的幅值。
[0056]如在第一实施方式中所描述的，补偿电路20可以包括:相移电路22，相移电路22位于端子T2与端子T4之间，并且使信号57a的相位移动；以及相移电路24，相移电路24位于端子T3与端子T4之间并且使信号57b的相位移动。
[0057]另外，如在第三实施方式中所描述的，补偿电路20可以包括反相电路26，反相电路26位于端子T2与端子T4之间或者端子T3与T4之间，并且实际使信号57a或57b的相位反转。当反相电路26的数目为I时，与第二实施方式相比，第三实施方式能够将装置的大小减小得更多。
[0058]第四实施方式
[0059]第四实施方式使用电容器来替代开关15和16。图13是根据第四实施方式的开关装置的电路图。如图13中所示，在开关装置103中，开关10选择包括端子Tl和T2的至少两个端子中的一个，并且将其连接到端子T5。替代晶体管15和16地，电容器C3串联地连接在端子T5与T3之间。其它构造与图3中所示的第一实施方式的相同，并且省略其描述。
[0060]图14是根据第四实施方式的变型例的开关装置的电路图。如图14中所示，替代晶体管15和16地，在开关装置104中，电容器C3串联地连接在端子T5与T3之间。其它构造与图12中所示的第三实施方式的相同，并且将省略其描述。
[0061]如图4中所示，被截止的晶体管15等效于电容器C15。因此，通过适当地设置电容器C3的电容，能够使得信号57b的幅值和相位与图4中的信号57b的幅值和相位大致相同。例如，使得电容器C3的电容与晶体管15的截止电容大致相同。该构造防止从端子Tl通过端子T5发送的泄漏信号54被从端子T4输出。第四实施方式及其变型例能够通过使用电容器C3来替代第一至第三实施方式的两个晶体管15和16而减少装置的大小。
[0062]虽然在上述描述中，电容器C3连接在端子T5与端子T3之间，但是电容器C3可以连接在端子Tl与T3之间。这防止从端子Tl通过晶体管12发送的泄漏信号52被从端子T4输出。如上所述，如果电容器C3连接在端子Tl和端子T5中的至少一个与端子T3之间，则其是足够的。
[0063]在第四实施方式及其变型例中，补偿电路20可以使用如第二实施方式中所描述的改变信号的相位的诸如电感器、电容器、分布式定常电路或芯片平衡-不平衡变换器这样的元件。
[0064]第五实施方式
[0065]第五实施方式使用声波元件用于补偿电路。图15是根据第五实施方式的开关装置的电路图。如图15中所示，在开关装置105中，补偿电路20包括声波元件30。声波元件30包括反射器32和IDT34a至34c。IDT34a至34c被布置在声波的传播方向上在反射器32之间。IDT34a连接在端子T2与接地之间。IDT34b连接在接地与端子T4之间。IDT34c连接在端子T3与接地之间。
[0066]IDT34a和34b的电极指被构造成，使得通过端子T2发送的信号57a的相位移动90°，并且相移后的信号57a然后被输出到端子T4。IDT34b和34c的电极指被构造成，使得通过端子T3发送的信号57b的相位被移动-90°，并且相移后的信号57b然后被输出到端子T4。结果，具有大致相反相位和相同幅值的信号在端子T3中被合成。因此，与第一实施方式和第二实施方式的情况一样，能够改进从输入/输出端子TOl到输入/输出端子T02的隔离。其它构造与第一实施方式相同，并且省略其描述。
[0067]图16是根据第五实施方式的变型例的开关装置的电路图。如图16中所示，在开关装置106中，声波元件30包括反射器32和IDT34d至34e。IDT34d和34e被布置在声波的传播方向上在反射器32之间。IDT34d连接在接地与端子T4之间。IDT34e连接在端子T3与接地之间。端子T4在没有声波元件的情况下连接到端子T2。
[0068]通过端子T2发送的信号57a在相位没有改变的情况下输出到端子T4。IDT34d和34e的电极指被构造成，使得通过端子T3发送的信号57b的相位移动180°，并且相移后的信号57b然后被输出到端子T4。结果，具有大致相反相位和相同幅值的信号在端子T4中被合成。因此，与第三实施方式的情况一样，改进从输入/输出端子TOl到输入/输出端子T02的隔离。其它构造与第一实施方式的相同，并且省略其描述。
[0069]如在第五实施方式及其变型例中所描述的，补偿电路20可以使用声波元件。这由于补偿电路能够通过使用具有高Q值的电抗元件来形成，而使得能够实现低损耗开关装置。声波元件可以是表面声波元件、边界声波(boundary acoustic wave)元件或拉夫波(Love wave)元件。声波元件可以是使用厚度纵向振动的压电薄膜谐振器元件。
[0070]第二至第四实施方式及其变型例可以使用声波元件用于补偿电路20。
[0071]第六实施方式
[0072]第六实施方式是包括第一实施方式的开关装置的示例性模块。图17是根据第六实施方式的模块的框图。如图17中所示，模块120包括第一实施方式的开关装置100和滤波器40和42。滤波器40连接在输入/输出端子TOl与端子T07之间。滤波器42连接在输入/输出端子T02与端子T08之间。公共端子T05耦接到天线48。端子T07和T08两者都是发送端子或接收端子，或者它们中的一个是发送端子并且另一个是接收端子。
[0073]图18是根据第六实施方式的变型例的模块的框图。如图18中所示，模块122包括第一实施方式的开关装置100和双工器44和46。双工器44包括发送滤波器44a和接收滤波器44b。发送滤波器44a连接在输入/输出端子TOl与端子T08之间。接收滤波器44b连接在输入/输出端子TOl与端子T09之间。双工器46包括发送滤波器46a和接收滤波器46b。发送滤波器46a连接在输入/输出端子T02和端子TlO之间。接收滤波器46b连接在输入/输出端子T02与端子Tll之间。公共端子T05耦接到天线48。
[0074]如第六实施方式及其变型例中所述，第一至第五实施方式的开关装置中的任一个的端子TOl和T02可以耦接到滤波器或双工器。可以使用声波滤波器用于滤波器或双工器。
[0075]虽然已经详细地描述了本发明的实施方式，但是将理解的是，在不偏离本发明的精神和范围的情况下，能够对其进行各种改变、替换和修改。
【权利要求】
1.一种开关装置，所述开关装置包括: 开关，所述开关选择包括第一端子、第二端子和第三端子的至少三个端子中的一个，并且将其连接到公共端子；以及 补偿电路，所述补偿电路使通过所述第二端子发送的第一信号和通过所述第三端子发送的第二信号中的至少一个的相位移动，使得所述第一信号和所述第二信号彼此补偿，并且所述补偿电路合成所述第一信号和所述第二信号并且将其作为第三信号输出到第四端子，或者将输入到所述第四端子的第三信号分支为所述第一信号和所述第二信号。
2.一种开关装置，所述开关装置包括: 开关，所述开关选择包括第一端子和第二端子的至少两个端子中的一个，并且将其连接到公共端子； 电容器，所述电容器连接在所述第一端子和所述公共端子中的至少一个与第三端子之间；以及 补偿电路，所述补偿电路使通过所述第二端子发送的第一信号和通过所述第三端子发送的第二信号中的至少一个的相位移动，使得所述第一信号和所述第二信号彼此补偿，并且所述补偿电路合成所述第一信号和所述第二信号并且将其作为第三信号输出到第四端子，或者将输入到所述第四端子的第三信号分支为所述第一信号和所述第二信号。
3.根据权利要求2所述的开关装置，其中 所述电容器连接在所述公共端子与所述第三端子之间。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的开关装置，其中 所述补偿电路使得所述第一信号和所述第二信号具有实际相反的相位。
5.根据权利要求1至3中的任一项所述的开关装置，其中 所述补偿电路包括反相电路，所述反相电路位于所述第二端子与所述第四端子之间或者位于所述第三端子与所述第四端子之间，并且实际地使所述第一信号或所述第二信号的相位反转。
6.根据权利要求1至3中的任一项所述的开关装置，其中 所述补偿电路包括: 第一相移电路，所述第一相移电路位于所述第二端子与所述第四端子之间，并且使所述第一信号的相位移动；以及 第二相移电路，所述第二相移电路位于所述第三端子与所述第四端子之间，并且使所述第二信号的相位移动。
7.根据权利要求1至3中的任一项所述的开关装置，其中 所述补偿电路包括电感器和电容器。
8.根据权利要求1至3中的任一项所述的开关装置，其中 所述补偿电路包括声波元件。
9.根据权利要求1至3中的任一项所述的开关装置，其中 所述开关是半导体开关。
10.一种模块，所述模块包括: 根据权利要求1至3中的任一项所述的开关装置。
【文档编号】H03K17/687GK104300953SQ201410325557
【公开日】2015年1月21日 申请日期:2014年7月9日 优先权日:2013年7月18日
【发明者】岩城匡郁 申请人:太阳诱电株式会社