技术总结
本发明公开了一种细长管射频感应耦合等离子体源反应器，包括：射频电源、匹配网络、细长管、放电线圈、屏蔽层和支架，放电线圈缠绕在细长管外壁上，射频电源、匹配网络和放电线圈通过同轴传输线依次连接；细长管的左右两端分别通过卡套直管和密封法兰卡套与左微型腔室和右微型腔室连接，左微型腔室的周向还设有出气口和气压探测器接口，左端连接有左串联法兰；右微型腔室的周向还设有进气口，右端连接有右串联法兰。本发明不仅可以作为等离子体源反应器单独使用，还可以由多个串联起来，产生长度在1～40米可调的细长型等离子体，进而延长高能离子束在等离子体中的作用时间。
技术研发人员：高飞;王友年
受保护的技术使用者：大连理工大学
文档号码：201610924887
技术研发日：2016.10.24
技术公布日：2017.01.04