一种2.2≤Dk<6.5的HDI板制作方法与流程

文档序号:11779467阅读:419来源:国知局

本发明涉及hdi板制作方法领域,具体是一种2.2≤dk<6.5的hdi板制作方法。



背景技术:

现有hdi技术,首先覆铜板的制作:胶水调制、将玻璃纤维布涂胶烘干得到半固化片、将半固化片双面敷铜热压制得dk=3.0左右的覆铜板;其次hdi的制作:①先在覆铜板双面进行压膜、曝光、显影、蚀铜、去膜、棕化后得到内层线路板,再在内层线路板上下两面叠合半固化片和铜箔后压合,最后将压合后的产品双面进行压膜、曝光、显影、蚀铜、去膜、棕化后得到中间层线路板并钻孔镀铜;②将以上得到的线路板上下两面叠合半固化片和铜箔后压合,再将压合后的产品双面进行压膜、曝光、显影、蚀铜、去膜、棕化后得到表面层线路板并制作盲孔、通孔及孔金属化。得到dk=3.0左右的hdi线路板。现有产品没有2.2≤dk<6.5的高频hdi板,并且现有技术采用的铜箔、玻璃纤维布的制造不仅耗能而且污染环境,在制作线路图时采用化学沉铜也存在环境污染的问题。



技术实现要素:
本发明的目的是提供一种2.2≤dk<6.5的hdi板制作方法,以解决现有产品无2.2≤dk<6.5的高频hdi板的问题。

为了达到上述目的,本发明所采用的技术方案为:

一种2.2≤dk<6.5的hdi板制作方法,其特征在于:包括以下步骤:

(1)基材制作:

将低介电常数的高q值陶瓷粉料和聚四氟乙烯粉料混合,混合后成型烧结加工成坯料,然后将坯料车削成薄膜;

(2)、高密度互联1+n+2+n+1层线路板制作,包括以下步骤:

(2.1)、制作中心2层线路图:选择一片薄膜,首先按照电路设计需要在薄膜上钻孔,然后在该薄膜的双表面层上采用离子注入方式注入铜离子、同时孔洞内表面层注入铜离子,再采用电镀的方式在注有铜离子的地方沉积铜制得线路图、同时孔洞内表面层也沉积铜,线路铜表面是粗糙的,聚四氟乙烯薄膜的双面制作的线路图即为中心2层线图;

(2.2)制作上、下n层线路板:

利用增层法原理,选用2n片聚四氟乙烯薄膜,首先按照电路设计需要在2n片聚四氟乙烯薄膜上钻孔,利用离子注入方式分别在每片薄膜单面表面层注入铜离子、同时孔洞内表面层也注入铜离子;再利用电镀方式把2n片薄膜有铜离子的地方沉积铜制得线路图、同时孔洞内表面层也沉积铜;每片薄膜表面所制得的线路铜表面是粗糙的;制得的2n片单面线路图即为上下n层线路板;

(2.3)、制作最上层和最下层线路板:

最上层和最下层线路板选择2片薄膜作为基板,首先按照电路设计需要在薄膜上钻孔,利用离子注入方式在每片薄膜单面表面层注入铜离子、同时孔洞内表面层也注入铜离子;再利用电镀方式把2片薄膜有铜离子的地方沉积铜制得线路图、同时孔洞内表面层也沉积铜;每片薄膜表面所制得的线路铜表面是平整的;制得的2片线路板即为最上层和最下层线路板。

(2.4)、叠板压合:

将最上层1层线路板、中间上n层线路板、中心2层线路板、中间下n层线路板、最下层线路板依次按从上至下方向叠合,孔的位置上下对齐,有的位置的孔是通孔、有的位置的孔是埋孔、有的位置的孔是盲孔;然后进行真空高温压合获得板材制得2.2≤dk<6.5的高频hdi板。

所述的一种2.2≤dk<6.5的hdi板制作方法,其特征在于:步骤(1)中坯料车削得到的薄膜厚度从0.01-0.075mm均可实现。

所述的一种2.2≤dk<6.5的hdi板制作方法,其特征在于:步骤(1)中,低介电常数的高q值陶瓷粉料为氧化铝、硅酸镁、二氧化硅三种陶瓷粉料的混合物,混合物中二氧化硅质量为混合物总质量的40-70%、硅酸镁质量为混合物总质量的10-30%、余量为氧化铝,陶瓷粉料的介电常数值在10-30,陶瓷粉料的q值>10000。

所述的一种2.2≤dk<6.5的hdi板制作方法,其特征在于:步骤(1)中,成型时压力要求是100kg/cm2、成型时间是50h;烧结温度380℃、烧结时间50h。

所述的一种2.2≤dk<6.5的hdi板制作方法,其特征在于:步骤(1)中,车削所用设备为旋切机。

所述的一种2.2≤dk<6.5的hdi板制作方法,其特征在于:采用车削、离子注入、电镀的方式制作2.2≤dk<6.5的高频hdi板。

本发明在聚四氟乙烯等原料制成的绝缘基材上,采用离子注入电镀法制作线路,同时孔金属化。优化整合了产品制程,提高了产品性能,缩短了流程,提高了效率,降低了成本。这种方法没有化学沉铜等高污染工序,节能环保。这种方法可以简单实现9微米以下薄铜、基材上直接打孔、大幅提高布线密度。

本发明制得的产品具有以下特点:

1、超薄铜箔,因此具有极强的精细线路制作能力。

2、纳米级均匀分布的铜箔晶粒结构,因此具有优秀的蚀刻性能。

3、完全无卤,因此具有优异的离子迁移性能。

4、优异的耐热性和耐化学性。

5、平面轮廓铜箔,因此具有良好的高频传输特性。

具体实施方式

一种2.2≤dk<6.5的hdi板制作方法,包括以下步骤:

(1)基材制作:

将低介电常数的高q值陶瓷粉料和聚四氟乙烯粉料混合,混合后成型烧结加工成坯料,然后将坯料车削成薄膜;

(2)、高密度互联1+n+2+n+1层线路板制作,包括以下步骤:

(2.1)、制作中心2层线路图:选择一片薄膜,首先按照电路设计需要在薄膜上钻孔,然后在该薄膜的双表面层上采用离子注入方式注入铜离子、同时孔洞内表面层注入铜离子,再采用电镀的方式在注有铜离子的地方沉积铜制得线路图、同时孔洞内表面层也沉积铜,线路铜表面是粗糙的,聚四氟乙烯薄膜的双面制作的线路图即为中心2层线图;

(2.2)制作上、下n层线路板:

利用增层法原理,选用2n片聚四氟乙烯薄膜,首先按照电路设计需要在2n片聚四氟乙烯薄膜上钻孔,利用离子注入方式分别在每片薄膜单面表面层注入铜离子、同时孔洞内表面层也注入铜离子;再利用电镀方式把2n片薄膜有铜离子的地方沉积铜制得线路图、同时孔洞内表面层也沉积铜;每片薄膜表面所制得的线路铜表面是粗糙的;制得的2n片单面线路图即为上下n层线路板;

(2.3)、制作最上层和最下层线路板:

最上层和最下层线路板选择2片薄膜作为基板,首先按照电路设计需要在薄膜上钻孔,利用离子注入方式在每片薄膜单面表面层注入铜离子、同时孔洞内表面层也注入铜离子;再利用电镀方式把2片薄膜有铜离子的地方沉积铜制得线路图、同时孔洞内表面层也沉积铜;每片薄膜表面所制得的线路铜表面是平整的;制得的2片线路板即为最上层和最下层线路板。

(2.4)、叠板压合:

将最上层1层线路板、中间上n层线路板、中心2层线路板、中间下n层线路板、最下层线路板依次按从上至下方向叠合,孔的位置上下对齐,有的位置的孔是通孔、有的位置的孔是埋孔、有的位置的孔是盲孔;然后进行真空高温压合获得板材制得2.2≤dk<6.5的高频hdi板。

步骤(1)中坯料车削得到的薄膜厚度从0.01-0.075mm均可实现。

所述的一种2.2≤dk<6.5的hdi板制作方法,其特征在于:步骤(1)中,低介电常数的高q值陶瓷粉料为氧化铝、硅酸镁、二氧化硅三种陶瓷粉料的混合物,混合物中二氧化硅质量为混合物总质量的40-70%、硅酸镁质量为混合物总质量的10-30%、余量为氧化铝,陶瓷粉料的介电常数值在10-30,陶瓷粉料的q值>10000。

步骤(1)中,成型时压力要求是100kg/cm2、成型时间是50h;烧结温度380℃、烧结时间50h。

步骤(1)中,车削所用设备为旋切机。

采用车削、离子注入、电镀的方式制作2.2≤dk<6.5的高频hdi板。

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