一种等离子真空箱体电极馈入结构的制作方法

本实用新型涉及等离子表面处理设备领域，特别涉及一种应用于等离子表面处理的一种等离子真空箱体电机馈入结构。

背景技术：

等离子体表面处理设备已广泛应用于PCB制造、电子电路、电子电器、汽车制造、半导体制造、包装、印刷、涂覆、高分子材料、塑胶五金、医疗器械、灭菌等行业，目前已经成为中国最大的真空等离子体处理设备生产领域，产品面涉及极为广泛，在等离子表面处理设备的真空箱体内普通电极馈入结构都是在外部一路连接进真空箱室内，每层电极板电量分布不均匀，导致每层极板温度不均匀，影响处理效果，会出现处理效果不均匀现象。

技术实现要素：

为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种等离子真空箱体电极馈入结构，有效的改善了极板电量分布不均匀现象，提高产品处理效果和处理均匀性。

本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种等离子真空箱体电极馈入结构，包括真空箱体和真空箱体底部固定座，真空箱体的前端安装有固定框，后端安装有若干电极馈入结构，所述电极馈入结构由电极柱、固定螺母、密封件、密封圈以及绝缘件组成，所述电极柱的一端插入真空箱体后端，另一端设有固定孔，电极柱与真空箱体之间安装绝缘件，所述绝缘件一端沿电极柱插入真空箱体，另一端为环状设置在真空箱体表面，在绝缘件的底部与真空箱体接触面上还设有密封圈，电极柱的另一端通过固定螺母紧固在绝缘件上，所述绝缘件与电极柱之间设置密封件。

作为本实用新型的进一步改进，所述绝缘件的表面设有若干固定孔，用于将绝缘件固定在真空箱体后端。

作为本实用新型的进一步改进，所述真空箱体的后端设有两排竖直设置的电极馈入结构，且每排设有若干均匀排布的6个电极馈入结构。

本实用新型的有益效果是：本实用新型的等离子真空箱体电极馈入结构, 通过三重密封圈来实现真空箱室密封，提高密封性。在外部馈入维修保养方便简单，易操作，有效的改善了极板电量分布不均匀现象，提高产品处理效果和处理均匀性。

附图说明

图1为本实用新型真空箱体整体结构示意图；

图2 为本实用新型结构示意图；

图中标示：1-真空箱体；2-真空门；3-固定框；4-电极馈入结构；5-电极柱；6-固定螺母；7-密封件；8-密封圈；9-绝缘件；10-固定孔。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。

图1-2示出了本实用新型一种等离子真空箱体电极馈入结构的一种实施方式，一种等离子真空箱体电机馈入结构，包括真空箱体1和真空箱体底部固定座2，真空箱体1的前端安装有固定框3，后端安装有若干电极馈入结构4，所述电极馈入结构4由电极柱5、固定螺母6、密封件7、密封圈8以及绝缘件9组成，所述电极柱5的一端插入真空箱体1后端，另一端设有固定孔10，电极柱5与真空箱体1之间安装绝缘件9，所述绝缘件9一端沿电极柱5插入真空箱体1，另一端为环状设置在真空箱体1表面，在绝缘件9的底部与真空箱体1接触面上还设有密封圈8，电极柱5的另一端通过固定螺母6紧固在绝缘件9上。

所述绝缘件9的表面设有若干固定孔10，用于将绝缘件固定在真空箱体1后端。

所述真空箱体1的后端设有两排竖直设置的电极馈入结构4，且每排设有若干均匀排布的6个电极馈入结构4。