氧化铍整体式电阻加热器的制作方法

本申请要求2016年4月7日提交的序列号为62/319,388的美国临时专利申请的优先权，该美国临时专利申请全部通过引用并入本文。背景本公开涉及集成在包含氧化铍(beo)的陶瓷本体上或内部的电阻加热器。整体式电阻加热器在半导体制造和操作领域中具有特定应用，并将特别参考其进行描述。然而，应了解，本公开还适用于其它类似应用。根据焦耳第一定律，整体式电阻加热器经由传导(与对流或辐射相比)更快地通过介质传递热能。但是，介质必须是电绝缘的，否则加热器将会短路。大多数传统的导热材料是金属，金属是导电的，因此不适合作为直接接触整体式加热器的介质。大多数传统的电绝缘材料(例如陶瓷和玻璃)具有低导热性，这会导致传热差。期望提供使这些问题最小化的整体式电阻加热器。技术实现要素：在本文的各种实施方案中公开了整体式电阻加热器，其中加热元件与氧化铍(beo)陶瓷本体直接接触并结合到氧化铍(beo)陶瓷本体。氧化铍具有电绝缘和高导热性的独特性质。在本文公开的一些实施方案中，整体式电阻加热器包括氧化铍(beo)陶瓷本体，该氧化铍陶瓷本体具有第一表面和第二表面。加热元件由耐火金属化层形成。加热元件与beo陶瓷本体的第一表面或第二表面直接接触并结合。在本文公开的其他实施方案中，形成整体式电阻加热器的方法包括通过将耐火金属化涂料施加到beo陶瓷本体的第一表面或第二表面上来形成加热元件。在这些实施方案中，通常设想陶瓷本体的长度和宽度相对于陶瓷本体的厚度大。在本文公开的其他实施方案中，整体式电阻加热器包括在第一端子和第二端子之间延伸的beo陶瓷管。加热元件由耐火金属化涂料形成并直接施加在beo陶瓷管的外表面上，即在管的圆周表面/侧壁上(而不是管的两个端表面上)。加热元件的第一端部连接到第一端子，并且加热元件的第二端部连接到第二端子。这些端子可通过软焊、硬焊或点焊连接到beo陶瓷管。在其他实施方案中，公开了用于加热器组件(heaterpack)的整体式电阻加热器。加热器组件包括beo陶瓷顶板。中间beo陶瓷本体具有第一表面、第二表面和由印刷在第一表面或第二表面上的耐火金属化涂料形成的加热元件。还包括beo陶瓷基板。顶板、中间陶瓷本体和基板形成“夹层”，中间陶瓷本体位于中间。加热器端子延伸穿过beo陶瓷基板并连接到中间beo陶瓷本体的加热元件。这些端子通过软焊或硬焊或点焊或机械螺纹连接到beo。最后，至少一个电源可以连接到加热器端子以用于根据欧姆定律以及其伏特交流电(vac)等效形式p(t)＝i(t)v(t)来控制加热元件。附图说明以下是附图的简要描述，附图出于说明本文公开的示例性实施方案的目的而给出，而不用于限制示例性实施方案的目的。图1是根据本公开的整体式电阻加热器的俯视图。图2是用于印刷具有螺旋图案的加热元件的丝网的俯视图。图3a是用于印刷双区域加热元件的具有迷宫图案的第一区域的第一丝网的俯视图。图3b是用于印刷双区域加热元件的具有迷宫图案的第二区域的第二丝网的俯视图。图4a是具有管状本体的整体式电阻加热器的透视图。图4b是图4a中所示的管状加热器的横截面侧视图。图4c是图4a中所示的管状加热器的透视图，示出了施加金属化涂料以形成加热元件。图5是包括根据本公开的整体式电阻加热器的加热器组件的部件的3d模型。图6是包括根据本公开的第二方面的整体式电阻加热器的加热器组件的部件的3d模型。图7是示出对于施加到根据本公开的整体式电阻加热器的约6vac至约44vac的电压的实际瓦数对温度的图表。图8是示出对于施加到根据本公开的整体式电阻加热器的60vac的电压的实际瓦数对温度的图表。图9是示出对于施加到根据本公开的整体式电阻加热器的约6vac至约44vac的电压的电阻对温度的图表。图10是示出对于施加到根据本公开的双区域整体式电阻加热器的约40vac至约108vac的所施加电压的实际瓦数对温度的图表。图11是示出对于施加到根据本公开的双区域整体式电阻加热器的约21vac至约57vac的所施加电压的实际瓦数对温度的图表。图12是示出对于施加到根据本公开的双区域整体式电阻加热器的约13vac至约121vac的所施加电压的实际瓦数对温度的图表。图13是示出对于施加到根据本公开的双区域整体式电阻加热器的约7vac至约63vac的所施加电压的实际瓦数对温度的图表。图14是示出对于施加到根据本公开的双区域整体式电阻加热器的约17.5vac至约118vac的所施加电压的电阻对温度的图表。图15是示出对于结合到根据本公开的整体式电阻加热器的陶瓷本体的钼(mo)和kovar加热元件的箔粘附的图表。具体实施方式通过参考附图可以获得对本文公开的工艺和装置的更完整的理解。这些图仅仅是基于方便和简化的示意性表示，因此并不旨在表示组件或其部件的相对大小和尺寸。通过参考以下对期望实施方案和其中包括的实施例的详细描述，可以更容易地理解本公开。在下面的说明书和所附的权利要求中，将参考许多术语，这些术语应被定义为具有以下含义。除非上下文另有明确规定，否则单数形式“一”、“一个”和“该”包括复数指示物。本申请的说明书和权利要求中的数值应理解为包括当减少到相同数量的有效数字(significantfigures)和数值时相同的数值，所述有效数字和数值与所声明的值相差小于本申请中描述的用于确定该值的这类型的常规测量技术的实验误差。本文公开的所有范围包括所述的端点并且可独立地组合(例如，范围“2克至10克”包括端点，2克和10克，以及所有中间值)。如本文所使用的，可以应用诸如“约”和“基本上”的近似语言来修饰可以变化的任何定量表示，而不会导致与其相关的基本功能的改变。修饰语“约”也应被视为公开了由两个端点的绝对值定义的范围。例如，表述“约2至约4”也公开了“从2到4”的范围。术语“约”可以指所示数字的正负10％。术语“典型”和“典型地”是指标准和通用实践。术语“室温”是指20℃至25℃的范围。本文使用若干术语来指代特定图案。本文使用的术语“螺旋”是指在平面上的曲线，该曲线围绕固定中心点以与该点连续增加的距离缠绕。术语“阿基米德螺旋”是指具有以下特性的螺旋：源自中心点的任何射线在具有恒定分离距离的点与螺旋的连续转弯(successiveturningsofthespiral)相交。术语“迷宫(maze)”和“迷阵(labyrinth)”是指不连续线和/或曲线的图案，该不连续线和/或曲线连接在一起以形成回路，类似于一组壁在壁之间形成一系列不同路径。术语“单行的”是指“迷宫”或“迷阵”具有通向图案中心的单一通路。术语“多行的(multicursal)”是指“迷宫”或“迷阵”具有通向图案中心的多条(即，多于一条)通路。术语“z字形”是指其中单条线具有突然转弯使得该线在第一侧和第二侧之间来回运动的图案，其中该线在第一端部开始并且在第二端部结束。本文使用术语“顶部”和“基部”。这些术语表示相对方向，而不是绝对方向。公开了用于形成整体式电阻加热器的方法和由该方法形成的加热器。本文公开的整体式电阻加热器可以用于加热器组件中，加热器组件在硅晶片工业中，例如在半导体制造中，是有用的。整体式电阻加热器包括氧化铍(beo)陶瓷本体和与beo陶瓷本体直接接触并结合到beo陶瓷本体的电加热元件。加热元件可以用金属化涂料形成，金属化涂料在施加到陶瓷本体时通常形成微细的耐火金属的厚膜。beo陶瓷本体具有高导热性和电绝缘性的独特组合。这允许与加热元件紧密接触而不会导致其短路。由于高导热性，beo加热器也可以快速循环(倾斜升温、冷却)。beo也是一种耐高温的耐火材料。beo在腐蚀性气氛和腐蚀性液体中也是电绝缘的和抗蚀刻的。现在参考图1，整体式电阻加热器100通常包括由氧化铍(beo)制成的陶瓷本体102。加热元件108形成在陶瓷本体的表面上。例如，加热元件可以印刷在陶瓷本体的第一表面104上，或者印刷在陶瓷本体的位于第一表面104对面的第二表面106(图5)上。这里也可以看到加热元件108的两个端部123、125，该两个端部123、125将连接到电源。同样可见的是两个通道(pass-through)127，如关于图5进一步说明的，通过该两个通道127允许电连接到陶瓷本体的相对表面上的加热元件。beo陶瓷本体102在图1中示出为具有圆盘形状。在该圆盘形状中，本体的第一表面和第二表面的半径通常大于本体的厚度。然而，应该理解，beo陶瓷本体可以具有适合用作整体式电阻加热器的任何形状。例如，本体可以具有矩形的第一表面，或者陶瓷本体可以是本体厚度大于本体半径的管。beo陶瓷本体的加热元件由包含导电的耐火金属的涂料(即，金属化涂料)形成。金属化涂料可包含钼(mo)或钨(w)，并可包含其他成分。在一些实施方案中，金属化涂料包含“锰化钼(moly-manganese)”，锰化钼是钼、锰和玻璃粉末的混合物。在一些特定实施方案中，金属化涂料包含二硅化钼(mosi2)。二硅化钼也是高度耐火的(熔点2030℃)，并且可以在高达约1800℃操作。取决于beo陶瓷本体的形状和尺寸，可以使用若干技术之一施加金属化涂料。这些技术包括丝网印刷、使用细条纹轮进行辊涂、手工涂覆、气刷喷涂、浸渍、离心涂布和用注射器进行针涂。在一些特定实施方案中，通过丝网印刷、辊涂或气刷施加一层、多层金属化涂料。金属化涂料可以形成用作beo陶瓷本体表面上的加热元件的厚膜。期望厚度取决于由电源提供的电流产生热量所需的电阻以及其他因素。然而，单独的厚度不是驱动电阻的唯一因素；金属化涂料配方(即，金属与玻璃的比例)和烧结量(即，收缩、玻璃的毛细管作用和氧化-氧化还原反应(oxy-redoxreactions))也改变电阻率。在一些实施方案中，厚膜的厚度通常可以在约300至900微英寸(7.62μm至22.86μm)之间，但是可以减小或通过多次施加金属化涂料来增加，以便实现遵守焦耳第一加热定律所需的期望电阻。对于加热元件的更复杂设计，金属化涂料也可以采用图案形式施加，例如图1中所示的迷宫图案112。在一些特定实施方案中，使用丝网印刷工艺施加金属化涂料以形成加热元件。图2示出了用于丝网印刷的丝网110。金属化涂料用于形成具有螺旋图案114的加热元件。在一些实施方案中，该螺旋是阿基米德螺旋。丝网通常包括在框架118上伸展的一件网状物120。通过遮蔽丝网在图案的负像(negativeimage)中的部分来形成期望图案。换句话说，螺旋图案114指示金属化涂料将在beo陶瓷本体上呈现的位置。丝网印刷通常可包括在印刷发生之前的印前工艺，其中在透明覆盖层上创建期望图案的原始不透明图像。然后选择具有适当目数的丝网。丝网用uv固化乳剂涂覆，由阴影区130表示。将覆盖层置于丝网上并用uv光源曝光以固化乳剂。然后冲洗丝网，在网状物上留下期望图案的负性感光膜。beo陶瓷本体的第一表面可涂覆宽托盘胶带，以防止可能污染beo陶瓷本体的通过丝网的不希望的泄漏。最后，乳剂中任何不希望的针孔都可以用胶带、特种乳剂或阻塞笔堵塞。这防止金属化涂料继续穿过针孔并在beo陶瓷本体上留下不希望的痕迹。通过将丝网110放置在beo陶瓷本体的第一表面或第二表面上来进行印刷。金属化涂料放置在丝网的顶部，并使用覆墨条(floodbar)将金属化涂料推动穿过网状物120中的孔。覆墨条最初放置在丝网的后部并位于金属化涂料的储器后面。丝网被抬起以防止与beo陶瓷本体接触。然后用稍微向下的力将覆墨条拉到丝网的前面，用金属化涂料有效地填充网格开口，并将储器移到丝网的前面。使用橡胶刀片或刮刀将网状物向下移动到beo陶瓷本体，并将刮刀推到丝网的后部。通过液压作用将网格开口中的金属化涂料以受控和规定的量泵送或挤压到beo陶瓷本体上。换句话说，湿的金属化涂料与网状物和/或模版的厚度成比例地沉积。在“离网(snap-off)”工艺中，刮刀向丝网的后部移动并且张力使网状物向上拉并远离beo陶瓷本体的表面。在离网之后，金属化涂料以加热元件的期望图案留在beo陶瓷本体的表面上。接下来，如果需要，可以用另一层金属化涂料重新涂覆丝网。可选地，丝网可以进行另外的去雾步骤，以在除去乳剂后除去留在丝网中的雾或“残影”。在沉积金属化涂料之后，可以进行烧结以促进金属化涂料与beo陶瓷本体的牢固、气密的结合。金属化基体中的非金属组分将扩散到beo陶瓷本体的晶粒边界中，从而补充其强度。烧结量(即，时间和温度)影响电子导电路径的容积组成。烧结过程中的气氛影响金属和半金属低氧化物的氧化和还原反应。烧结层变为导电的，如果需要，允许随后镀覆金属化层，但这不是加热所必需的。镀覆可以通过电解(机架或桶)或无电镀覆工艺进行。可以使用各种材料进行镀覆，包括镍(ni)、金(au)、银(ag)和铜(cu)，然而应考虑工作温度和气氛。图2中示出的实施方案示出了丝网的框架118通常为方形。在一些实施方案中，方形框架可具有约5英寸×5英寸的长度和宽度。网状物120可以是由不锈钢制成的325目网状物。网状物的线相对于框架具有30度的偏置。乳剂130的厚度为约0.5密耳(0.0127mm)。从本公开应该理解，这样的尺寸仅是示例性的，并且可以根据需要选择任何合适的丝网形状和尺寸。图3a(未按比例)和图3b(未按比例)示出了使用第一丝网122来印刷第一加热元件126的丝网印刷方法。然后使用第二丝网124来印刷第二加热元件128。在一些实施方案中，第一加热元件可以印刷在beo陶瓷本体102的第一表面104上(图1所示)，且第二加热元件可以印刷在beo陶瓷本体的第二表面106上(图5)。两个加热元件可以连接到相同的端子或不同的端子，并且可以一起操作或独立地选择。第一加热元件和第二加热元件在图3a和图3b中示出为具有一系列大致同心圆，该一系列大致同心圆形成圆形迷宫或迷阵图案。如这里所示，第一加热元件126呈单行迷阵图案，且第二加热元件128也呈单行迷阵图案。然而，可预期也可以使用多行迷阵的图案。在图3a中，端子123、125和通孔127也是可见的。在图3a和图3b所示的实施方案中，框架132可以是长度和宽度约为10英寸×10英寸的方形。网状物120可以为由不锈钢制成的325目网状物。网状物的线相对于框架具有30度的偏置。乳剂134的厚度约为1密耳(0.0254mm)。图4a和图4b示出了具有管状形状的beo陶瓷本体202的示例性整体式电阻加热器200。与实心的杆相反，管状意味着存在穿过陶瓷本体的中空通道，或者换句话说，管状本体可以被描述为具有第一或外表面和第二或内表面的圆柱形侧壁。管状本体在位于管状本体的相对端上的第一端子204和第二端子206之间延伸。在一些实施方案中，第一端子和第二端子由kovar金属或钼(mo)金属制成。这些端子可以通过软焊、硬焊或点焊之一连接到beo陶瓷本体。加热元件208存在于beo陶瓷本体的外表面214上。加热元件可以具有延伸管状beo陶瓷本体长度的螺旋形状。加热元件在第一端部210处连接到第一端子204并且在第二端部212处连接到第二端子206。图4a中的整体式电阻加热器的一些方面可以在图4b所示的横截面图中更清楚地看到。特别地，beo陶瓷本体202形成侧壁，但端子204、206形成电阻加热器的端部。换句话说，kovar金属或钼金属盖子放置在beo陶瓷本体的端部，并通过软焊、硬焊或点焊之一连接。另外，beo陶瓷本体的外表面214包括使加热元件208形成在其中的通道。如图4c所示，形成加热元件208的金属化涂料经由细条纹施用器216通过辊涂施加。施用器216具有滚轮218，滚轮218装载有与beo表面214直接接触的储器。beo陶瓷本体202可以在主轴(未示出)上旋转，以通过表面张力从细条纹施用器滚轮上抽出涂料。图5示出了包含前述整体式电阻加热器的加热器组件。加热器组件通常包括顶板150、中间beo陶瓷本体102、第一加热元件108和基板152。beo陶瓷本体102设置在顶板和基板之间，并具有第一表面104和第二表面106。第一加热元件108在这里示出为印刷在beo陶瓷本体的第一表面上。第一表面104与基板152相邻，且第二表面106与顶板150相邻。beo陶瓷本体的第二表面上还具有加热元件(不可见)。加热器端子156延伸穿过基板152并连接到中间beo陶瓷本体的第一表面上的第一加热元件108。应注意，相同的加热器端子也可以延伸穿过中间陶瓷本体，以连接到第二表面上的第二加热元件(如果存在的话)。然而，这里加热器端子154通过软焊、硬焊、点焊或机械螺纹连接到第二加热元件。组装后，加热元件嵌入加热器组件的顶板和基板之间。至少一个电源158可以连接到端子154、156中任一者或者串联或并联连接的两者，用于控制加热元件。在一些实施方案中，将加热元件印刷到beo陶瓷本体的第一表面上，并将第二加热元件(不可见)印刷到第二表面上以形成双区域整体式电阻加热器。在这方面，可以使用图3a中所示的第一丝网122来印刷第一加热元件。可以使用图3b中所示的第二丝网124来印刷可选的第二加热元件。当加热器组件包括双区域整体式电阻加热器时，这里包括第二加热器端子154。第二加热器端子延伸穿过基板，也延伸穿过中间本体本身，并通过任何合适的方式(例如软焊、硬焊、点焊或机械螺纹)连接到中间beo陶瓷本体的第二表面106上的第二加热元件。电源158还可用于通过第二加热器端子控制第二加热元件。可选地，第二电源(未示出)可用于通过第二加热端子控制第二加热元件。电源可以独立地或协作地向加热器元件提供电压。还可以包括控制器(未示出)以调制由电源提供的电压信号，并且还可以将模拟信号转换为数字信号，以便在显示装置(未示出)上读出。显示装置可以包括lcd、计算机监视器、平板电脑或移动阅读器装置，以及本领域普通技术人员已知的其他显示装置。单个、多个或冗余热电偶在装置上的期望位置处直接表面接触，从而向控制器提供闭环反馈信号。在一些实施方案中，顶板150包括陶瓷半导体材料层、电极层和陶瓷beo层。陶瓷半导体材料可包括掺杂有二氧化钛(titaniumdioxide)或二氧化钛(titania)(tio2)的氧化铍(beo)。陶瓷半导体材料层还可包括少量的玻璃共晶体，该玻璃共晶体在烧结过程中用作粘合剂结合，和/或气密密封封装。在另外的实施方案中，基板152可以包括氧化铍beo陶瓷层，类似于中间beo陶瓷本体102。基板可以包括：用于经由第一加热端子连接到第一加热元件的孔162；以及经由第二加热端子连接到第二加热元件的孔160。参照图6，示出了包括根据本公开的第二方面的整体式电阻加热器的加热器组件300，。加热器组件通常包括顶板350、加热元件308和基板352。加热元件还包括两个连接有加热器端子的端部354。顶板可包括陶瓷半导体材料层、电极层和陶瓷beo层，类似于图5的顶板150。基板可以是氧化铍beo陶瓷层，类似于图5的基板152。加热器端子(未示出)可以延伸穿过基板以连接到加热元件端部354。加热器组件还可以包括用于通过加热器端子控制加热元件的电源(未示出)，应用欧姆定律，以及其电压交流电(vac)等效形式p(t)＝i(t)v(t)。这里，加热元件308是箔或薄膜层，箔或薄膜层具有通过任何合适的方法，例如蚀刻、模切、水射流或激光切割形成的大致z字形图案。在一些实施方案中，加热元件308可以是由镍钴铁合金(例如，kovar)、钼(mo)、钨(w)、铂(pt)或铂铑(ptrh)合金中的一种制成的箔。加热元件308使用精确控制的温度通过气体/金属共晶键直接结合到beo的表面，以产生瞬态液相。在其他实施方案中，加热元件是含钼的薄膜，并使用物理气相沉积(pvd)工艺(例如，溅射沉积、真空蒸发等)沉积。实施例实施例1将具有约4.5欧姆电阻并由金属化涂料形成的加热元件嵌入2英寸×2英寸beo陶瓷方形板的表面下方0.040英寸处。向加热元件施加约6.5伏特的电压。加热元件汲取大约1.44安培的电流并输出大约9w的功率。beo陶瓷板触感温暖。实施例2将由金属化涂料形成的双区域加热元件嵌入直径为约200mm(7.5”)的beo圆盘内。第一区域位于表面下方约0.068”处，且第二区域位于表面下方约0.136”处。第一区域加热元件通电并在约282℃达到约501w功率的输出。然后给第二区域加热元件供电，并且第一区域加热元件下降到大约418w的功率。第二区域加热元件在约458℃达到约354w功率的输出。加热元件表现出耐高温系数。实施例3将约6vac至60vac范围的电压应用于上述实施例1的加热元件。加热元件的启动电阻为4.2欧姆，室温为76°f。在约60vac时，加热元件分别达到约592℃的最高温度和约228w的功率输出。结果如下表1所示。表1：对于2”x2”beo加热器的加热测试在图7-9中，对于表1中约6vac至约60vac的施加电压绘制实际瓦数(w)、电阻(欧姆，ω)和温度(℃)。如图7中所见，绘制了约6vac、12vac、18vac、24vac、32vac、38vac和44vac的输入电压。这些输入电压的最高温度分别为约60℃、105℃、160℃、205℃、250℃、375℃和415℃。这些输入电压下的最大功率输出分别为约8w、24w、47w、67w、106w、125w和158w。在图8中，将热电偶移动到不同区，并且对于60vac的施加电压绘制实际瓦数(w)和温度(℃)。最高温度为约592℃，最大功率输出为约276w。在图9中，对于来自表1、图7和图8的施加电压绘制电阻(欧姆，ω)和温度(℃)系数。输入电压为6vac、12vac、18vac、24vac、32vac、38vac、44vac和60vac时的最高电阻分别为约4ω、7ω、8ω、10ω、11ω、13ω、13ω和16ω。实施例4将电力供应到根据以上实施例2描述的双区域加热元件。在第一区域和第二区域的两次测试中施加约7vac至121vac范围的电压。区域1测试1的起始电阻为约17.8ω。区域2测试1的起始电阻为约5.9ω。在区域1测试2，起始电阻为约20.9ω。最后，区域2测试2的起始电阻为约7.4ω。第一区域和第二区域的两次测试结果在下表2-5中示出。表2:对于双区域beo圆盘加热器的加热测试，区域1测试1表3：对于双区域beo圆盘加热器的加热测试，区域2测试1表4：对于双区域beo圆盘加热器的加热测试，区域1测试2表5:对于双区域beo圆盘加热器的加热测试，区域2测试2在图10-14中，对于从上面的表2-5施加的约7v至121v的电压绘制实际瓦数(w)、电阻(欧姆，ω)和温度(℃)。如图10所示，区域1测试1的约40vac-108vac的输入电压导致最高温度为约60℃-310℃和最大功率输出为约87w-382w。在图11中，区域2测试1的约21vac-57vac的输入电压导致最高温度约为60℃-310℃和最大功率输出约为74w-320w。在图12中，区域1测试2的约13v-121v的输入电压导致最高温度为约70℃-416℃和最大功率为约7w-394w。在图13中，区域2测试2的约7v-63v的输入电压导致最高温度为约70℃-416℃和最大功率为约7w-330w。在图14中，对于来自区域1(图10、图12)的施加电压绘制了电阻(欧姆，ω)和温度(℃)系数。电阻约为18ω-37ω。实施例5根据图6中所示的实施方案构造了两种加热元件类型。第一加热元件使用钼(mo)箔作为加热元件材料，且第二加热元件使用kovar作为加热元件材料。制备三个钼(mo)加热元件样品，以磅剪切(lbs-shear)为单位测量箔与beo陶瓷本体的粘附性。制备六个kovar加热元件样品，并以磅剪切为单位测量箔与beo陶瓷本体的粘附。对于钼(mo)和kovar型加热元件样品，箔与beo衬底接触的表面积在每侧约为0.17平方英寸。校准的测力传感器(loadcell)用于测量室温下200kpsi/min的负载率下的压缩力(compressiveforce)。将样品装载在第一板的底部边缘上和第二板的顶部边缘上以模拟剪切力。不同钼(mo)和kovar加热元件的箔粘附结果显示在下表6中。表6：箔在beo陶瓷本体上的粘附kovar箔钼(mo)箔样品号粘附(磅剪切)粘附(磅剪切)191722529813173108822641088-51088-6946-在图15中，绘制了每个样品达到的最大粘附。钼(mo)加热元件的样品2实现了约300磅剪切的最大粘附。kovar加热元件的样品3-5均达到大于约1088磅剪切的最大粘附，这是测力传感器停止测量的上限。已经参考示例性实施方案描述了本公开。显然，在阅读和理解前面的详细描述后，其他人将想到修改和变化。本公开旨在被解释为包括所有这些修改和变化，这些修改和变化落入所附权利要求或其等同物的范围内。当前第1页12