电子零件的安装装置和显示用部件的制造方法与流程

本发明的实施方式涉及在具有挠性的显示用面板的边缘部安装具有挠性的电子零件的电子零件的安装装置和显示用部件的制造方法。

背景技术：

在作为电视机、个人计算机、智能手机等便携终端等的显示器而使用的平板显示器市场中，液晶显示器占据了压倒性的普及率。在这样的状况下，近年来，具备不需要背光灯而能够薄型化、并且由于形成在柔软的树脂薄膜上而能够弯折这样的特征的有机el显示器，特别是以便携终端用的小型显示器市场为中心而受到关注。由此，要求能够良好地用于能够弯折、即具有挠性的有机el显示器的组装的电子零件的安装装置。

当前，作为一般的电子零件的安装装置，已知有液晶显示器用的外部引线接合装置(以下，称为olb装置。)(参照专利文献1)。但是，不知道作为有机el显示器用的olb装置。因此，在制造有机el显示器时实施的电子零件的安装工序中，使用液晶显示器用的olb装置来代替。

液晶显示器用的olb装置是在由玻璃基板构成的显示用面板上经由各向异性导电带安装电子零件的装置。在使用了液晶显示器用的olb装置的安装工序中，首先使显示用面板的用于安装电子零件的边缘部从工作台伸出而保持，并使压接头所保持的电子零件接近该显示用面板的边缘部。在该状态下，通过一个摄像机从显示用面板的下侧同时拍摄显示用面板的上表面的对准标记和电子零件的下表面的对准标记，对两者的相对位置进行识别。然后，通过支承工具从下侧保持显示面板的边缘部，基于识别出的相对位置使电子零件与显示用面板对位，通过压接头经由各向异性导电带将电子零件加热加压而安装于显示用面板的边缘部。

专利文献1：日本特开2006-135082号公报

在将所述的液晶显示器用的olb装置直接应用于有机el显示器的制造工序的情况下，无法高精度地安装电子零件。即，本申请发明人等尝试了直接使用所述的液晶显示器用的olb装置，在有机el显示器的构成部件即具有挠性的显示用面板(以下，称为有机el面板。)上安装电子零件，并制造显示用部件。具体而言，在智能手机中广泛普及的、大小为5.0英寸且厚度为大约0.2mm的有机el面板上，作为电子零件而安装了宽度尺寸为38mm的cof(chiponfilm)。其结果，判明了在仅直接应用液晶显示器用的olb装置的情况下，无法将电子零件高精度且高品质地安装于有机el面板。具体而言，明确了在智能手机用的有机el面板中，要求±3μm左右的安装精度，但无法满足这样的安装精度、进而无法满足安装品质。

技术实现要素：

本发明是为了应对在将所述的现有的液晶显示器用的olb装置应用于有机el显示器的制造工序的情况下产生的电子零件的安装精度降低、安装品质降低这样的课题而完成的，其目的在于提供电子零件的安装装置和显示用部件的制造方法，即使在通过热压接在具有挠性的显示用面板上安装具有挠性的电子零件的情况下，也能够在显示用面板上高精度地安装电子零件。

实施方式的电子零件的安装装置为，在排列于具有挠性的显示用面板的边缘部的多个电极上，经由接合部件连接具有挠性的电子零件中的与所述多个电极对应地排列的多个端子，由此将所述电子零件安装于所述显示用面板，该电子零件的安装装置具备：工作台，以所述边缘部在3mm以上15mm以下的范围内伸出的方式载放所述显示用面板，能够沿水平方向移动；支承单元，从下侧支承载放在所述工作台上的所述显示用面板的所述边缘部；热压接头，从上侧保持所述电子零件，将所述电子零件热压接到由所述支承单元支承的所述边缘部的上表面上，能够沿着水平方向以及垂直方向移动；位置识别装置，具备：摄像装置，对设置在从所述工作台伸出的所述显示用面板的所述边缘部的对准标记和设置在所述电子零件上的对准标记进行拍摄；和光照射部，从与所述摄像装置的相反侧对所述显示用面板照射光，该位置识别装置对所述显示用面板与所述电子零件之间的位置关系进行识别；以及控制装置，基于由所述位置识别装置识别出的所述位置关系，以使所述显示用面板与所述电子零件的位置对准的方式，调整所述工作台与所述热压接头之间的相对位置，并且以通过所述热压接头使所述电子零件热压接于所述显示用面板上的方式，控制所述工作台及所述热压接头，所述显示用面板从所述工作台伸出的部分的弯曲弹性模量为2.6gpa以上4.0gpa以下。

实施方式的显示用部件的制造方法具备：载放工序，将具有挠性的显示用面板以具有多个电极的边缘部的伸出量成为3mm以上15mm以下的范围的方式载放于工作台，所述显示用面板从所述工作台伸出的部分的弯曲弹性模量为2.6gpa以上4.0gpa以下；保持工序，使具有与所述多个电极对应地设置的多个端子、且具有挠性的电子零件保持于热压接头；位置识别工序，对于设置在载放于所述工作台上的所述显示用面板的所述边缘部的对准标记，在从与进行拍摄的一侧相反的一侧对该对准标记照射光的状态下进行拍摄，并且对设置在由所述热压接头保持的所述电子零件上的对准标记进行拍摄，基于拍摄到的两个对准标记的图像，对所述显示用面板与所述电子零件之间的位置关系进行识别；以及热压接工序，基于在所述位置识别工序中识别出的所述位置关系，对所述工作台与所述热压接头之间的相对位置进行调整，通过所述热压接头将所述电子零件热压接于所述显示用面板，制造所述电子零件的所述多个端子经由连接部件而与所述显示用面板的所述多个电极连接的显示用部件。

发明的效果

根据本发明的安装装置，即使在通过热压接将具有挠性的电子零件安装于有机el面板那样的具有挠性的显示用面板的情况下，也能够高精度且维持安装品质地安装电子零件。进而，根据本发明的显示用部件的制造方法，能够提供在显示用面板上高精度且维持安装品质的同时安装了电子零件的显示用部件。

附图说明

图1是表示实施方式中的电子零件的安装装置的俯视图。

图2是图1所示的安装装置的侧视图。

图3是应用于实施方式的安装装置的有机el面板的剖视图。

图4是表示图1所示的安装装置的临时压接装置的立体图。

图5是放大表示图4所示的安装装置的临时压接装置的工作台的剖视图。

图6是表示应用于实施方式的安装装置的有机el面板及电子零件的俯视图。

图7是表示图1所示的安装装置的正式压接装置的立体图。

图8是表示图1所示的安装装置中的有机el面板的保持体的一例的立体图。

图9是表示图1所示的安装装置中的有机el面板的保持体的其他例子的立体图。

图10是表示其他实施方式中的电子零件的安装装置的俯视图。

图11是表示实施例1的安装精度的变动的曲线图。

图12是表示比较例1的安装精度的变动的曲线图。

符号的说明

1：安装装置，10(10a、10b)：冲裁装置，12：模具装置，20：间歇旋转输送装置，21：臂部，24：保持头，30：各向异性导电带粘贴装置(接合部件粘贴装置)，32：粘贴头，40：临时压接装置，41：临时压接头，42：工作台，42a：载放部，42b：工作台驱动部，43：支承单元，43a：支承工具，44：位置识别装置，44a：第一摄像装置，44b：第二摄像装置，44c：图像处理装置，44d：光照射部，50：正式压接装置，51：工作台，52：正式压接头，53：支承部，60：第一交接装置，61：承接部，70：第二交接装置，71：承接部，80：第一输送部，81：保持体，81a：电极面吸附块，81b：显示区域吸附部，90：第二输送部，91：保持体，100：第三输送部，101：保持体，110：控制装置，111：存储部，f：各向异性导电带，p：有机el面板，w：电子零件。

具体实施方式

以下，参照附图对实施方式的电子零件的安装装置以及显示用部件的制造方法进行说明。附图是示意性的图，厚度与平面尺寸之间的关系、各部分的厚度的比率等有时与现实情况不同。说明中的表示上下方向的用语，在没有特别说明的情况下表示将后述的显示用面板(有机el面板)的电子零件的安装面设为上的情况下的相对方向。

[安装装置的构成]

图1是表示实施方式的电子零件的安装装置的构成的俯视图，图2是图1的电子零件的安装装置的侧视图。图1和图2所示的电子零件的安装装置1用于制造有机el显示器那样的显示装置的构成部件(显示用部件)。即，安装装置1是如下装置：将从载带t冲裁出的cof等具有挠性的电子零件w，经由作为连接部件的各向异性导电带f安装在具有挠性的作为显示用面板的有机el面板p上，用于制造在有机el面板p上安装有电子零件w的显示用部件。

在此，有机el面板p主要由具有挠性的部件形成。作为具有挠性的部件，例如使用聚酰亚胺(pi)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)、聚碳酸酯(pc)等。也能够通过粘接剂将这些部件贴合而使用。有机el面板p构成为，厚度为50μm以上500μm以下，弯曲弹性模量为2.6gpa以上4.0gpa以下。以下，将该厚度和弯曲弹性模量称为有机el面板p的物理特性。本实施方式中的有机el面板p具有将形成有有机el元件的pi膜经由粘接剂贴合于作为支承材料的pet膜的构成。相对于pi膜的厚度(大约10μm)，pet膜的厚度(大约200μm)为10倍以上，因此可以认为有机el面板p的弯曲弹性模量与pet膜的弯曲弹性模量大致相等。

另外，所述物理特性不需要在有机el面板p的整体中具备，只要至少从后述的工作台42的载放部42a(参照图4)伸出的部分具备即可。例如，如果使有机el面板p中的安装电子零件w的边缘部从工作台42的载放部42a伸出15mm，则距该边缘部15mm的范围具备所述物理特性即可。

更详细而言，如图3所示，安装电子零件w的有机el面板p具有显示部pa和边缘部pb。显示部pa是形成有作为显示元件的有机el元件pa1的部分，是显示图像的部分。边缘部pb是位于显示部pa的外周侧的部分，是形成有连接部分pb1的部分，在该连接部分pb1形成有与电子零件w的电极连接的电极等。这样的有机el面板p为，如上所述，包含显示部pa和边缘部pb的整体由作为基材的pi膜ka构成，在该pi膜ka上形成有成为显示部pa的有机el元件pa1。该pi薄膜ka是厚度小于50μm、具体为10～30μm左右的非常薄的部件。

因此，在本实施方式中，通过粘接剂kc将大小与pi膜ka相同、厚度为200μm的作为支承材料的pet膜kb贴合于pi膜ka的背面(与形成有有机el元件pa1的面相反侧的面)。另外，在显示部pa，有时贴合有用于保护有机el元件pa1的覆盖膜(也称为阻挡膜。)等光学膜kd。光学膜kd具有与显示部pa大致相同的大小。例如，作为覆盖膜，能够使用在聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)、聚萘二甲酸乙二醇酯(pen)、环烯烃聚合物(cop)等塑料膜上涂布了阻气层而得到的膜。覆盖膜的厚度为数10μm至200μm左右。

在具有这种构成的有机el面板p中，在仅边缘部pb从工作台42的载放部42a伸出的情况下，只要边缘部pb具有所述的物理特性即可。即，只要pi膜ka与pet膜kb所贴合的部分为所述的物理特性即可。另外，在边缘部pb以及显示部pa的一部分从载放部42a伸出的情况下，只要边缘部pb以及显示部pa的部分具有所述的物理特性即可。即，在显示部pa不存在覆盖膜的情况下，只要pi膜ka与pet膜kb所贴合的部分为所述的物理特性即可。另一方面，在显示部pa存在光学膜kd的情况下，作为边缘部的pi膜ka与pet膜kb所粘贴的部分的物理特性、和作为显示部pa的pi膜ka、pet膜ks以及光学膜kd所贴合的部分的物理特性均为所述的物理特性即可。

这里，弯曲弹性模量是按照由jisk7171：塑料-弯曲特性的求法(2016年3月22日修订版)规定的试验方法进行测定而得到的值。具体而言，弯曲弹性模量试验如下进行：使具有长度80±2mm、宽度10.0±0.2mm、厚度4.0±0.2mm的尺寸的试验片，支承在将支点间距离调整为64mm的挠度测定装置的支承台上，使压头以2mm/min的试验速度下降到该支点间的中央。试验气氛为由jisk7100规定的标准气氛(温度23℃/湿度50％)。

作为电子零件w，使用具有挠性的cof等电子零件。cof是通过在由pi(聚酰亚胺)等形成的具有挠性的膜状的电路基板上安装半导体元件而构成的。如后所述，cof是通过从带状的膜部件冲裁来单片化而形成的。

显示用部件是在有机el面板p那样的显示用面板上经由各向异性导电带f那样的接合部件来安装cof那样的电子零件w而得到的，是作为有机el显示器等显示装置的构成部件使用的部件。

实施方式的安装装置1构成为，具备：冲裁装置10(10a、10b)，从载带t冲裁出电子零件w；间歇旋转输送装置20，对冲裁出的电子零件w进行吸附保持，在间歇旋转的同时进行输送；各向异性导电带粘贴装置(接合部件粘贴装置)30，配置在间歇旋转输送装置20的输送路径中途的间歇停止位置，对由间歇旋转输送装置20输送的电子零件w粘贴作为接合部件的各向异性导电带f；临时压接装置40，将粘贴有各向异性导电带f的电子部件w经由各向异性导电带f临时压接于有机el面板p；正式压接装置50，对通过临时压接装置40临时压接于有机el面板p的电子部件w进行正式压接；第一交接装置60，在冲裁装置10与间歇旋转输送装置20之间进行电子部件w的交接；第二交接装置70，在间歇旋转输送装置20与临时压接装置40之间进行电子部件w的交接；第一输送部80，对临时压接装置40进行有机el面板p的搬入；第二输送部90，从临时压接装置40向正式压接装置50输送有机el面板p；以及第三搬送部100，从正式压接装置50搬出有机el面板p，并且具备控制装置110，该控制装置110对冲压装置10、间歇旋转输送装置20、各向异性导电带粘贴装置30、临时压接装置40、正式压接装置50、第一交接装置60、第二交接装置70，第一输送部80、第二输送部90、第三输送部100等各部的动作进行控制。

(冲裁装置10)

冲裁装置10用于从载带t冲裁出作为电子零件w的cof，具备第一冲裁装置10a和第二冲裁装置10b。第一冲裁装置10a和第二冲裁装置10b具备相同的构成，从装置正面观察以左右反转的状态配置。第一及第二冲裁装置10a、10b为，每次使用其中一方，在通过一个冲裁装置10a、10b进行冲裁的期间，能够进行另一方的冲裁装置10a、10b的载带t的更换作业。

第一及第二冲裁装置10a、10b分别具备：供给卷轴11，卷绕有冲裁前的载带t；模具装置12，从由供给卷轴11供给的载带t冲裁出电子零件w；以及卷绕卷轴13，对通过模具装置12冲裁出了电子零件w的载带t进行卷绕。从供给卷轴11送出的载带t通过多个导辊14及链轮15而变换方向，并经由模具装置12向卷取卷轴13输送。另外，链轮15在载带t的输送方向上配置在模具装置12的近前，通过基于未图示的驱动马达的旋转驱动，能够一边输送载带t，一边将载带t相对于模具装置12进行定位。

模具装置12具备上模具12a和与上模具12a对置配置的下模具12b。上模具12a在其下表面具备冲头12c。另一方面，在下模12b上形成有供冲头12c进入且上下贯通的冲模孔12d。在相对于这样的模具装置12供给以及定位了载带t的状态下，使上模具12a沿上下方向移动，由此从载带t冲裁出电子零件w。另外，构成为，在冲头12c的前端面设置有吸附孔(未图示)，能够吸附保持所冲裁出的电子零件w。

(间歇旋转输送装置20)

间歇旋转输送装置20具备：分度工作台22，俯视具有十字形状，相同形状的四个臂部21以相互正交的关系配置；以及旋转驱动部23，以90°间隔间歇地旋转驱动分度工作台22。在分度工作台22的各臂部21的前端，分别设置有吸附保持电子零件w的保持头24。在分度工作台22的每90°的四个停止位置a～d，设定有用于接收由冲裁装置10冲裁出的电子零件w的接收位置a、用于对保持于保持头24的电子零件w进行定位(矫正)以及清扫的矫正/清扫位置b、用于对保持于保持头24的电子零件w粘贴各向异性导电带f的粘贴位置c、以及用于将粘贴有各向异性导电带f的电子零件w交接到临时压接装置40的交接位置d。

(各向异性导电带粘贴装置30)

各向异性导电带粘贴装置30与间歇旋转输送装置20的粘贴位置c对应地设置，具备：供给卷轴31，卷绕有使各向异性导电带f粘贴支承在起模带r上的带状部件s；粘贴头32，配置在与位置固定于粘贴位置c的保持头24对置的位置；回收部33，回收剥离了各向异性导电带f之后的起模带r；多个引导部34，将从供给卷轴31供给的带状部件s沿着通过粘贴位置c的输送路径向回收部33引导；卡盘输送部35，配置在多个引导部34对带状部件s的输送路径的粘贴位置c的下游侧，沿着带状部件s的输送方向往复移动，由此将带状部件s每次以规定长度间歇输送；以及切断部36，配置在带状部件s的输送路径的粘贴位置c的上游侧，仅将带状部件s中的各向异性导电带f切断。

粘贴头32具有：粘贴工具32a，用于将被切断为规定长度并输送以及定位于粘贴位置c的各向异性导电带f按压到被定位在粘贴位置c的保持头24所保持的电子零件w的端子部；升降驱动部32b，使该粘贴工具32a升降移动；以及加热器32c，内置于粘贴工具32a，对粘贴工具32a进行加热而将各向异性导电带f粘贴于电子零件w的端子部。

(临时压接装置40)

如图4所示，临时压接装置40具备：临时压接头41，作为用于对通过各向异性导电带粘贴装置30粘贴有各向异性导电带f的电子零件w进行吸附保持，并向有机el面板p进行临时压接的热压接头；工作台42，用于对有机el面板p进行保持及定位；支承单元43，从下侧支承工作台42所保持的有机el面板p的包含安装电子零件w的边缘部且从工作台伸出的部分；以及位置识别装置44，用于识别工作台42所保持的有机el面板p与临时压接头41所保持的电子零件w之间的相对位置。

临时压接头41具有从电子零件w的上表面侧吸附保持电子零件w的加压工具41a、使加压工具41a向y、z、θ方向移动的工具驱动部41b、以及内置于加压工具41a而对加压工具41a进行加热的加热器41c。如图4所示，工作台42具有载放有机el面板p的载放部42a和使载放部42a向x、y、z、θ方向移动的工作台驱动部42b。

在载放部42a的载放有机el面板p的载放面42c上，形成有多个用于吸附保持有机el面板p的吸附孔42d。该吸附孔42d主要配置于在将有机el面板p载放于载放面42c时与有机el面板p中的图像的显示区域对置的位置。在该例子中，以在载放面42c的载放有机el面板p的区域(在图4中用双点划线包围的区域)内以均等的间隔呈行列状配置吸附孔42d的例子进行说明，但不必须在其整个区域中吸附保持载放在载放面42c上的有机el面板p。

例如，在图4中，也可以从放置面42c中的临时压接头41所位于的一侧对有机el面板p的长度的一半或1/3左右的区域进行吸附保持。吸附孔42d对有机el面板p的显示区域进行吸附，因此优选将孔径设定得较小，以面由于吸附而在显示区域中残留吸附痕迹。通过实验等求出有机el面板p的固定所需要的吸引力与由该吸引导致的有机el面板p的变形量之间的关系，并以不残留吸附痕迹的方式设定孔径的大小即可。另外，也可以通过多孔质部件、例如使用了多孔质陶瓷的真空卡盘来构成载放面42c。

另外，关于载放部42a，也可以在临时压接头41所位于的一侧的侧边部设置从吸附有机el面板p的吸引孔向侧边附近延伸的吸附槽。具体而言，如图5所示，通过与载放部42a为不同部件的吸附块42f来构成载放部42a的侧边部。该吸附块42f是在x方向上较长的部件，以上表面与载放部42a的载放面42c成为相同高度的方式固定于载放部42a。在吸附块42f的上表面，沿x方向排列有吸附有机el面板p的多个吸引孔42g。另外，在吸附块42f的上表面设置有从各吸附孔42g朝向吸附块42f的端部(临时压接头41所位于的一侧的端部)延伸的吸附槽42h。吸附槽42h的前端延伸至接近吸附块42f的端部的位置。吸附槽42h的前端与吸附块42f的端部之间的距离优选为1～3mm。吸附块42f的端部下侧成为从端部侧朝向载放部42a侧倾斜下降的倾斜部42i。通过使端部下侧成为倾斜部42i，由此能够使与支承单元43之间的干涉难以产生。

工作台驱动部42b是将使载放部42a在水平方向的一个方向即x轴方向上移动的x轴方向驱动部、在与x轴方向正交的水平方向即y轴方向上移动的y轴方向驱动部、在与水平方向正交的z轴方向上移动的z轴方向驱动部、以及在水平面内旋转移动的θ驱动部从下侧起依次层叠而构成的驱动部。另外，为了实现x轴方向以及y轴方向的定位精度的提高，工作台驱动部42b在x轴方向驱动部以及y轴方向驱动部中附带设置有线性编码器。

支承单元43设置于将电子零件w临时压接于有机el面板p的临时压接位置。而且，支承单元43具有从下侧支承有机el面板p的形成有电极列er(图6)的边缘部且在x轴方向上较长的支承工具43a、和支承该支承工具43a并形成为大致长方体形状的支承台43b。支承工具43a由不锈钢构成，支承有机el面板p的边缘部的上端面(支承面)平坦地形成。另外，在该实施方式中，将支承单元43固定地配置于临时压接位置，但也可以根据需要设置为能够在x轴方向、或者x轴方向以及y轴方向上移动。在该情况下，可以将支承台43b搭载于x轴移动装置或者xy轴移动装置。

接着，使用图4以及图6对位置识别装置44进行说明。图6是表示由位置识别装置44进行位置识别的有机el面板p和电子零件w的概略构成的俯视图。图中，以x轴方向为左右方向进行说明。有机el面板p具有形成于其边缘部的电极列er和分别设置于电极列er的左右两侧的一对对准标记pm。电子零件w具有以与电极列er对应的方式排列的端子列tr和分别设置于端子列tr的左右两侧的一对对准标记wm。位置识别装置44识别有机el面板p的一对对准标记pm与电子零件w的对准标记wm之间的相对位置关系。

如图4所示，这样的位置识别装置44具备第一摄像装置44a和第二摄像装置44b、对由第一以及第二摄像装置44a、44b拍摄的图像进行处理的图像处理部44c、以及光照射部44d。第一以及第二摄像装置44a、44b为，向上且相互独立地经由x轴驱动部44e安装在支承单元43的支承台43b上、且是支承工具43a的端部附近。第一摄像装置44a从下侧将设置于有机el面板p的边缘部的一对对准标记pm中的左侧的对准标记pm和设置于电子零件w的一对对准标记wm中的左侧的对准标记wm同时取入到摄像区域44a1(图6中由虚线表示)内而进行拍摄。第二摄像装置44b从下侧将有机el面板p的右侧的对准标记pm和电子零件w的右侧的对准标记wm同时取入到摄像区域44b1(图6中由虚线表示)内而进行拍摄。

第一以及第二摄像装置43a、43b分别以静态图像拍摄对准标记pm、wm，具备ccd(chargecoupleddevice)摄像机等摄像机44f和具备远心透镜等光学单元的镜筒部44g。另外，x轴驱动部44e使第一以及第二摄像装置44a、44b能够以彼此的间隔扩大或缩小的方式同步移动，并能够根据左右的对准标记pm、wm的间隔来变更第一以及第二摄像装置44a、44b的配置间隔。

图像处理部44c接收摄像机44f的摄像信号，从取入到摄像区域44a1、44b1内而得到的摄像图像中识别有机el面板p的对准标记pm和电子零件w的对准标记wm的图像，并对与各对准标记pm、wm的位置相关的数据(以下，称为“位置数据”。)进行检测。图像处理部44c通过公知的图案匹配处理，将能够与在拍摄图像中预先设定的有机el面板p的对准标记pm的基准图案之间得到阈值以上的匹配率的图像识别为有机el面板p的对准标记pm。另外，将能够与电子零件w的对准标记wm的基准图案之间得到阈值以上的匹配率的图像识别为电子零件w的对准标记wm。然后，基于摄像机坐标系求出所识别出的对准标记pm、wm的位置数据。由此，能够识别有机el面板p与电子零件w之间的位置关系。所求出的位置数据被发送到控制装置110。

光照射部44d以能够朝向正下方照射光的方式，配置在比载放于工作台42的有机el面板p靠上方的位置。在本实施方式中，光照射部44d以与有机el面板p的一对对准标记pm的配置间隔相同的间隔设置有一对。光照射部44d使用未图示的支承工具与临时压接头41一体地设置，但不限于此，也可以经由支承工具支承于安装装置1的框架、架台。总之，只要设置为在通过第一及第二摄像装置44a、44b拍摄有机el面板p的对准标记pm时，能够从与第一及第二摄像装置44a、44b相反的一侧对有机el面板p的对准标记pm照射光即可。另外，光照射部44d也可以配置一个长条状的光照射部，其数量并不限定。

(正式压接装置50)

如图7所示，正式压接装置50具备：工作台51，用于对经由各向异性导电带f临时压接有电子零件w的有机el面板p进行保持及定位；正式压接头52，用于将电子零件w相对于有机el面板p进行正式压接；支承部53，在该正式压接头52的下侧与正式压接头52对置地配置，在正式压接时，从下方支承有机el面板p中的电子零件w所临时压接的边缘部；以及位置识别单元54，用于识别有机el面板p的位置。

工作台51具有载放有机el面板p的载放部51a和使载放部51a在x、y、z、θ方向上移动的工作台驱动部51b。载放部51a是在俯视时呈矩形状的部件，在载放有机el面板p的载放面(上表面)51c上形成有多个用于吸附保持有机el面板p的吸附孔51d。与临时压接装置40的工作台42的吸附孔42d同样，吸附孔51d优选将孔径设定得较小，以免残留有机el面板p的吸附痕迹。与临时压接装置40的工作台驱动部42c同样，工作台驱动部51b是将x轴方向驱动部、y轴方向驱动部、z轴方向驱动部及θ驱动部从下侧起依次层叠而构成的驱动部。

正式压接头52具有：加压工具52a，对于临时压接于有机el面板p的电子零件w从其上表面侧进行按压；工具驱动部52b，使加压工具52a在z轴方向上移动；以及加热器52c，内置于加压工具52a，对加压工具52a进行加热。支承部53具有：支承工具53a，设置在正式压接头52的加压工具52a的正下方位置，形成为与加压工具52a同等长度；以及支承部件53b，对支承工具53a进行支承。支承工具53a的上表面形成为对载放在载放部51a上的有机el面板p的临时压接有电子零件w的边缘部的下表面进行支承的平坦面。

位置识别单元54具有第一摄像机54a、第二摄像机54b、图像处理部(未图示)。第一和第二摄像机54a、54b隔开规定的间隔而朝下安装在工作台51使有机el面板p移动的范围内的上方，拍摄设置在有机el面板p的临时压接有电子零件w的边缘部的两端部附近的对准标记。所述的第一及第二摄像机54a、54b的间隔(规定的间隔)是该对准标记彼此的间隔。另外，该对准标记是与在临时压接装置40中用于相对位置数据的识别的对准标记pm不同的对准标记。未图示的图像处理部基于由第一及第二摄像机54a、54b拍摄的有机el面板p的对准标记的拍摄图像，通过公知的图案匹配处理来识别对准标记，并检测对准标记的位置。

(第一交接装置60)

第一交接装置60具备：承接部61，从下侧吸附保持从载带t冲裁出的电子零件w；和x、y、z、θ驱动部62，用于使承接部61向冲裁装置10a、10b的模具装置12正下方的位置和位置固定于接收位置a的间歇旋转输送装置20的保持头24正下方的位置移动。

(第二交接装置70)

第二交接装置70具备：承接部71，从下侧吸附保持电子零件w；和x、y、z、θ驱动部72，用于使承接部71向位置固定于交接位置d的间歇旋转输送装置20的保持头24正下方的位置和临时压接装置40的临时压接头41正下方的位置移动。

(第一输送部80)

第一输送部80具备：保持体81，从上侧吸附保持从未图示的供给部供给的有机el面板p；和xz驱动部82，用于使该保持体81向未图示的供给部对有机el面板p的供给位置和有机el面板p相对于临时压接装置40的工作台42的搬入位置移动。

如图8所示，保持体81具有：电极面吸附块81a，吸附保持有机el面板p中的形成有安装电子零件w的电极列er的边缘部；和显示区域吸附部81b，与该电极面吸附块81a邻接地配置，吸附保持有机el面板p中的由电极面吸附块81a吸附的部分以外的部分。电极面吸附块81a形成为能够吸附保持有机el面板p的形成有电极列er的边缘部整个区域的长度，是在沿着该边缘部的方向上较长的长方体形状的部件。该电极面吸附块81a的吸附面81c形成为平坦，并设置有多个吸附孔81d。而且，与临时压接装置40的载放部42a同样，该吸附孔81d的孔径被设定为在有机el面板p的边缘部不会产生变形的程度的大小，能够使有机el面板p的形成有电极列er的边缘部平坦而进行吸附保持。显示区域吸附部81b由吸附面为平坦的多孔质体、海绵形成，具有多个吸附孔。电极面吸附块81a和显示区域吸附部81b的吸附面被调整为位于同一平面上。

另外，电极面吸附块81a不是吸附保持电极列er整体，实际上，吸附保持电极列er中除了经由各向异性导电带f连接有电子零件w的端子的部分以外的显示区域侧的部分。即，如图8中双点划线所示，有机el面板p的电极列er中的电子零件w的端子所连接的部分，以从保持体81伸出的状态被保持。

在图8中表示有一个显示区域吸附部81b，但也可以排列配置有多个显示区域吸附部81b。如图9所示，显示区域吸附部81b在与电极面吸附块81a的长度方向(电极面吸附块81a所保持的有机el面板p的边缘部方向)交叉的方向(本实施方式中为正交的方向)上排列配置有两个。两个显示区域吸附部81b分别以能够自由调整与电极面吸附块81a之间的间隔的方式支承于保持体81的主体部81e。这些显示区域吸附部81b具备铝等金属制的基座部81b1和覆盖该基座部81b1中的保持有机el面板p的面(以下，称为“下表面”。)的平坦的多孔质片81b2。在基底部81b1上，在其下表面上形成有与真空吸引孔连通的大致格子状的吸引槽，能够使真空吸引力作用于设置于该下表面的多孔质片81b2的整个区域，能够在多孔质片81b2的整个区域以大致均匀的吸引力将有机el面板p保持为平坦。作为多孔质片81b2，例如能够使用将树脂的多孔质成型体加工成膜状而得到的片。通过如此地构成，即使保持体81是具有挠性的较薄的膜状的有机el面板p，也能够平坦且不产生吸附痕迹地进行吸附保持。

(第二输送部90)

第二输送部90具备：保持体91，从上侧吸附保持通过临时压接装置40临时压接有电子零件w的有机el面板p；和xz驱动部92，用于使该保持体91向从临时压接装置40的工作台42搬出有机el面板p的搬出位置以及相对于正式压接装置50的工作台51搬入有机el面板p的搬入位置移动。保持体91具备吸附保持有机el面板p的上表面的大致整个区域且由吸附面平坦的多孔质体等形成的显示区域吸附部。该显示区域吸附部与保持体81的显示区域吸附部81b同样地构成。

(第三输送部100)

第三输送部100具备：保持体101，从上侧吸附保持通过正式压接装置50正式压接有电子零件w的有机el面板p、即显示用部件；以及xz驱动部102，用于使该保持体101向从正式压接装置50的工作台51搬出有机el面板p的搬出位置和向未图示的搬出装置交接的交接位置移动。

(控制装置110)

控制装置110具备存储部111。在该存储部111中例如存储有临时压接装置40以及正式压接装置50中的载荷、加热温度、加压时间、与图像处理部44c有关的对准标记pm、wm的基准图案和该基准图案的位置信息、以及用于控制各部的各种信息。另外，在存储部111中存储有用于使有机el面板p的边缘部从工作台42的载放部42a伸出规定量的伸出量g。具体而言，在3mm以上15mm以下的范围内、更优选在3mm以上8mm以下的范围内设定伸出量g。在此，设定为伸出量g＝6mm。

[安装装置的动作]

接着，对实施方式的安装装置1的动作进行说明。首先，从第一冲裁装置10a的供给卷轴11供给载带t，通过模具装置12从载带t冲裁出电子零件w。所冲裁出的电子零件w被冲头12c吸附保持。冲头12c所保持的电子零件w被交接至第一交接装置60的承接部61，通过第一交接装置60移送至间歇旋转搬运装置20的接收位置a。被移送到接收位置a的电子元件w被交接到位置固定于接收位置a的间歇旋转输送装置20的保持头24。另外，第一交接装置60在将电子零件w向接收位置a移送的过程中，通过使电子零件w的朝向旋转90°，由此使形成有端子列tr的边缘部与沿着位置固定于接收位置a的保持头24的外侧侧面的方向(y方向)对准。

保持头24所保持的电子零件w，通过分度工作台22的间歇旋转而依次向矫正/清扫位置b、粘贴位置c、交接位置d移送。在该输送过程中，在矫正/清扫位置b，电子零件w通过未图示的定位机构的抵接而被相对于保持头24定位，并且通过未图示的旋转刷等清扫机构对附着于端子部的尘埃进行清扫。另外，在粘贴位置c，在电子零件w的端子部，通过各向异性导电带粘贴装置30粘贴各向异性导电带f。当在矫正/清扫位置b进行定位以及清扫、并在粘贴位置c粘贴了各向异性导电带f的电子零件w被位置固定于交接位置d时，电子零件w在交接位置d被交接到第二交接装置70的承接部71。交接到接受部71的电子零件w被移送到临时压接装置40的临时压接头41正下方的位置，并被交接到临时压接头41。

另一方面，与所述的动作并行，通过第一输送部80的保持体81从未图示的供给部取出有机el面板p，并供给载放于临时压接装置40的工作台42。首先，第一输送部80的保持体81向未图示的供给部移动，使保持体81的保持面、即电极面吸附块81a的吸附面81c和显示区域吸附部81b的吸附面与在供给部中准备的有机el面板p的上表面抵接。此时，在通过保持体81较轻地按压有机el面板p的状态下，使电极面吸附块81a和显示区域吸附部81b的吸附力起作用。由此，即使在有机el面板p产生翘曲、挠曲的情况下，也能够使有机el面板p以平坦的状态保持于保持体81。

另外，在吸附保持供给部的有机el面板p时，保持体81被位置固定为，使有机el面板p的形成有电极列er一侧的端部从电极面吸附块81a的外端部(与显示区域吸附部81b相反侧的边缘部)伸出预先设定的长度h。例如，该长度h是在临时压接时电子零件w与有机el面板p重合的宽度量的长度。

即，在存储部111中存储有长度h。控制装置110在使供给部的有机el面板p保持于保持体81时，参照存储于存储部111的长度h，控制xz驱动部82，以使有机el面板p的电极侧的端部从保持体81伸出长度h而保持。具体而言，在供给部中，有机el面板p每次被准备到预先设定的固定位置，因此以该固定位置为基准，控制xz驱动部82而使保持体81移动，以便成为有机el面板p的形成有电极列er一侧的端部伸出长度h的量的位置关系。另外，也可以在保持体81上设置用于检测有机el面板p的端部的光电传感器等检测器，根据使用该检测器检测出的有机el面板p的端部位置，使保持体81移动，以使伸出量成为预先设定的长度h。

保持体81所保持的有机el面板p被搬送到临时压接装置40的工作台42上。此时，临时压接装置40的工作台42位置固定于从保持体81接受有机el面板p的供给的供给位置(图1中用双点划线表示的位置)。被搬送到工作台42上的有机el面板p被载放在工作台42上。控制装置110控制保持体81和工作台42的载放部42a之间的相对位置、即xz驱动部82和工作台驱动部42b的驱动，以使有机el面板p的边缘部从载放部42a的伸出量g成为存储部111中存储的伸出量g＝6mm。

如上所述，伸出量g被设定在3mm以上15mm以下、更优选在3mm以上8mm以下的范围内。通过将伸出量g设定于这样的范围，即使是具有50μm以上500μm以下的厚度、2.6gpa以上4.0gpa以下的弯曲弹性模量、且具有挠性的有机el面板p，也能够防止在从载放部42a伸出的边缘部产生下垂。另外，发明人等进行实验的结果，判明如下情况：伸出量g与边缘部的下垂量之间的关系根据有机el面板p的品种而不同，但如果是具有50μm以上500μm以下的厚度、2.6gpa以上4.0gpa以下的弯曲弹性模量的有机el面板p，则只要将伸出量g设定为3mm以上15mm以下，就能够将边缘部的下垂抑制在能够维持对准标记pm的识别精度的范围内。

另外，即使在所述的物理特性的范围内，为了不受品种影响地确保稳定的识别精度，优选将伸出量g设定得较短，更优选设定在3mm以上8mm以下的范围。在此，可知有机el面板p的伸出量g越短则越可靠地确保识别精度，但当伸出量变短时，需要缩短载放部42a与支承工具43a之间的接近距离。当载放部42a与支承工具43a之间的接近距离变短时，在两者之间产生干涉、即碰撞的可能性，因此下限值设定为3mm。伸出量g的下限值(3mm)是考虑有机el面板p与电子零件w之间的连接所使用的各向异性导电带f的宽度尺寸而设定的值。

有机el面板p以其端部伸出长度h的方式保持于保持体81。另一方面，由于载放部42a被位置固定于供给位置而其位置已知，因此能够容易地计算出能够得到伸出量g的保持体81的移动位置。

另外，在将有机el面板p载放于载放部42a时，通过保持体81的下降而有机el面板p被按压于载放面42c而平坦化。更详细而言，由于有机el面板p的显示区域被保持体81的显示区域吸附部81b吸附保持，因此以平坦的状态被保持。在该状态下，有机el面板p被按压于工作台42的载放面42c，因此有机el面板p被夹持在保持体81的显示区域吸附部81b的吸附面与工作台42的载放面42c之间。因此，有机el面板p维持被平坦化的状态不变地被交接到工作台42上，并被吸附保持于工作台42。

此时，也可以在有机el面板p被按压于工作台42的载放面42c的状态下，在对工作台42的载放部42a的吸附孔42d作用吸引力之后，解除保持体81的电极面吸附块81a和显示区域吸附部81b的吸引力，但也可以在对工作台42作用吸引力之前解除保持体81的吸引力。由此，能够减轻夹持在工作台42与保持体81之间的有机el面板p的面方向上的约束，因此即使假设在以残留有翘曲、挠曲的状态保持于保持体81的情况下，也期待通过夹持来矫正该翘曲、挠曲而使其平坦化。因此，将保持体81按压于工作台42的力，优选设定为不会妨碍所述矫正的程度的大小。

当在工作台42上保持有机el面板p时，保持体81向未图示的供给部移动。另一方面，工作台42在临时压接头41进行临时压接之前移动到标记识别位置。临时压接头41所保持的电子零件w也被位置固定于标记识别位置。在位置固定于标记识别位置的状态下，如图6所示，有机el面板p和电子零件w以有机el面板p的形成有电极列er的边缘部与电子零件w的形成有端子列tr的边缘部隔开微小间隔的状态对置。另外，在该状态下，光照射部44d位于有机el面板p的对准标记pm的正上方。在这样的状态下，从光照射部44d照射光，通过摄像装置44a、44b取入包含有机el面板p的对准标记pm和电子零件w的对准标记wm的图像。

所取入的图像被送到图像处理部44c，求出各对准标记pm、wm的位置数据，进行有机el面板p和电子零件w的位置识别。所求出的位置数据被发送到控制装置110。如此取入的有机el面板p的对准标记pm作为轮廓图像被取入，因此即使有机el面板p产生翘曲、起伏，另外，即使经由有机el面板p的贴合了pi膜和pet膜的树脂基板来拍摄设置在上表面的对准标记pm，也能够将对准标记pm作为鲜明的图像取入。

控制装置110基于从图像处理部44c发送来的有机el面板p的左右的对准标记pm的位置数据和电子零件w的左右的对准标记wm的位置数据，求出有机el面板p与电子零件w之间的x、y、θ方向的相对位置偏移。然后，控制装置110使有机el面板p和电子零件w向临时压接位置移动。此时，根据所求出的相对位置偏移，控制工具驱动部41b和工作台驱动部42c以便消除该位置偏移，由此执行有机el面板p与电子零件w的对位。

具体而言，控制装置110根据有机el面板p的左右的对准标记pm的位置数据，求出连结这2个点的线段的斜率θp和该线段的中点的坐标(xp，yp)。另外，控制装置110根据电子零件w的左右的对准标记wm的位置数据，求出连结这2个点的线段的斜率θw和该线段的中点的坐标(xw，yw)。在此处求出的斜率与中点的坐标之差作为两者的相对位置偏移而求出。根据所求出的相对位置偏移，如下那样修正位置偏移。

首先，使加压工具41a在θ方向上旋转，以消除连结有机el面板p的对准标记pm之间的线段的倾斜θp与连结电子零件w的对准标记wm之间的线段的倾斜θw之差，即使θp-θw＝0。接着，驱动工作台42(工作台驱动部42b)，以使连结有机el面板p的对准标记pm之间的线段的中点与连结电子零件w的对准标记wm之间的线段的中点一致。此时，在加压工具41a的θ方向的旋转中心位于相对于连结电子零件w的对准标记wm之间的线段的中点位置偏移的位置的情况下，通过所述的加压工具41a的旋转，线段的中点位置在水平方向上位置偏移加压工具41a的旋转量，因此有机el面板p的移动位置考虑该位置偏移来执行。

被位置固定于临时压接位置的有机el面板p的边缘部被支承于支承工具43a的上表面。另外，电子零件w被位置固定为，端子列tr隔开微小的间隔与有机el面板p的电极列er的正上方对置。在该状态下，通过工具驱动部41b的驱动使加压工具41a下降。由此，按照预先设定的加热温度、加压力、加压时间，电子零件w的端子部经由各向异性导电带f被加热加压到有机el面板p的电极面，电子零件w被临时压接到有机el面板p上。

当经过预先设定的加压时间时，解除加压工具41a对电子零件w的吸附，并且加压工具41a上升。加压工具41a移动到被从第二交接装置70交接电子零件w的交接位置。另外，载放临时压接有电子零件w的有机el面板p的工作台42向将有机el面板p交接到第二输送部90的搬出位置移动。在该搬出位置，有机el面板p由第二搬送部90的保持体91以与第一搬送部80的保持体81的保持相同的方式吸附保持其上表面，并被搬送到正式压接装置50的工作台51。

通过第二输送部90供给到正式压接装置50的有机el面板p，被交接到位置固定于搬入位置的工作台51上，并被吸附保持在工作台51上。该交接时的动作与从第一输送部80向工作台42交接有机el面板p同样地进行。此时，临时压接有电子零件w的有机el面板p的边缘部以从工作台51伸出的状态被保持。

当在工作台51上保持有机el面板p时，工作台51为了使有机el面板p的边缘部支承在支承工具53a的上表面上而移动。另外，在该移动的途中，通过位置识别单元54进行有机el面板p的对准标记(与对准标记pm不同的标记)的位置识别。基于该位置识别结果，工作台51移动为，有机el面板p的电极面以正确的位置关系位于支承工具53a的上表面。当在支承工具53a的上表面支承有机el面板p的边缘部时，通过工具驱动部52b的驱动使加压工具52a下降，按照预先设定的加热温度、加压力、加压时间，对临时压接于有机el面板p的电子零件w进行正式压接。

当经过预先设定的加压时间时，加压工具52a上升。另外，载放正式压接有电子零件w的有机el面板p、即显示用部件的工作台51，向将有机el面板p交接到第三输送部100的搬出位置移动。在该搬出位置，有机el面板p由第三搬送部100的保持体101吸附保持其上表面，并被搬送到未图示的搬出装置。

重复执行包括所述的电子零件w向有机el面板p的临时压接工序以及正式压接工序的安装动作，直到不存在应安装电子零件w的有机el面板p为止。另外，在实施方式的安装装置1中，对于临时压接工序来说位置精度的提高较重要，与此相对，对于正式压接工序来说各向异性导电带f的压接强度、可靠性的提高较重要，另外工序时间也不同。因此，通过应用临时压接装置40和正式压接装置50，并实施临时压接工序和正式压接工序，由此能够提高电子零件w的安装效率。但是，实施方式的安装装置1并不限定于这样的构成。也可以在正式压接装置50中实施从定位工序到正式压接工序。

[安装装置的作用效果]

在所述的实施方式的安装装置1中，将具有50μm以上500μm以下的厚度、2.6gpa以上4.0gpa以下的弯曲弹性模量、且具有挠性的有机el面板p载放在工作台42(载放部42a)上，以使其安装电子零件w的边缘部从工作台42的伸出量为3mm以上15mm以下，对于设置在该有机el面板p的边缘部的对准标记pm，通过光照射部44d从与摄像装置44a、44b相反侧即上方照射光。然后，在该状态下通过摄像装置44a、44b对设置于有机el面板p的边缘部的对准标记pm和临时压接头41所保持的电子零件w的对准标记wm进行拍摄。另外，通过图像处理部44c对该拍摄图像进行图像处理，对方有机el面板p与电子零件w之间的位置关系进行识别，通过控制装置110进行有机el面板p与电子零件w的对位，在经由各向异性导电带f将电子零件w临时压接于有机el面板p之后进行正式压接。

通过由此进行，在对有机el面板p的对准标记pm和电子零件w的对准标记wm进行检测时，能够防止在有机el面板p的形成有电极的边缘部且是从工作台42伸出的边缘部产生下垂。另外，即使是由pi、pet等树脂形成而在边缘部有可能产生翘曲、起伏、或者由透射率比玻璃低的树脂基板构成的有机el面板p，也能够通过透射光将对准标记pm拍摄为轮廓图像，由此能够提高对准标记pm与背景之间的明暗差，因此能够鲜明地拍摄对准标记pm。因此，能够降低由有机el面板p的边缘部的下垂引起的对准标记pm的识别误差以及由取入图像欠缺鲜明度而引起的对准标记pm的识别误差。其结果，能够提高电子零件w相对于有机el面板p的安装精度。因此，即使在对具有挠性的有机el面板p安装具有挠性的电子零件w的情况下，也能够提高其安装精度和安装品质。

即，在以往的液晶显示器的制造中使用的显示用面板(以下，称为液晶显示用面板。)是将厚度为0.5～0.7mm的玻璃基板彼此贴合而成的，因此刚性比较高。因此，即便使液晶显示用面板的边缘部从工作台伸出数十mm程度而保持，其边缘部也几乎不会因自重而下垂。

与此相对，在有机el面板p中，如上所述，由于使用将形成有有机el元件的部件、即厚度为0.01～0.03mm(10～30μm)程度的pi薄膜ka与支承材料即厚度为0.1～0.2mm程度的pet薄膜kb粘接而构成的较薄的树脂基板，因此刚性极低。因此，在有机el面板p中，在使其边缘部从工作台伸出数十mm程度而保持的情况下，所伸出的边缘部容易由于自重而下垂。当有机el面板p的边缘部下垂时，形成于边缘部的对准标记pm的位置在水平方向上偏移相应的量。因此，在使用摄像机进行的有机el面板p的对准标记pm的位置识别中，其识别位置产生偏差。

本申请发明人等通过实验进行确认时，在与同等尺寸的液晶显示用面板的情况相同地，使有机el面板p的边缘部从工作台伸出20mm而保持的情况下，确认到在边缘部产生下垂，且由于该下垂而对准标记pm的位置在水平方向(朝向工作台侧)上产生大约4μm的位置偏移。而且，在有机el面板p的边缘部下垂的情况下，对准标记相对于水平状态倾斜。在从正下方拍摄倾斜的对准标记pm的情况下，所拍摄的对准标记的倾斜方向上的长度，与在水平状态下拍摄的情况相比被拍摄得短。即，所拍摄的对准标记pm的形状变形与倾斜相应的量。其结果，与预先存储的基准标记之间产生形状差异，由此对准标记pm的识别位置也会产生误差。

本申请发明人等进行在水平保持的对准标记pm和相对于水平倾斜5°的对准标记pm中对识别位置的误差进行比较的实验时，确认到倾斜5°的对准标记平均误差大1μm程度。另外，将对准标记倾斜5°进行实验的原因在于，在对多个有机el面板p测定在使边缘部从工作台伸出20mm的情况下产生的下垂时，结果均确认到5°以上的下垂。

对于这样的方面，在实施方式的安装装置1中，如上所述，通过将具有50μm以上500μm以下的厚度、2.6gpa以上4.0gpa以下的弯曲弹性模量的有机el面板p在工作台42(载放部42a)上载放为，使其安装电子零件w的边缘部从工作台42的伸出量为3mm以上15mm以下，由此能够防止有机el面板p从工作台42伸出的边缘部产生下垂。由此，能够抑制基于有机el面板p从工作台42的伸出部分的下垂的、对准标记pm的识别误差的产生。即，如果有机el面板p的伸出部分的弯曲弹性模量为2.6gpa以上、厚度为50μm以上、且伸出量为15mm以下，则能够防止伸出部分的下垂。另外，当伸出部分的弯曲弹性模量超过4.0gpa、或厚度超过500μm时，有机el面板p的挠性等特性、作为薄型显示面板的基本特性有可能降低。

并且，在对有机el面板p的对准标记pm进行拍摄时，在从摄像机的某个下侧进行照明的情况下，会产生无法鲜明地拍摄对准标记pm或者完全无法拍摄这样的不良情况。从下侧进行照明时的照射条件为(照射光量、照射角度等)，使用成为基准的有机el面板(例如，边缘部平坦的有机el面板，以下称为“基准面板”。)设定为能够良好地拍摄基准面板的对准标记的条件。即使在应用了这样的照射条件的情况下，由于实际拍摄的有机el面板p的边缘部存在下垂、翘曲、相对于基准面板的边缘部倾斜等状态不同，因此有机el面板p的边缘部的照明的反射情况也与基准面板不同。其结果，产生无法鲜明地拍摄对准标记pm或者完全无法拍摄这样的不良情况。本申请发明人等的实验结果，确认了在无法鲜明地拍摄对准标记pm的情况下，识别位置产生最大1μm程度的偏移。

对于这样的方面，在实施方式的安装装置1中，除了防止在有机el面板p的从工作台42伸出的边缘部产生下垂以外，还通过光照射部44d从与摄像装置44a、44b相反侧即上方向对准标记pm照射光，并通过透射光来将对准标记pm拍摄为轮廓图像。由此，即使是由pi、pet等树脂形成且在边缘部有可能产生翘曲、起伏，或者是由透射率比玻璃低的树脂基板构成的有机el面板p，也能够提高对准标记pm与背景之间的明暗差，因此能够鲜明地拍摄对准标记pm。由此，能够降低对准标记pm的识别误差，因此能够提高电子零件w相对于有机el面板p的安装精度。

另外，本申请发明人等为了抑制有机el面板p的边缘部的下垂、翘曲，而将支承有机el面板的边缘部的部分(支承面)被加工成平坦且设置有吸附孔的支承件安装于工作台，以在支承有机el面板的边缘部不产生下垂的方式进行保持，在该状态下尝试安装电子零件。支承件由一般的olb装置的支承工具所使用的不锈钢制作。另外，在支承件的与对准标记的位置对应的部分设置有直径3mm的上下贯通的拍摄用的观察孔。

但是，即使使用这样的支承件，在有机el面板的一部分品种中也无法充分地满足±3μm的安装精度。即，在进行了使用多个品种的有机el面板来确认安装精度的实验时，判明了存在能够在±3μm以内得到安装精度的品种和安装精度超过±3μm的品种。

即，有机el面板p由较薄且柔软的树脂基板构成，因此当以较大的吸附力进行吸附时，会产生吸附痕迹。有机el面板p的边缘部虽然不用于图像的显示，但也形成有与电子零件w的端子连接的微细电极(也称为“引线”。)。因此，当在该电极的部分产生吸附痕迹时，电极会产生弯曲等变形。在变形后的电极的内部会残留应力，因此成为使电极的耐久性降低的主要原因，不优选。由此，吸附孔的大小和作用于该吸附孔的负压的大小，需要在不会产生有机el面板的吸附痕迹的范围内设定。在所述的实验中，在支承件上以2mm间隔形成一列直径为0.5mm的吸附孔，使-40kpa的负压作用于该吸附孔。但是，在如此设定了考虑到吸附痕迹的吸附力的情况下，判明了根据有机el面板的品种不同，有时无法使边缘部对支承件的支承面进行仿形。

即，根据有机el面板的品种不同，有时在其边缘部产生翘曲、起伏，在产生这样的翘曲、起伏的有机el面板中，也存在通过吸附而翘曲、起伏被矫正并对支承件的支承面进行仿形的面板，以及翘曲、起伏不被矫正的面板。在这样的翘曲、起伏不被矫正的有机el面板中，确认到安装精度超过±3μm。而且，判明了在这样的翘曲、起伏不被矫正的有机el面板中，从与摄像机相同侧照射的照明的反射情况与基准面板不同，无法鲜明地拍摄对准标记，结果，对准标记的识别精度降低。

另外，进一步判明了，通过设置支承件并在该支承件上设置摄像用的观察孔，由此产生新的问题。即，确认到，通过设置观察孔，在临时压接时使压接头经由电子零件与有机el面板抵接时，由于基于该抵接的冲击，在有机el面板上产生观察孔的压痕。与所述的吸附痕迹同样，这样的压痕也使有机el面板的电极产生变形，因此使安装品质降低，必须避免。另外，在支承件的吸附孔的部分，由于直径小至0.5mm，因此未发现压痕的产生。

因此，尝试了用玻璃形成支承件，不设置观察孔，透过支承件来识别对准标记。其结果，判明了虽然能够消除压痕的产生，但耐久性存在问题。具体而言，在实施了安装的反复试验时，从安装次数超过10000次附近起，在支承件上确认到缺损的发生。因此，在使用这样的玻璃制的支承件的情况下，需要以安装次数10000次左右为基准来更换支承件。在这样的安装中，通常，1个电子零件的安装所需的时间(生产节拍时间)为3秒～5秒，因此在连续运转的情况下，按照计算在8.3小时～13.9小时达到10000次。因此，需要每隔8.3小时～13.9小时、即按照一天2～3次的频度来更换支承件。

在所述的支承件与压接头之间，需要将电子零件的电极部分相对于有机el面板的电极部分均匀地按压，因此需要精密的平行度。各个支承件虽然被加工成相同形状，但也具有个体差异。因此，每当更换支承件时，都需要进行其与压接工具之间的平行度的调整。因此，在该调整期间必须停止olb装置的运转，因此无法进行生产。在一天中发生多次这样的停止的情况下，导致生产率的显著降低，不现实。另外，还可以考虑在由不锈钢形成的支承件的观察孔的上部嵌入玻璃制的盖，使支承件的支承面在表观上平坦。但是，只要盖为玻璃制，就会具有耐久性的问题，而且当在盖的上表面与支承面之间产生阶差时，还是会担心产生压痕，因此不现实。

实施方式的安装装置1能够抑制在使用所述那样的支承件来防止有机el面板p的边缘部的下垂并且进行对准标记的识别的情况下的问题，即、由支承件的观察孔导致的压痕、由支承件的支承面未被矫正的翘曲、起伏导致的对准标记的识别精度降低、基于玻璃制支承件的耐久性的安装效率降低等。即，不仅使有机el面板p的边缘部从工作台42伸出并且防止在所伸出的边缘部产生下垂，而且通过透射光将对准标记pm拍摄为轮廓图像，所以能够避免由所述那样的支承件引起的问题，而且能够提高电子零件w相对于有机el面板p的安装精度、安装品质。

另外，在实施方式的安装装置1中，例如由不锈钢形成在临时压接时使用的支承工具43a，并将支承有机el面板p的边缘部的支承面形成为平坦。因此，能够防止在临时压接时在有机el面板p的边缘部产生压痕。而且，由于是不锈钢，因此对于临时压接头41的按压也难以产生损伤，长期的耐久性优异，能够维持良好的生产率。

并且，控制装置110基于存储在存储部111中的、有机el面板p的边缘部从工作台42的载放部42a的伸出量g，控制工作台驱动部42b和xz驱动部82的驱动，使有机el面板p以在3mm以上15mm以下的范围内设定的伸出量g从第一输送部80的保持体81载放于工作台42的载放部42a。由此，能够以设定的伸出量g将有机el面板p可靠地载放在载放部42a上，能够可靠地防止在有机el面板p的边缘部产生下垂，能够进一步提高稳定的对准标记pm的识别精度。其结果，能够稳定地得到电子零件w相对于有机el面板p的安装精度，能够提高电子零件w的安装品质。

另外，本发明并不限定于所述的实施方式。例如，作为显示用面板，以有机el面板为例进行了说明，但不限于此。例如，也可以将具有挠性的电子纸的构成部件用作为显示用面板。总之，只要是具有50μm以上500μm以下的厚度、2.6gpa以上4.0gpa以下的弯曲弹性模量且具有挠性的显示用面板，就能够应用。

另外，通过基于所设定的伸出量g来控制工作台驱动部42b和xz驱动部82，由此将有机el面板p载放在载放部42a上，但不限于此，也可以对有机el面板p的伸出量进行检测，并将工作台驱动部42b和第一输送部80的xz驱动部82控制为，成为所设定的伸出量g。在该情况下，例如在工作台42或者对工作台42交接有机el面板p的交接位置，设置检测保持于保持体81的有机el面板p的端部(形成有电极列er的边)的光电传感器、激光传感器等检测器，基于该检测器的检测结果，进行控制以使边缘部从载放部42a的伸出量成为设定的伸出量g。

也可以代替在存储部111中存储伸出量g，而存储与显示用面板的品种有关的信息(品种信息)。在该情况下，预先通过实验等取得表示显示用面板p的品种信息和与该品种信息对应的伸出量g之间的关系的换算表格，并将该换算表格存储在存储部111中。然后，基于通过未图示的输入机构输入的品种信息，读出与该品种信息对应的伸出量g即可。

另外，作为位置识别装置44的摄像装置，说明了使用将有机el面板p的对准标记pm和电子零件w的对准标记wm同时取入同一视野内而进行摄像的第一及第二摄像装置44a、44b的情况，但位置识别装置44的摄像装置并不限于此。例如，第一及第二摄像装置44a、44b也可以分别拍摄有机el面板p的对准标记pm和电子零件w的对准标记wm。

另外，也可以设置两个摄像装置，通过第一及第二摄像装置44a、44b拍摄电子零件w的对准标记wm，通过另外两个摄像装置拍摄有机el面板p的对准标记pm。另外，此时，也可以将另外两个摄像装置安装为，不从下侧拍摄有机el面板p的对准标记pm、而从上侧拍摄。在该情况下，将光照射部44d配置在比工作台42的载放部42a靠下侧的位置，并从下侧对有机el面板p的对准标记pm照射光即可。如此，当通过透射照明从上侧拍摄有机el面板p的对准标记pm时，直接拍摄设置于有机el面板p的上表面侧的对准标记p。因此，与从下侧经由有机el面板p的树脂制的基材通过透射照明进行拍摄时相比，能够进一步大地取得明暗差，能够实现识别精度的进一步提高。

通过透射照明来拍摄有机el面板p的对准标记pm，但也可以通过透射照明对电子零件w的对准标记wm进行拍摄。在该情况下，能够在临时压接头41的加压工具41a上，与电子零件w的对准标记wm的位置相匹配地设置导光部，将从光照射部44d照射的光经由导光部引导至对准标记wm。当然，也可以分别独立地设置光照射部，或者将光照射部埋入加压工具41a中。

另外，在有机el面板p与电子零件w之间的连接中使用了各向异性导电带f，但不限于此。也可以使用其他连接部件、例如含有导电性粒子的粘接剂等。在使用粘接剂的情况下，能够使用热固化性、光固化性的粘接剂。

第一至第三输送部80、90、100的构成不限于所述的构成，也可以是其他构成。例如，也可以代替使用多孔质片，而使用在发泡聚氨酯橡胶、硅橡胶等软质橡胶、树脂材料上设置了多个吸附用开口的材料。

说明了使用第二输送部90将有机el面板p从临时压接装置40的工作台42输送到正式压接装置50的工作台51的情况，但不限于此。例如，也可以构成为，将正式压接装置50的工作台51移动至接近临时压接装置40的工作台42的位置，使用第一搬运部80对于移动至临时压接装置40的工作台42的接近位置的正式压接装置50的工作台51搬运有机el面板p。即，也可以由第一输送部80来兼作为第二输送部90。

也可以考虑临时压接工序和正式压接工序之间的工序时间差，而在安装装置1中设置多台正式压接装置50。另外，也可以代替设置多台正式压接装置50，而在1台正式压接装置50上设置能够并列载放多张有机el面板p的工作台51，并且设置能够将多个并列地载放的有机el面板p上的电子零件w一并或分别独立地进行正式压接的正式压接头52。在此，在一并地进行正式压接的情况下，将能够覆盖并列地载放的多个有机el面板p的整个区域的长度的加压工具52a装备于正式压接头52。另外，在分别独立地进行正式压接的情况下，将能够覆盖安装于一个有机el面板p的电子零件w的长度的加压工具52a与有机el面板p的载放间隔相匹配地装备于正式压接头52。各加压工具52a优选构成为能够分别独立地设定加压力。

在所述的实施方式中，对将各向异性导电带f粘贴于电子零件w的构成进行了说明，但不限于此。各向异性导电带f也可以粘贴于有机el面板p、即显示用面板。在该情况下，代替在间歇旋转输送装置20的粘贴位置c设置各向异性导电带粘贴装置30，而在有机el面板p的供给部的上游侧设置在有机el面板p上粘贴各向异性导电带f的各向异性导电带粘贴装置即可。例如，也可以应用图10所示那样的安装装置201。图10表示其他实施方式的安装装置201的构成。

[其他实施方式的安装装置]

图10所示的安装装置201具有如下构成：在x方向上排列配置各向异性导电带粘贴装置230、临时压接装置240、正式压接装置250，在临时压接装置240的y方向后方配置冲裁装置210，并且在临时压接装置240与冲裁装置210之间配置输送电子零件w的输送装置260。在各处理装置230、240、250之间配置有机el面板p的输送部271、272、273、274。该安装装置201每次供给四个有机el面板p而进行各处理装置中的处理。冲裁装置210从承载带t冲裁出电子零件w，具有与所述的实施方式中说明的冲裁装置10相同的构成。

各向异性导电带粘贴装置230向有机el面板p上粘贴各向异性导电带f。各向异性导电带粘贴装置230在x方向上排列配置有每两张有机el面板p沿x方向排列保持的两个载放部231、232。这些载放部231、232分别设置为能够沿xyzθ方向移动。另外，与两个载放部231、232对应地配置有各向异性导电带f的粘贴单元233、234。各载放部231、232将载放部231、232上的有机el面板p依次位置固定于分别对应的粘贴单元233、234的粘贴位置。各粘贴单元233、234向位置固定于粘贴位置的有机el面板p上粘贴各向异性导电带f。

临时压接装置240将电子零件w临时压接于粘贴有各向异性导电带f的有机el面板p。临时压接装置240具备：载放部241，将每四张有机el面板p在x方向上排列保持；临时压接头242，将电子零件w临时压接于保持于载放部241的有机el面板p；以及未图示的支承工具，在通过临时压接头242将电子零件w临时压接于有机el面板p时，从下侧支承有机el面板p。载放部241设置为能够沿xyzθ方向移动，将载放部241上的四张有机el面板p依次位置固定于临时压接头242的临时压接位置。临时压接头242在位置固定于临时压接位置的有机el面板p上依次临时压接电子零件w。另外，临时压接装置240当然具备与在所述的实施方式中说明了的临时压接装置40相同的位置识别装置。

在此，通过输送装置260向临时压接头242依次供给由冲裁装置210冲裁出的电子零件w。即，输送装置260具备承接部262，该承接部262能够通过xyzθ驱动部261而在xyzθ方向上移动、并从下侧吸附保持电子零件w，从冲压单元210接收电子零件w，并交接到临时压接头242。

正式压接装置250对临时压接于有机el面板p的电子零件w进行正式压接。正式压接装置250在x方向上并排设置各分别独立地保持一张有机el面板p的四个载放部251、252、253、254。另外，与四个载放部251、252、253、254对应地设置有四个正式压接头255、256、257、258。正式压接头255、256、257、258被设置为能够分别独立地调整加压力，并且设置成能够一并地进行升降移动。各个载放部251、252、253、254能够沿xyzθ方向移动，并能够将有机el面板p相对于对应的正式压接头255、256、257、258进行定位。四个正式压接头255、256、257、258对由四个载放部251、252、253、254进行了位置固定的四个有机el面板p一并进行正式压接。

输送部271、272、273、274在与各处理装置230、240、250之间同时交接四个有机el面板p。即，输送部271、272、273、274在x方向上并排设置有从上侧吸附保持有机el面板p的四个保持部。然后，输送部271从未图示的供给部向各向异性导电带粘贴装置230同时交接四个有机el面板p。输送部272从各向异性导电带粘贴装置230向临时压接装置240同时交接四个有机el面板p。输送部273从临时压接装置240向正式压接装置250同时交接四个有机el面板p。输送部274从正式压接装置250向未图示的搬出部同时搬出四个有机el面板p。本发明也能够应用于这种构成的安装装置201。

【实施例】

接着，对本发明的实施例及其评价结果进行说明。

(实施例1)

使用所述的实施方式的安装装置1，在以下的条件下进行了确认基于teg(testelementgroup)的安装精度的实验。在此，teg是指为了测试用而制作的评价用部件，在此制作了有机el面板p的评价用部件。具体而言，在相当于5英寸(120mm×65mm)的大小且厚度为0.03mm(30μm)的pi膜上，使用光学用的紫外线固化性树脂贴合同样相当于5英寸的大小且厚度为0.20mm(200μm)的pet膜而制作了有机el面板的teg。pet的弯曲弹性模量为3.07gpa，pi的弯曲弹性模量为3.5gpa。根据两者的厚度的比率，推测有机el面板p的弯曲弹性模量为大约3.1gpa。作为电子零件w，使用了宽度为36mm、长度为25mm的cof。以下，将有机el面板p的teg简称为有机el面板p。目标精度是智能手机用显示面板所使用的有机el面板所要求的一般精度、设为±3μm。

<实验条件>

临时压接头的加热器：关闭

生产节拍时间：10秒(其中，临时压接工具41a和载放部42a的移动速度与以节拍5秒进行安装的情况相同。)

重复时间(次数)：2.8小时(1000次)

在实验时，首先，在分别处于待机位置的状态下，将有机el面板p载放于载放部42a，使电子零件w保持于加压工具41a。关于待机位置，对于载放部42a是从第一输送部80接收有机el面板p的供给位置，对于加压工具41a是从第二交接装置70接收电子元件w的位置。从该状态起，在临时压接之前将有机el面板p和电子零件w位置固定于标记识别位置。此时，加压头41a在向θ＝+5°的水平方向旋转后的状态下位置固定。这是为了确认旋转偏差的校正精度。有机el面板p的边缘部的伸出量g设定为4mm。

在该状态下，使用第一以及第二摄像装置44a、44b来识别有机el面板p和电子零件w的对准标记的位置，并基于该识别结果进行有机el面板p与电子零件w的对位。另外，该对位是在不使电子零件w的边缘部与有机el面板p的边缘部重合、而是有机el面板p的边缘部与电子零件w的边缘部隔开微小距离地对置的状态下进行。具体而言，使对准标记pm、wm彼此隔开3mm的间隔而进行对位。从对准标记pm、wm到边缘的距离分别大致为0.6～1.2mm程度，因此边缘部彼此以0.6～1.8mm的间隔配置。

如果对位完成，则使用第一、第二摄像装置44a、44b，从下侧将有机el面板p的对准标记pm和电子零件w的对准标记wm放入同一视野内而同时进行拍摄，识别有机el面板p与电子零件w之间的相对位置偏移。然后，将根据该识别结果求出的相对位置偏移记录为安装精度。另外，使对准标记pm、wm彼此隔开3mm的间隔而进行对位，因此在理想的定位状态下，对准标记pm、wm彼此成为在y轴方向上错开3mm的状态。

其结果，x轴方向上的位置偏移的最大值为0.7μm，最小值为-0.4μm。另外，y轴方向上的位置偏移的最大值为0.5μm，最小值为-0.9μm。均在作为目标精度的±3μm以内。

(实施例2)

在实施例2中，除了将伸出量g设定为15mm以外，以与实施例1相同的条件进行了实验。其结果，x轴方向上的位置偏移的最大值为1.6μm，最小值为-1.1μm。另外，y轴方向上的位置偏移的最大值为0.9μm，最小值为-2.3μm。均在作为目标精度的±3μm以内。

(比较例1)

在比较例1中，除了将伸出量g设定为20mm以外，以与实施例1相同的条件进行了实验。其结果，x轴方向上的位置偏移的最大值(正方向的位置偏移的最大值)为2.7μm，最小值(负方向的位置偏移的最大值)为-2.0μm。另外，y轴方向上的位置偏移的最大值为1.5μm，最小值为-5.8μm。成为x轴方向的位置偏移在作为目标精度的±3μm以内、但y轴方向的位置偏移从作为目标精度的±3μm的范围大幅偏离的结果。

在表1和图11表示所述的实施例1的测定结果。另外，表2及图12表示比较例1的测定结果。表1及表2是在重复时间的期间取得的1000次量的数据中，将第1次至第10次的数据的平均值(1)、之后第101次至第110次的数据的平均值(2)、以后同样按照每100次的10次量的数据的平均值((3)～(10))，分别表示为“相对位置偏移识别结果”。表1中的“与(1)的测定结果之差”是从每100次的数据的平均值((2)～(10))减去平均值(1)而得到的值。图11以及图12表示“与(1)的测定结果之差”的变动。根据表1以及图11与表2以及图12的比较能够明确可知，与比较例1相比，实施例1的安装精度的变动被大幅抑制。因此，可知能够长期地维持具有挠性的电子零件相对于具有挠性的显示用面板的安装精度。

【表1】

实施例1(伸出量g：4mm)

【表2】

比较例1(伸出量g：20mm))

(实施例3、4)

作为实施例3、4，使用所述的实施方式的安装装置1，制作了另外的teg而进行了确认安装精度的实验。作为有机el面板p，假设在显示部粘贴有光学膜的面板，制作了在与显示部对应的部位贴合了pen膜的teg。更具体而言，在实施例1、2中使用的teg上，使用光学用的紫外线固化性树脂贴合114mm×65mm的大小且厚度为0.15mm(125μm)的pen膜贴合，而制作了新的teg。该pen膜相对于在实施例1、2中使用的teg，以与安装电子零件w的边缘部相反侧的端部一致的方式、且以在安装电子零件w的边缘部侧的端部与pen膜的端部之间形成6mm的间隙的方式贴合。pen的弯曲弹性模量为2.2gpa，pi的弯曲弹性模量为3.5gpa，pet的弯曲弹性模量为3.07gpa。根据三者的厚度的比率，推测有机el面板p的弯曲弹性模量为大约2.8gpa。作为电子零件w，与实施例1、2同样地使用宽度为36mm、长度为25mm的cof。

在实施例3中，以与实施例1相同的条件进行了实验。其结果，x轴方向上的位置偏移的最大值为0.9μm，最小值为-0.3μm。另外，y轴方向上的位置偏移的最大值为1.0μm，最小值为-0.7μm。虽然差于实施例1，但是均在作为目标精度的±3μm以内。在实施例3中，由于伸出量g为4mm，在有机el面板p中从工作台21伸出的部分仅为不存在pen膜的边缘部，因此推测会成为与实施例1大致相同的结果。

在实施例4中，除了将伸出量g设定为12mm以外，以与实施例1相同的条件进行了实验。通过将伸出量g设为12mm，有机el面板p中的贴合有pen膜的部分伸出6mm。其结果，x轴方向上的位置偏移的最大值为1.9μm，最小值为-1.5μm。另外，y方向上的位置偏移的最大值为2.6μm，最小值为-1.6μm。均在作为目标精度的±3μm以内。

(比较例2)

在比较例2中，除了将伸出量g设定为20mm以外，以与实施例1相同的条件进行了实验。其结果，x轴方向上的位置偏移的最大值为2.8μm，最小值为-2.3μm。另外，y方向上的位置偏移的最大值为8.2μm，最小值为-0.6μm。成为x轴方向的位置偏移在作为目标精度的±3μm以内、但y轴方向的位置偏移从目标精度的±3μm的范围大幅偏离的结果。

根据这些结果可知，有机el面板p的边缘部从工作台42的载放部42a的伸出量g越短，越能够提高安装精度。而且，确认了通过使伸出量为15mm以下，能够使安装精度在±3μm以内。

另外，说明了本发明的几个实施方式，但这些实施方式是作为例子而提示的，并不意图限定发明的范围。这些新的实施方式能够以其他各种方式实施，在不脱离发明的主旨的范围内，能够进行各种省略、置换、变更。这些实施方式、其变形包含在发明的范围、主旨中，并且包含在权利要求书所记载的发明及其均等的范围内。