技术总结
本发明涉及一种ScAlN SAW谐振器的制备方法，该方法包括以下步骤：a、在金刚石衬底上生长ZnO缓冲层；b、在ZnO/diamond上生长ScAlN压电层；c、采用电子束蒸发在ScAlN/ZnO/diamond上生长Al电极层；d、采用电子束曝光技术在Al电极层表面形成图形化光刻胶掩膜；e、采用刻蚀技术在Al电极层表面形成叉指换能器(IDTs)；f、将刻蚀后的样品进行剥离，构建SAW谐振器，用于测试与应用。通过控制ScAlN压电层和ZnO缓冲层的晶向，及Al电极层、ScAlN压电层和ZnO缓冲层的厚度，并通过刻蚀手段高效的制备叉指换能器(IDTs)结构，从而构建一种ScAlN SAW谐振器。
技术研发人员：王芳;闫硕;胡凯;张楷亮;邓盟;李开璇;邸欢欢
受保护的技术使用者：天津理工大学
技术研发日：2019.11.06
技术公布日：2020.03.31