一种覆铜板减铜工艺的制作方法

文档序号:25232992发布日期:2021-05-28 14:41阅读:543来源:国知局
本发明属于线路板制造
技术领域
,特别涉及一种覆铜板减铜工艺。
背景技术
:随着电子产品的小型化和多功能化,电子元件的高集成高精度化,对线路板的高密度也越高,由蚀刻方法形成高密度线路板时,覆铜板的铜层厚度决定生产效率及成本。对于线宽/线距小于或等于50μm/50μm的线路板,1/2oz(18μm)的覆铜板已经难以胜任,因此在量产线宽/线距小于或等于50μm/50μm的线路板时,必须采用铜厚小于10μm覆铜板进行生产制作,虽然市场上也有铜厚小于10μm的覆铜板出售,但是,其价格十分昂贵,一般pcb厂很难承受,因此针对此状况,利用1/2oz(18μm)的覆铜板均匀减到10μm或以下,是一种可行的选择。目前有的厂家采用硫酸+双氧水+稳定剂来减铜,但是此方法减铜速率慢,平均输送速度仅为2-2.5m/min,导致生产效率低,同时其均匀性也较差,无法满足大批量生产。技术实现要素:本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本发明提出一种覆铜板减铜工艺,该减铜工艺在将1/2oz(18μm)的覆铜板厚度减到10μm或以下时具有减铜速率快、生产效率高、均匀性好的特点。本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种覆铜板减铜工艺,包括以下步骤:将开料后的覆铜板放置在减铜线传送轮上,使所述覆铜板通过减铜液喷淋腐蚀后,再经过水洗后烘干即得,其中,所述传送轮的输送速度为6.5-7.0m/min,所述减铜液包括氯化铜、盐酸及氧化剂的混合液,所述减铜液被喷淋头喷出的喷淋温度为45-55℃、喷淋压力为0.5-1.0kg/cm2。优选的,所述盐酸的浓度为1.2-2.0mol/l,所述氧化剂的浓度为2.5-3.5mol/l,所述氯化铜的浓度为0.7-1.5mol/l。优选的,所述喷淋头距离所述覆铜板板面的距离为100-120mm。进一步优选的,所述喷淋头距离所述覆铜板板面的距离为105mm。优选的,所述喷淋头与所述覆铜板板面之间的夹角为50-70°。进一步优选的,所述喷淋头与所述覆铜板板面之间的夹角为65°。优选的,所述氧化剂为双氧水。优选的,所述覆铜板为1/2oz覆铜板。本发明的有益效果是:(1)本发明的覆铜板减铜工艺的处理效率是常见硫酸+双氧水+稳定剂处理工艺的3倍左右,其具有较高的生产效率;(2)本发明的覆铜板减铜工艺处理后的覆铜板具有较好的均匀性,其厚度误差在2μm内,远优于常见硫酸+双氧水+稳定剂处理工艺的5μm。具体实施方式下面结合具体实施例对本发明做进一步的说明。实施例1:一种覆铜板减铜工艺,包括以下步骤:将开料后的覆铜板放置在减铜线传送轮上,使覆铜板通过减铜液喷淋腐蚀后,再经过水洗后烘干即得,其中,传送轮的输送速度为6.5m/min,减铜液为氯化铜、盐酸及氧化剂的混合液,减铜液被喷淋头喷出的喷淋温度为45℃、喷淋压力为0.5kg/cm2,减铜液中盐酸的浓度为2.0mol/l,氧化剂的浓度为3.5mol/l,氯化铜的浓度为1.5mol/l,喷淋头距离覆铜板板面的距离为100mm,喷淋头与覆铜板板面之间的夹角为50°,氧化剂为双氧水,覆铜板为1/2oz覆铜板。实施例2:一种覆铜板减铜工艺,包括以下步骤:将开料后的覆铜板放置在减铜线传送轮上,使覆铜板通过减铜液喷淋腐蚀后,再经过水洗后烘干即得,其中,传送轮的输送速度为7.0m/min,减铜液为氯化铜、盐酸及氧化剂的混合液,减铜液被喷淋头喷出的喷淋温度为55℃、喷淋压力为1kg/cm2,减铜液中盐酸的浓度为1.2mol/l,氧化剂的浓度为2.5mol/l,氯化铜的浓度为0.7mol/l,喷淋头距离覆铜板板面的距离为120mm,喷淋头与覆铜板板面之间的夹角为70°,氧化剂为双氧水,覆铜板为1/2oz覆铜板。实施例3:一种覆铜板减铜工艺,包括以下步骤:将开料后的覆铜板放置在减铜线传送轮上,使覆铜板通过减铜液喷淋腐蚀后,再经过水洗后烘干即得,其中,传送轮的输送速度为6.6m/min,减铜液为氯化铜、盐酸及氧化剂的混合液,减铜液被喷淋头喷出的喷淋温度为51℃、喷淋压力为0.8kg/cm2,减铜液中盐酸的浓度为1.6mol/l,氧化剂的浓度为2.8mol/l,氯化铜的浓度为0.8mol/l,喷淋头距离覆铜板板面的距离为105mm,喷淋头与覆铜板板面之间的夹角为65°,氧化剂为双氧水,覆铜板为1/2oz覆铜板。实施例4:一种覆铜板减铜工艺,包括以下步骤:将开料后的覆铜板放置在减铜线传送轮上,使覆铜板通过减铜液喷淋腐蚀后,再经过水洗后烘干即得,其中,传送轮的输送速度为6.8m/min,减铜液为氯化铜、盐酸及氧化剂的混合液,减铜液被喷淋头喷出的喷淋温度为46℃、喷淋压力为0.7kg/cm2,减铜液中盐酸的浓度为1.8mol/l,氧化剂的浓度为2.6mol/l,氯化铜的浓度为1.0mol/l,喷淋头距离覆铜板板面的距离为110mm,喷淋头与覆铜板板面之间的夹角为60°,氧化剂为双氧水,覆铜板为1/2oz覆铜板。实施例5:与实施例3的不同之处在于,实施例5中喷淋头与覆铜板板面之间的夹角为75°,其余参数与实施例3完全相同。实施例6:与实施例3的不同之处在于,实施例6中喷淋头与覆铜板板面之间的夹角为90°,其余参数与实施例3完全相同。实施例7:与实施例3的不同之处在于,实施例7中喷淋头距离覆铜板板面的距离为95mm,其余参数与实施例3完全相同。实施例8:与实施例3的不同之处在于,实施例8中喷淋头距离覆铜板板面的距离为125mm,其余参数与实施例3完全相同。对比例1:与实施例3的不同之处在于,对比例1中减铜液被喷淋头喷出的喷淋温度为43℃,其余参数与实施例3完全相同。对比例2:与实施例3的不同之处在于,对比例2中减铜液被喷淋头喷出的喷淋温度为56℃,其余参数与实施例3完全相同。对比例3:与实施例3的不同之处在于,对比例3中喷淋头的喷淋压力为0.4kg/cm2,其余参数与实施例3完全相同。对比例4:与实施例3的不同之处在于,对比例4中喷淋头的喷淋压力为1.1kg/cm2,其余参数与实施例3完全相同。试验例分别利用实施例1-8及对比例1-4的覆铜板减铜工艺对同一批次的1/2oz覆铜板进行减铜处理,并对处理后的覆铜板的厚度进行测量,每块覆铜板测量5个点,检测结果见表1。表1:覆铜板厚度测量结果(μm)测量点1测量点2测量点3测量点4测量点5实施例110.19.69.210.310.8实施例29.310.610.29.810.7实施例39.8109.910.29.7实施例49.210.69.69.510.4实施例511.210.58.910.69.8实施例610.99.29.311.39.6实施例710.49.311.49.38.6实施例88.911.111.69.39.4对比例18.313.79.513.59.2对比例213.29.77.413.99.2对比例310.213.67.89.49.6对比例47.59.313.29.69.4由表1可知,本发明的覆铜板减铜工艺制得的覆铜板厚度在10±2μm,最好能达到10±0.5μm(实施例3),说明使用本发明的覆铜板减铜工艺制得的覆铜板具有优异的均匀性;对比实施例3与实施例5-8可知,当喷淋头与覆铜板板面之间的夹角不在50-70°时,或者喷淋头距离覆铜板板面的距离不在100-120mm时,覆铜板的均匀性会变差。对比实施例3与对比例1-4可知,当减铜液被喷淋头喷出的喷淋温度范围不在45-55℃,或者喷淋压力不在0.5-1.0kg/cm2时,会对最终覆铜板的均匀性产生较大的影响。上述实施例为本发明较佳的实施方式,但本发明的实施方式并不受上述实施例的限制,其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化,均应为等效的置换方式,都包含在本发明的保护范围之内。当前第1页12
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