三维存储器及制造三维存储器的方法与流程

文档序号:34610380发布日期:2023-06-29 06:47阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种三维存储器,其特征在于,包括外围电路芯片和存储阵列芯片,所述外围电路芯片包括:

2.根据权利要求1所述的三维存储器,其中,

3.根据权利要求2所述的三维存储器,其中,

4.根据权利要求3所述的三维存储器,其中,

5.根据权利要求1所述的三维存储器,其中,至少一个所述高压晶体管的尺寸大于至少一个所述低压晶体管的尺寸。

6.根据权利要求3所述的三维存储器,其中,所述第一连接层的所述导电材料包括wsi或tisi,所述第二连接层的所述导电材料包括tisi或cosi。

7.根据权利要求2所述的三维存储器,其中,所述外围电路芯片还包括:

8.根据权利要求7所述的三维存储器,其中,

9.根据权利要求8所述的三维存储器,其中,所述外围电路芯片还包括第一互连层、第二互连层和第三互连层中的至少之一,其中,

10.根据权利要求9所述的三维存储器,其中,所述第一互连层、所述第二互连层和所述第三互连层中的至少之一包括w。

11.根据权利要求7所述的三维存储器,其中,

12.根据权利要求7所述的三维存储器,其中,至少一个所述高压晶体管的尺寸大于至少一个所述低压晶体管的尺寸,至少一个所述低压晶体管的尺寸大于至少一个所述极低压晶体管的尺寸。

13.根据权利要求12所述的三维存储器,其中,所述高压晶体管、所述低压晶体管和所述极低压晶体管中的至少一个为金属氧化物半导体场效应晶体管。

14.根据权利要求8所述的三维存储器,其中,

15.根据权利要求14所述的三维存储器,其中,

16.根据权利要求14所述的三维存储器,其中,所述第一连接层的所述导电材料包括wsi或tisi,所述第二连接层的所述导电材料包括tisi或cosi,所述第三连接层的所述导电材料包括nisi。

17.根据权利要求8所述的三维存储器,其中,

18.根据权利要求1所述的三维存储器,其中,

19.根据权利要求18所述的三维存储器,其中,


技术总结
本发明实施方式提供了一种三维存储器。该三维存储器包括外围电路芯片和存储阵列芯片,外围电路芯片包括:第一衬底;第一电路元件层,设置在第一衬底上,并且包括第一器件层,第一器件层包括多个高压晶体管;第二衬底,设置在第一电路元件层上,且第二衬底与第一电路元件层接触;以及第二电路元件层,设置在第二衬底上,并且包括第二器件层,第二器件层包括多个低压晶体管;存储阵列芯片设置在第二电路元件层上。

技术研发人员:刘小欣,夏志良,刘威,霍宗亮
受保护的技术使用者:长江存储科技有限责任公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/13
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