一种真空内局部加热方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及在真空系统内部实现定点、局部的加热，用该加热装置可实现零件或者器件的在真空环境中的局部加热。被加热的零件或者器件的形状不受限制。
【背景技术】
[0002]电真空器件的研宄工作中，常有局部加热的需要，如对零件或器件的进行局部加热进行热处理或脱气等使之正常工作。加热时通常需要精确监控温度且被研宄物体要受热均匀。一般加热方式为管壁外加热和真空内辐射加热，前者在系统外部缠上加热带，通过管壁将温度辐射到系统内样品上，后者是在真空内部通过热辐射将温度传到需要加热的样品上，前者的加热效率低，热量不易传到系统内部；并且由于加热为整个腔体加热，管壁必不可少的会放出气体，这在很多场合下对分析会产生影响。而后者虽然在内部加热，但因为热辐射方向是四面八方、不固定的，管壁必然会受到辐射而温度升高，从而释放出气体产生干扰。本发明为真空内定点局部加热，避免了上述现象的发生。
[0003]专利内容
[0004]发明目的:本发明的目的是提供一种定点、局部的加热方法，该方法适合对真空进行局部热处理。
[0005]技术方案:为实现上述目的，本发明采用的方案为:一种真空内部局部加热方法，该方法包括如下步骤:提供需要在真空中进行加热的加热丝、绝缘陶瓷珠和紫铜管；将需要进行加热的加热丝、绝缘陶瓷珠和紫铜管表面进行清洁处理；加热丝上穿上绝缘陶瓷珠，使加热丝与外层金属绝缘，再将上述组件以一定的排列顺序紧密放入紫铜管内部或外部，实现紫铜管温度的均匀分布；将加热丝固定在法兰的引线上，从真空外部加上电压，从而实现了局部加热。
[0006]优选的，紫铜管外部缠上需要分析的样品或是在紫铜管内部塞入样品。
[0007]有益效果:应用这种技术可以提高加热效率，避免管壁放气的干扰。
【附图说明】
[0008]图1是线型可缠绕类样品7缠绕在紫铜管3上进行加热方案图。
[0009]图2是颗粒状等样品7放在紫铜管3内部进行加热方案图。
[0010]图3是平面块状样品7放在紫铜管3上进行加热方案图。
[0011]以上的图中有:加热丝1、绝缘陶瓷珠2、紫铜管3、法兰、连接件5、引线6、样品7。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图对本发明作更进一步的说明。
[0013]本发明包括需要真空加热的加热丝1、绝缘陶瓷珠2和紫铜管3等部件。
[0014]本发明提供的真空内部局部加热方法，能够可实现零件或者器件的在真空环境中的局部加热。被加热的零件或者器件的形状不受限制。该方法包括如下步骤:提供需要在真空中进行加热的加热丝1、绝缘陶瓷珠2和紫铜管3 ;将需要进行加热的加热丝1、绝缘陶瓷珠2和紫铜管3表面进行清洁处理；加热丝I上穿上绝缘陶瓷珠2，使加热丝I与外层金属绝缘，再将上述组件以一定的排列顺序紧密放入紫铜管3内部或外部，实现紫铜管温度的均匀分布；将加热丝I固定在法兰4的引线6上，从真空外部加上电压，从而实现了局部加热。
[0015]紫铜管3外部缠上需要分析的样品或是在紫铜3内部塞入样品。
[0016]本发明在进行了各部件的清洁处理后，在金属加热丝上套上绝缘陶瓷珠，使加热丝与外层金属绝缘，再将该组件以一定的排列顺序紧密放入紫铜管内或外，由于紫铜管导热性好，其温度分布均匀。根据样品形状、大小，选择在紫铜管3外部缠上样品(如图1)或是在紫铜管内部塞入样品(如图2)，或可以夹板式加热(如图3)。然后将加热丝通过连接件5固定在真空法兰4的真空一侧的引线6上。这样从真空外部加上电压，便可实现了局部有效加热。
【主权项】
1.一种真空内部局部加热方法，其特征在于，该方法包括如下步骤: 1.)提供需要在真空中进行加热的加热丝(I)、绝缘陶瓷珠(2)和紫铜管(3);
2.)将需要进行加热的加热丝(I)、绝缘陶瓷珠(2)和紫铜管(3)表面进行清洁处理； 3.)加热丝(I)上穿上绝缘陶瓷珠(2)，使加热丝(I)与外层金属绝缘，再将上述组件排列紧密放入紫铜管(3)内部或外部，实现紫铜管温度的均匀分布； 4.)将上述由加热丝(I)、绝缘陶瓷珠(2)、紫铜管(3)形成视为组件放入真空管中， 5.)将加热丝(I)的两端通过连接件(5)固定在法兰(4)的引线(6)上，从真空管外部加上电压，从而实现了局部加热。 2.根据权利要求1所述的真空内部局部加热方法，其特征在于:紫铜管(3)外部缠上需要分析的样品(7)或是在紫铜管(3)内部塞入样品(7)。
【专利摘要】本发明公开了一种真空内局部加热方法，该方法包括如下步骤：提供需要在真空中进行加热的加热丝(1)、小陶瓷珠(2)和紫铜管(3)；将需要进行加热的加热丝(1)、小陶瓷珠(2)和紫铜管(3)表面进行清洁处理；加热丝(1)上穿上小陶瓷珠(2)，使加热丝(1)与外层金属绝缘，再将上述组件以一定的排列顺序紧密放入紫铜管(3)内部或外部，实现紫铜管温度的均匀分布；将加热丝(1)固定在法兰接线柱(4)上，从真空外部加上电压，从而实现了局部加热。可以提高加热效率，避免管壁放气的干扰。
【IPC分类】H05B3-42
【公开号】CN104619055
【申请号】CN201410789102
【发明人】肖梅, 吴晓斌, 张晓兵, 王魁波, 王辉, 张罗莎
【申请人】东南大学, 中国科学院光电研究院
【公开日】2015年5月13日
【申请日】2014年12月17日