音叉型水晶振动片的制作方法_3

文档序号:9355591阅读:来源:国知局
状呈大致H型形状,在第一腿部41及第二腿部42上,分别形成有相对于第一腿部41及第二腿部42的宽度方向(X轴方向)上的中心偏移的槽部45。另外,这里所说的“偏移”是指槽部45被形成为相对于第一腿部41及第二腿部42的宽度方向(X轴方向)上的中心偏移即可,从槽部45(槽部45的侧面452)到腿部(第一腿部41及第二腿部42)的两个侧面411、421的距离(形成在第一腿部41及第二腿部42的主面(一主面21、另一主面22)上的堤台的尺寸)可以不完全相同。
[0061]而且,槽部45,在图2所示的第一腿部41及第二腿部42的宽度方向(X轴方向)上,形成了由夹有最低点453的第一倾斜面46和第二倾斜面47构成的内面451。第一倾斜面46在宽度方向上的宽度尺寸相对于第二倾斜面47在宽度方向上的宽度尺寸的比率R为I ^ 1.3,第一倾斜面46在宽度方向上的宽度尺寸与第二倾斜面47在宽度方向上的宽度尺寸相同(包括大致相同)。另外这里所说的R= 1.3是指,例如因为制造误差等产生的误差尺寸的数值上限,在1.3 < R(例如R= 1.35、1.56、1.86、2.33等)时,不能够解决本问题。而且,在本实施方式中,第二倾斜面47在宽度方向上的宽度尺寸与第一倾斜面46在宽度方向上的宽度尺寸之比为50:50?47:53 (在图2中为47:53),具体的第一倾斜面46和第二倾斜面47的宽度尺寸例如分别为22.3 μ m、19.7 μ m。这样,在本实施方式所涉及的第一腿部41及第二腿部42中,在槽部45中,在图2所示的从X轴方向上的端面来看的形状上,槽部45的最低点453位于槽部45的中央。如上所述,这里所说的“中央”并不严格限定于槽部45的中央的位置(具体而言,X轴方向上的槽部45的中央的位置),即使由于制造误差等槽部45的最低点453产生从中央的稍微的位置偏移(R ( 1.3),也具有与本实施方式同样的作用效果(参照下述),因此由于制造偏差引起的中央位置偏移也在本实施方式的范围内。
[0062]调整部44与激励部43的前端部431相连并从中延伸出来,并且以与激励部43的前端部431的前端面相同的宽度来形成。而且,调整部44的前端角部形成为曲面,由此,在受到外力时等能够防止与基座3的堤部32等接触。另外,虽然在本实施方式中,调整部44的突出方向的前端角部形成为曲面,但是并不限定于此,也可以形成为锥形。
[0063]在由上述结构构成的水晶振动片2上,形成有以不同电位构成的第一激励电极61及第二激励电极62,以及用于将这些第一激励电极61及第二激励电极62与基座3的电极垫35进行电接合的、从第一激励电极61及第二激励电极62引出的引出电极63、64。
[0064]第一激励电极61及第二激励电极62的一部分被形成在槽部45的内部(内面)上。因此,即使将水晶振动片2小型化,也能够抑制第一腿部41及第二腿部42的振动损失,压低Cl值。
[0065]第一激励电极61形成在第一腿部41的激励部43的两个主面21、22和第二腿部42的激励部43的两侧侧面421 (两个侧面421)上。同样,第二激励电极62形成在第二腿部42的激励部43的两个主面21、22和第一腿部41的激励部43的两侧侧面411 (两个侧面411)上。
[0066]而且,引出电极63、64形成在基部5和两根腿部41、42(第一腿部41及第二腿部42)的调整部44上。具体而言,通过形成在基部5上的引出电极63,形成在第一腿部41的激励部43的两个主面21、22上的第一激励电极61与形成在第二腿部42的激励部43的两侧侧面421 (两个侧面421)上的第一激励电极61相连。这里,形成在第二腿部42的激励部43的两侧侧面421 (两个侧面421)上的第一激励电极61,通过形成在第二腿部42的调整部44上的激励部43 —侧的一端部上的引出电极64相连。同样,通过形成在基部5上的引出电极64,形成在第二腿部42的激励部43的两个主面21、22上的第二激励电极62与形成在第一腿部41的激励部43的两侧侧面411 (两个侧面411)上的第二激励电极62相连。
[0067]而且,在两根腿部41、42的调整部44上,在比形成有引出电极63、64的一端部更前端一侧上,形成有用于调整水晶振动片2的频率的频率调整用金属膜7。在图1中,用虚线表示调整部44上的引出电极63、64的形成区域与频率调整用金属膜7的形成区域的边界。
[0068]接着,对本实施方式所涉及的水晶振动片2和以往的音叉型水晶振动片(以下,称为以往的水晶振动片)进行槽部45的形状比较。其结果示于图6?图11。
[0069]图6是表示对应于图3的形成在一主面21上的槽部45在基部5 —侧的图,图6的上方表示以往的水晶振动片,图6的下方表示本实施方式所涉及的水晶振动片2。图7是表示对应于图4的形成在另一主面22上的槽部45在基部5 —侧的图,图7的上方表示以往的水晶振动片,图7的下方表示本实施方式所涉及的水晶振动片2。图8是表示对应于图3的形成在一主面21上的槽部45在调整部44 一侧的图,图8的上方表示以往的水晶振动片,图8的下方表示本实施方式所涉及的水晶振动片2。图9是表示对应于图4的形成在另一主面22上的槽部45在调整部44 一侧的图,图9的上方表不以往的水晶振动片,图9的下方表示本实施方式所涉及的水晶振动片2。图10是表示对应于图5的槽部45在调整部44一侧的图,图10的上方表示以往的水晶振动片,图10的下方表示本实施方式所涉及的水晶振动片2。图11是表示对应于图5的槽部45在调整部44 一侧的图,图11的上方表示以往的水晶振动片,图11的下方表示本实施方式所涉及的水晶振动片2。
[0070]如图6?图11所示,相对于以往的水晶振动片,本实施方式所涉及的水晶振动片2,分别形成了相对于腿部41、42的宽度方向上的中心偏移的一主面21—侧的槽部45和另一主面22 —侧的槽部45,在该状态下,一主面21 —侧的槽部45的最低点453位于一主面21 一侧的槽部45的宽度方向上的中央处,另一主面22 —侧的槽部45的最低点453位于另一主面22 —侧的槽部45的宽度方向上的中央。根据本实施方式所涉及的水晶振动片2,相对于以往的水晶振动片最低点453的长度变长,并且减少了侧面452的数量。
[0071]根据本实施方式所涉及的水晶振动片2,其由水晶片形成,在形成在第一腿部41及第二腿部42的两个主面21、22上的槽部45的内面451上,不能将所有的侧面452形成为相对于一主面21 (或者另一主面22)垂直。即使是这样的结构,通过将槽部45形成为相对于第一腿部41及第二腿部42的宽度方向(X轴方向)上的中心偏移,也能够使其成为可有效保持各第一腿部41及第二腿部42的重量平衡的结构。
[0072]但是,仅是将槽部45形成为相对于第一腿部41及第二腿部42的宽度方向(X轴方向)上的中心偏移并不是保持各第一腿部41及第二腿部42的重量平衡的最佳方法。换言之,即使是相对于第一腿部41及第二腿部42的宽度方向(X轴方向)上的中心最大限度地偏移来形成槽部45,也无法使第一腿部41及第二腿部42的重量均匀以至保持重量平衡。这种现象,尤其是与现在的水晶振动片2的小型化趋势有关,以往的大尺寸音叉型水晶振动片即使不考虑重量平衡也能够保持平衡,但是在小型化后的水晶振动片2中,第一腿部41及第二腿部42也被小型化、狭小化,在小型、狭小的第一腿部41及第二腿部42上形成槽部45时重量平衡会失衡。这样,由于小型化产生了在以往的音叉型水晶振动片中没有考虑过的问题。
[0073]对此,在本实施方式的结构中具有以下特征:槽部45被形成为相对于第一腿部41及第二腿部42的宽度方向(X轴方向)上的中心偏移,在槽部45中,在从宽度方向(X轴方向)上的端面来看的形状上,槽部45的最低点453位于第一腿部41及第二腿部42的宽度方向(X轴方向)上的槽部45的中央。根据本实施方式,通过使槽部45的最低点453位于宽度方向(X轴方向)上的槽部45的中央,对于由水晶片形成的、槽部45被形成为相对于第一腿部41及第二腿部42的宽度方向(X轴方向)上的中心偏移的结构,能够进一步进行重量修正以保持重量平衡。这与在水晶振动片2上使用水晶片有关,由槽部45的多个面组成的侧面452具有倾斜面,侧面452 (多个面)的倾斜面的角度不同。因此,虽然形成槽部45会导致腿部(第一腿
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