专利名称：射频匹配器的检测电路的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种射频匹配器的检测电路。
背景技术：
射频匹配器的应用广泛，主要用于半导体生产领域、等离子刻蚀、真空镀膜、 PECVD、等离子清洗、物理气象沉积(PVD)、化学气象沉积(CVD)、射频溅射等等，但是目前一 些自动射频匹配器的检测电路到负载变化到马达驱动电容完成调谐，存在一定时延，在此 段时间内负载得到的功率不可控，是影响工艺结果的潜在因素。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种用于射频匹配器的检测电路，该检测电路可以 实时对信号进行采样，判断负载与射频电源电抗是否匹配，为射频匹配器实现自动门匹配 提供基础。为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案射频匹配器的检测电路，包括信号检测模块，该信号检测模块用于实时检测负载 反馈的反射信号，并将该反射信号输出；以及与该信号检测模块连接的信号处理电路，信号 处理电路将来自于信号检测模块的反射信号进行相位检测后，转化为直流驱动信号输出。所述的信号检测模块为定向耦合器。所述信号处理电路包括第一滤波器，以及与该第一滤波器连接的第一功率分配 器，以及与该第一功率分配器连接的第一检测器；第二滤波器，以及与该第二滤波器连接的第一移电路，以及与第一移相电路连接 的第二功率分配器，以及与第二功率分配器连接的第二移相电路，以及与第二移相电路连 接的第二检测器；第一功率分配器还与第二检测器连接，所述第二功率分配器还与第一检测器连 接。所述第一检测器的输出端连接有第一电容，第二检测器的输出端连接有第二电容。所述信号处理电路还包括第一检波二极管和第二检波二极管，第一检波二极管与 第一滤波器的输出端连接，第二检测二极管与第二滤波器的输出端连接。上述方案中定向耦合器对反射信号进行采样，得到的正向功率信号和反向功率信 号两个信号，正向功率信号经过第一滤波器，经第一功率分配器一分为二，分别到达第一检 测器和第二检测器的输入端，同时滤波后的反射信号经第一移相电路调整相位后，再由第 二功率分配器一分为二，一支信号直接到达第一检测器，另一支信号则经过第二移相电路 调整相位后到达第二检测器的输入端。当负载与射频信号阻抗失匹配时，第一检测器和第 二检测器分别输出检测信号，两个检测信号可驱动直流电机对真空电容进行调节，当真空 电容调节到匹配点时，反射信号输出为零，这时第一检测器和第二检测器的输出也为零。[0013]由于上述方案中定向偶合器可对反射信号进行实时动态采样，当采样到有反射信 号时，检测器可以马上输出检测信号，对真空电容进行阻抗调节，这样就实现了实时的自动 匹配控制，快速、可靠、节省时间。
图1为本实用新型的原理图1为定向耦合器，2为第一滤波器，21为第一功率分配器，22为第一检测器，3为第 二滤波器，31为第二功率分配器，32为第二检测器，33为第一移电路，34为第二移相电路，4 为第一电容，5为第二电容，6为第一检波二极管，7为第二检波二极管
具体实施方式
参考附图1所示，射频匹配器的检2测电路，包括信号检测模块，该信号检测模块 用于实时检测负载反馈的反射信号，并将该反射信号输出；以及与该信号检测模块连接的 信号处理电路，信号处理电路将来自于信号检测模块的反射信号进行相位检测后，转化为 直流驱动信号输出，所述的信号检测模块为定向耦合器1。信号处理电路包括第一滤波器 2，以及与该第一滤波器2连接的第一功率分配器21，以及与该第一功率分配器21连接的第 一检测器22 ；还包括第二滤波器3，以及与该第二滤波器3连接的第一移电路33，以及与第 一移相电路33连接的第二功率分配器31，以及与第二功率分配器31连接的第二移相电路 34，以及与第二移相电路33连接的第二检测器32 ；第一功率分配器21还与第二检测器32 连接，所述第二功率分配器31还与第一检测器22连接。所述第一检测器22的输出端连接 有第一电容4，第二检测器32的输出端连接有第二电容5。所述信号处理电路还包括第一 检波二极管6和第二检波二极管7，第一检波二极管6与第一滤波器2的输出端连接，第二 检测二极管7与第二滤波器3的输出端连接。定向耦合器1对反射信号进行采样，得到的正向功率信号和反向功率信号两个信 号，正向功率信号经过第一滤波器2，经第一功率分配器21—分为二，分别到达第一检测器 22和第二检测器32的输入端，同时滤波后的反射信号经第一移相电路33调整相位后，再由 第二功率分配器31 —分为二，，一支信号直接到达第一检测器22，另一支信号则经过第二 移相电路34调整相位后到达第二检测器32的输入端。当负载与射频信号阻抗匹配时，第 一检测器22和第二检测器32分别输出检测信号，两个检测信号可对真空电容进行匹配，当 真空电容调节到匹配点时，反射信号输出为零，这时第一检测器22和第二检测器32的输出 也为零，这时直流电机没有了驱动信号，真空电容也同样停止了调节，匹配器实现了自动匹 配的调节。
权利要求射频匹配器的检测电路，其特征在于包括信号检测模块，该信号检测模块用于实时检测负载反馈的反射信号，并将该反射信号输出；以及与该信号检测模块连接的信号处理电路，信号处理电路将来自于信号检测模块的反射信号进行相位检测后，转化为直流驱动信号输出。
2.根据权利要求1所述的射频匹配器的检测电路，其特征在于所述的信号检测模块 为定向耦合器。
3.根据权利要求1所述的射频匹配器的检测电路，其特征在于所述信号处理电路包 括第一滤波器，以及与该第一滤波器连接的第一功率分配器，以及与该第一功率分配器连 接的第一检测器；第二滤波器，以及与该第二滤波器连接的第一移电路，以及与第一移相电路连接的第 二功率分配器，以及与第二功率分配器连接的第二移相电路，以及与第二移相电路连接的 第二检测器；所述第一功率分配器还与第二检测器连接，所述第二功率分配器还与第一检测器连接。
4.根据权利要求3所述的射频匹配器的检测电路，其特征在于所述第一检测器的输 出端连接有第一电容，第二检测器的输出端连接有第二电容。
5.根据权利要求3所述的射频匹配器的检测电路，其特征在于所述信号处理电路还 包括第一检波二极管和第二检波二极管，第一检波二极管与第一滤波器的输出端连接，第 二检测二极管与第二滤波器的输出端连接。
专利摘要本实用新型公开了一种射频匹配器的检测电路，其特征在于包括信号检测模块，该信号检测模块用于实时检测负载反馈的反射信号，并将该反射信号输出；以及与该信号检测模块连接的信号处理电路，信号处理电路将来自于信号检测模块的反射信号进行相位检测后，转化为直流驱动信号输出。由于对反射信号进行实时动态采样，当采样到有反射信号时，检测器可以马上输出检测信号，对真空电容进行阻抗调节，这样就实现了实时的自动匹配控制，快速、可靠、高效、节省时间。
文档编号H04B17/00GK201717835SQ20102021726
公开日2011年1月19日 申请日期2010年6月1日 优先权日2010年6月1日
发明者杨友明 申请人:常州瑞思杰尔电子科技有限公司