一种MEMS麦克风与环境传感器的集成装置的制作方法

文档序号:12410135阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种MEMS麦克风与环境传感器的集成装置,其特征在于:包括基板(1),在所述基板(1)上设置有MEMS麦克风芯片(2),以及与MEMS麦克风芯片(2)对应的第一ASIC芯片(3),在所述基板(1)上还设置有环境传感器芯片(4),以及与环境传感器芯片(4)对应的第二ASIC芯片(5);其中,所述MEMS麦克风芯片(2)至第二ASIC芯片(5)安装区域(a)的最短直线距离d大于0.3mm。

2.根据权利要求1所述的集成装置,其特征在于:所述最短直线距离d为MEMS麦克风芯片(2)至第二ASIC芯片(5)侧壁的距离。

3.根据权利要求1所述的集成装置,其特征在于:所述最短直线距离d为MEMS麦克风芯片(2)至第二ASIC芯片(5)引线与基板(1)连接处的距离。

4.根据权利要求1至3任一项所述的集成装置,其特征在于:所述MEMS麦克风芯片(2)、第二ASIC芯片(5)分布在基板(1)的对角方向上。

5.根据权利要求1至3任一项所述的集成装置,其特征在于:所述MEMS麦克风芯片(2)、第一ASIC芯片(3)分布在基板(1)的X方向上,所述环境传感器芯片(4)、第二ASIC芯片(5)分布在邻近第一ASIC芯片(3)外侧的Y方向上。

6.根据权利要求1至3任一项所述的集成装置,其特征在于:所述MEMS麦克风芯片(2)、第一ASIC芯片(3)、环境传感器芯片(4)、第二ASIC芯片(5)依次分布在基板(1)的X方向或Y方向上。

7.根据权利要求1至3任一项所述的集成装置,其特征在于:所述MEMS麦克风芯片(2)、第一ASIC芯片(3)、第二ASIC芯片(5)、环境传感器芯片(4)依次分布在基板(1)的X方向或Y方向上。

8.根据权利要求1所述的集成装置,其特征在于:所述环境传感器芯片(4)为光学、温度、湿度、压力或气体传感器芯片。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1