具有过孔的换能器封装的制作方法

文档序号:17441859发布日期:2019-04-17 04:52阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种麦克风包括被配置为感测声信号的微机电系统(MEMS)管芯、基底和盖。所述基底具有顶面和底面。所述底面包括第一电焊盘和第二电焊盘。所述第一电焊盘和所述第二电焊盘被配置为传输指示所述声信号的电信号。所述盖具有顶面和底面。所述盖包括围绕所述MEMS管芯的腔体。所述盖的顶面包括第三电焊盘和第四电焊盘。所述第一电焊盘和所述第三电焊盘电连接,并且所述第二电焊盘和所述第四电焊盘电连接。

技术研发人员:P·洛佩特
受保护的技术使用者:美商楼氏电子有限公司
技术研发日:2017.06.13
技术公布日:2019.04.16
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