专利名称：磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及扩散炉技术领域，特别是一种磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置。
背景技术：
由于POCljf体源扩散中，携带磷源的气流直接从炉尾进入炉管，靠近炉口处 反应气体的浓度将比炉尾处低，导致整管方阻片间，片内均勻性较差。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是靠近炉口处反应气体的浓度将比炉尾处 低，导致整管方阻片间，片内均勻性较差。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种磷扩散炉尾上下进气管 多点进气装置，包括进气管，进气管从炉尾伸入炉内后一分为二，分为上进气管和下进 气管，上进气管和下进气管分别位于炉管的上部和下部，上进气管和下进气管上开有多 个出气孔，出气孔方向平行硅片表面。上进气管和下进气管为石英材质。本实用新型的有益效果是通入的反应气体可以通过上下进气管上的多点出气 孔出气，提高磷扩散后的片内、片间方阻均勻性，达到较好的整管方阻分布。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明；
图1是炉管内部进气方式侧视图；图2是炉管内部进气方式截面图；其中1.上进气管，2.下进气管，3.炉管，4.尾气管，5.硅片。
具体实施方式
现在结合附图1和2对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的 示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的 构成。如图1和2所示，一种磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置，包括进气管，进气 管从炉尾伸入炉内后一分为二，分为上进气管1和下进气管2，如图2所示，上进气管1 和下进气管2分别位于炉管3的上部和下部，12点和6点方向各一根，上进气管1和下进 气管2上开有多个出气孔，出气孔方向平行硅片5表面。上进气管1和下进气管2为石 英材质。炉管3内的尾气通过尾气管4排出炉管。通入的反应气体可以通过上下进气管上的多点出气孔出气，气流从各出气孔平 行吹到硅片表面，从硅片上部和下部同时进入，提高片内、片间均勻性。
权利要求1.一种磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置，包括进气管，其特征是所述的进气 管从炉尾伸入炉内后一分为二，分为上进气管(1)和下进气管(2)，上进气管(1)和下进 气管(2)分别位于炉管(3)的上部和下部，上进气管(1)和下进气管(2)上开有多个出气 孔，出气孔方向平行硅片表面。
2.根据权利要求1所述的磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置，其特征是所述的 上进气管(1)和下进气管(2)为石英材质。
专利摘要本实用新型涉及扩散炉技术领域，特别是一种磷扩散炉尾上下进气管多点进气装置。它包括进气管，进气管从炉尾伸入炉内后一分为二，分为上进气管和下进气管，上进气管和下进气管分别位于炉管的上部和下部，上进气管和下进气管上开有多个出气孔，出气孔方向平行硅片表面。通入的反应气体可以通过上下进气管上的多点出气孔出气，提高磷扩散后的片内、片间方阻均匀性，达到较好的整管方阻分布。
文档编号C30B33/04GK201793816SQ20102054833
公开日2011年4月13日 申请日期2010年9月29日 优先权日2010年9月29日
发明者何伟 申请人:常州天合光能有限公司