专利名称：一种晶体生长炉的手动坩埚升降机构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体行业的晶体生长炉手动坩埚升降机构，采用这种机构 结构简单，操作方便，可实现在操作台上直接进行手动坩埚升降。
背景技术：
目前公知的用直拉法(切克劳斯基法)生长单晶的晶体生长炉，其手动坩埚升降 机构位于炉底座侧面或底座内，正常情况下，工人基本都是在操作台上进行工作，当需要进 行手动坩埚升降操作时，工人必须从操作台上转移到炉底座侧面进行操作，使用起来非常 不方便，特别是在紧急情况下需要手动进行坩埚升降时会造成时间上的延误。发明内容本实用新型提供了一种晶体生长炉的手动坩埚升降机构，该机构可实现在操作台 上直接进行手动坩埚升降操作，结构简单，使用方便。本实用新型采用的技术方案是本实用新型所述的手动坩埚升降机构包括手轮，限位开关，齿套，传动部件和基 座，所述的传动部件包括旋转轴、传动轴和两对锥齿轮，所述基座包括旋转轴基座和传动轴 基座。手轮可以按下和拔出，按下手轮，带动限位开关闭合，信号反馈通知坩埚升降电机断 电，就可以进行手动坩埚升降操作了，手轮按下的同时还可以使齿套咬合，手轮被联接固定 在旋转轴上，转动手轮驱动旋转轴，旋转轴带动传动轴，传动轴带动丝杠，丝杠带动坩埚轴， 实现坩埚手动升降。本实用新型的有益效果是本实用新型机构实现了在操作台上直接进行手动坩 埚升降操作，安装使用方便，稳定性好，并能在紧急情况下进行手动坩埚升降操作时节省时 间。
附图是本实用新型实施例剖面构造图附图中1.手轮，2.限位开关，3.旋转轴基座，4.旋转轴，5.锥齿轮对，6.齿套，7.传动轴基座，8.传动轴，9.锥齿轮对，10.丝杠，11.坩埚轴A.操作台，B.炉底座具体实施方式
参见附图，旋转轴基座3和传动轴基座7通过螺丝连接在一起，并共同固定在炉底 座B上，旋转轴4竖直安装在旋转轴基座3内，手轮1安装在旋转轴4的最上端，手轮1的 下表面是齿套6的一面，齿套6的另一面被固定在旋转轴4上，限位开关2固定在旋转轴基 座3上且刚好位于手轮1的侧下方，旋转轴4和传动轴8通过一对锥齿轮5垂直连接起来， 传动轴8水平固定在传动轴基座7内，传动轴8和丝杠10通过另一对锥齿轮9垂直连接起来，丝杠10上装有滑块12，坩埚轴11被固定安装在滑块12上。 操作台A安装在炉底座B上，在操作台A正对手轮1的位置开有一圆孔，工人可以 在操作台A上把手伸进圆孔直接操作手轮1，手轮1可以按下和拔出，当使用坩埚升降电机 实现坩埚升降时，手轮1处于拔出状态，限位开关2断开，当需要手动操作坩埚升降时，直接 从操作台A的圆孔处伸手按下手轮1，限位开关2闭合，信号反馈通知坩埚升降电机断电，就 可以进行手动坩埚升降操作了，手轮1按下的同时还可以使齿套6的两个面互相咬合，手轮 1被联接固定在旋转轴4上，转动手轮1驱动旋转轴4转动，旋转轴4通过锥齿轮对5带动 传动轴8转动，传动轴8通过锥齿轮对9带动丝杠10转动，丝杠10上装有滑块12，坩埚轴 11固定在滑块12上，当丝杠10转动时滑块12可以上下移动，进而带动安装在滑块12上的 坩埚轴11作升降运动，实现手动坩埚升降。
权利要求1.一种晶体生长炉的手动坩埚升降机构，其特征在于包括手轮，限位开关，齿套，传 动部件和基座，所述传动部件包括旋转轴，传动轴和两对锥齿轮，所述基座包括旋转轴基座 和传动轴基座。
2.根据权利要求1所述的晶体生长炉的手动坩埚升降机构，其特征在于旋转轴和传 动轴垂直布置，传动轴与丝杠垂直布置。
3.根据权利要求1所述的晶体生长炉的手动坩埚升降机构，其特征在于旋转轴上有 一个锥齿轮，传动轴上有两个锥齿轮，丝杠上有一个锥齿轮。
4.根据权利要求3所述的晶体生长炉的手动坩埚升降机构，其特征在于固定于旋转 轴和传动轴之间的一对锥齿轮垂直啮合，固定于传动轴和丝杠之间的另一对锥齿轮垂直啮I=I ο
5.根据权利要求1所述的晶体生长炉的手动坩埚升降机构，其特征在于手轮安装在 旋转轴上，手轮的下表面是齿套的一面，齿套的另一面固定在旋转轴上。
6.根据权利要求1所述的晶体生长炉的手动坩埚升降机构，其特征在于手轮下方安 装有一个限位开关。
7.根据权利要求5或6所述的晶体生长炉的手动坩埚升降机构，其特征在于手轮可 以按下和拔出，按下时限位开关闭合，同时齿套的两个面相互咬合上。
专利摘要本实用新型涉及一种半导体行业的晶体生长炉手动坩埚升降机构，它包括手轮，限位开关，齿套，传动部件和基座，其中所述传动部件包括旋转轴、传动轴和两对锥齿轮，所述基座包括旋转轴基座和传动轴基座，本实用新型机构通过转动手轮来驱动传动部件，实现手动坩埚升降，这种机构结构简单，使用方便。
文档编号C30B15/00GK201826034SQ20102057782
公开日2011年5月11日 申请日期2010年10月27日 优先权日2010年10月27日
发明者王浩 申请人:北京京仪世纪电子股份有限公司